残余应力检测技术及其应用 被引量：1

1

作者 侯晓东 黄照文 +3 位作者 高建波 吴桂毅 张瑞尧 张书彦 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期41-54,共14页

随着我国工业水平的不断提升,残余应力问题日益受到重视。准确测试和控制残余应力可以实现改善材料性能、提升尺寸精度、延长寿命等目的,进而提升关键工程构件的安全性和可靠性。因此,残余应力检测技术在航空航天、核电、船舶等领域发... 随着我国工业水平的不断提升,残余应力问题日益受到重视。准确测试和控制残余应力可以实现改善材料性能、提升尺寸精度、延长寿命等目的,进而提升关键工程构件的安全性和可靠性。因此,残余应力检测技术在航空航天、核电、船舶等领域发挥着重要作用,为工程构件力学性能研究和安全评估提供关键数据支持。总结了目前常用的残余应力检测技术的原理、适用范围、优缺点等,讨论了选择残余应力检测技术时需考虑的主要因素,指出了残余应力检测技术在科研和应用领域的发展趋势。 展开更多

关键词 残余应力检测 中子衍射 轮廓法 X射线衍射 同步辐射 深孔法

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光散射平均值法在线监测颗粒排放物浓度的研究 被引量：12

2

作者 赵延军 王式民 +2 位作者 穆宁 潘琦 张学峰 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第11期217-221,共5页

从Fraunhofer衍射理论的积分变换反演算法出发,提出了一种称为平均值法的烟尘颗粒浓度在线测量新方法。通过测量特定前向小角内光散射积分的强度即可获知被测烟尘的颗粒浓度。与目前常用的测量颗粒浓度的消光法比较,这种方法不需要预先... 从Fraunhofer衍射理论的积分变换反演算法出发,提出了一种称为平均值法的烟尘颗粒浓度在线测量新方法。通过测量特定前向小角内光散射积分的强度即可获知被测烟尘的颗粒浓度。与目前常用的测量颗粒浓度的消光法比较,这种方法不需要预先获取颗粒的平均粒径。因此可以用于在线测量。文中用Fraunhofer衍射和Mie散射理论对这一新的测量方法进行了数值模拟验证,确认了该测量方法的正确性及它的适用范围,还进一步在粉尘发生器上进行了实时在线测量的研究,并采用等速采样法对测量系统进行了标定,从而验证了平均值法的可靠性和可行性。 展开更多

关键词 光散射 平均值法 Fraunhofer衍射 积分变换 MIE散射理论 颗粒浓度 反演算法 平均粒径 研究 新方法

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木材微纤丝角的测定方法及其进展 被引量：12

3

作者 黄艳辉 赵荣军 +2 位作者 费本华 余雁 张波 《西北林学院学报》 CSCD 北大核心 2006年第4期184-188,共5页

本文首次较系统的介绍了木材微纤丝角的近20种测定方法,并将其归为三类:显微技术法、X射线法和近红外光谱预测法。以X射线衍射法为重点,在对各种方法进行仔细分析和优缺点对比的基础上,总结出三类测定方法的特点:显微技术法是获得微纤... 本文首次较系统的介绍了木材微纤丝角的近20种测定方法,并将其归为三类:显微技术法、X射线法和近红外光谱预测法。以X射线衍射法为重点,在对各种方法进行仔细分析和优缺点对比的基础上,总结出三类测定方法的特点:显微技术法是获得微纤丝角微观信息不可替代的方法;X射线法测定迅速、重现性好、代表性强,特别适用于大量试样的变异研究;近红外光谱预测法既适用于大量试样的变异分析,又可实现模型共享和多组分快速预测。同时,提出了改进和发展测定方法的建议。 展开更多

关键词 微纤丝角 测定方法 木材性质 X射线衍射

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高精度激光衍射测径系统 被引量：13

4

作者 张凤生 刘冲 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期149-150,164,共3页

本文介绍采用线阵 CCD的激光衍射测径系统。该系统中 CCD视频信号被逐位进行模 /数转换 ,变为相应的数字量。利用最小二乘法对衍射图样进行局部曲线拟合 ,确定暗纹间距 S。因而 ,衍射测径的精度不再受

关键词 激光衍射测量 CCD(电荷耦合器件) 最小二乘法

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基于单缝衍射原理的圆度误差测量方法 被引量：3

5

作者 花世群 骆英 赵国旗 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期140-144,共5页

提出了一种全新的圆度误差光学自动测量方法。新方法基于单缝衍射原理,利用工件的圆度误差来改变衍射单缝的宽度,进而改变衍射条纹的间距。在测量单缝衍射中央明纹的宽度时,提出了用最小二乘法对测量到的衍射图像的光强分布进行二次曲... 提出了一种全新的圆度误差光学自动测量方法。新方法基于单缝衍射原理,利用工件的圆度误差来改变衍射单缝的宽度,进而改变衍射条纹的间距。在测量单缝衍射中央明纹的宽度时,提出了用最小二乘法对测量到的衍射图像的光强分布进行二次曲线拟合,并由拟合得到的数学表达式,确定衍射暗条纹的精确位置。由导出的工件圆度误差与单缝衍射中央明纹宽度之间的关系,用最小二乘法对工件的圆度误差进行了评定。测量结果表明,新的圆度误差测量方法是可行的,圆度误差的相对不确定度小于1.4%,并且测量系统具有操作方便、精度高的优点,新方法也可应用于锥角、直线度误差等其它几何量的精密测量中。 展开更多

关键词 光学测量 圆度误差测量 单缝衍射 最小二乘法 曲线拟合

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结构隔声测试方法实验研究 被引量：3

6

作者 刘彦森 盛美萍 +2 位作者 王敏庆 张军锋 范玉岭 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2007年第11期1403-1407,共5页

结构隔声测试在结构声学设计、环境噪声控制、建筑声学和国防工业等领域应用广泛。本文在引入边缘衍射时域分离技术和虚拟仪器测试技术的基础上,以铝板为样品,以半消声室为测试场所,对自由场法在结构隔声测试领域中的应用开展了实验研究... 结构隔声测试在结构声学设计、环境噪声控制、建筑声学和国防工业等领域应用广泛。本文在引入边缘衍射时域分离技术和虚拟仪器测试技术的基础上,以铝板为样品,以半消声室为测试场所,对自由场法在结构隔声测试领域中的应用开展了实验研究,并对边缘衍射、测试脉宽、系统增益和平均时间等因素对测试结果的影响进行了理论分析。此外,为改善测试信噪比和系统频响带宽特性,还分别提出了样品等效放大技术和组合宽带发射技术。实验研究结果表明:在有效带宽内,隔声测试结果与理论值吻合较好,平均偏差仅为0.05dB左右,测试精度较高。自由场法不需要专门的隔声室设施,实现了非隔声室环境条件下的结构隔声测试,测试结果准确可靠,特别适用于工程现场测试,值得尝试与推广。 展开更多

关键词 结构隔声测试 自由场法 边缘衍射 时域分离技术 测试信噪比

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基于衍射横波的裂纹激光超声检测方法 被引量：6

7

作者 王玉庆 王云霞 马世榜 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期546-550,共5页

为了评估表面开口裂纹,采用激光超声衍射横波的方法测量其参量.激光激励的横波传播至裂纹尖端产生衍射信号,随后被处于裂纹另一侧的传感器所接收.依据不同接收点衍射横波的渡越时间,推导出裂纹参量的计算公式;模拟分析了横波在工件中的... 为了评估表面开口裂纹,采用激光超声衍射横波的方法测量其参量.激光激励的横波传播至裂纹尖端产生衍射信号,随后被处于裂纹另一侧的传感器所接收.依据不同接收点衍射横波的渡越时间,推导出裂纹参量的计算公式;模拟分析了横波在工件中的传播过程,搭建了裂纹的激光超声测量实验系统,并采集了衍射横波数据.结果表明,在有效的检测范围内,测量值与实际值之间的误差在5%之内.该结果可促进激光超声在表面裂纹检测中的应用. 展开更多

关键词 测量与计量 开口裂纹测量方法 有限元分析 激光超声 衍射横波

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基于旁瓣光束衍射反演的强激光远场焦斑测量方法 被引量：3

8

作者 王拯洲 王力 +4 位作者 魏际同 王伟 李刚 弋东驰 王亚军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期380-402,共23页

针对大型激光装置使用纹影法无法实现旁瓣光束弱信号区域光强分布精确测量的问题,提出了基于旁瓣光束衍射反演的纹影法强激光远场焦斑测量方法。采用逆向推演间接测量的研究方法,沿光路传播逆方向推导,以旁瓣光束衍射光强图像和相位图... 针对大型激光装置使用纹影法无法实现旁瓣光束弱信号区域光强分布精确测量的问题,提出了基于旁瓣光束衍射反演的纹影法强激光远场焦斑测量方法。采用逆向推演间接测量的研究方法,沿光路传播逆方向推导,以旁瓣光束衍射光强图像和相位图像作为输入,通过计算获得未遮挡前旁瓣光束远场焦斑分布。相比传统基于纹影的远场焦斑测量方法,本文的主要改进和优化措施为:首先,基于旁瓣光束衍射反演的原理和间接测量的思想,改进纹影法强激光远场焦斑测量数学模型,从理论角度揭示该模型的合理性;其次,实验仿真强激光远场焦斑测量的整个过程,主要步骤为旁瓣光束衍射、加噪去噪、旁瓣光束衍射反演、焦斑重构等,验证了该方法的可行性;最后,将改进的DnCNN算法用于去除主瓣和旁瓣光束12位科学CCD图像不同级别(0~75 dB)的噪声,提升了远场焦斑的重构精度。实验结果表明:该方法不仅消除了纹影小球对旁瓣光束衍射的影响,而且获得了真实的旁瓣光束弱信号区域的光强分布,包括旁瓣光束各个波峰的幅值和位置、动态范围比值等远场焦斑测量重要参数,其中重构焦斑动态范围比值与理论焦斑动态范围比值之间的误差为3.20%,提高了基于纹影的强激光远场焦斑测量的可信度和实验精度。 展开更多

关键词 远场焦斑测量 纹影法 焦斑重构 DnCNN 旁瓣光束衍射反演

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流化床催化剂粒度的测试研究 被引量：3

9

作者 许根慧 田红兵 +1 位作者 毛义 张以谟 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1989年第4期73-80,共8页

利用激光衍射原理探测流化床催化剂粒度和催化剂喷雾成型时浆液雾滴尺寸,建立了一种快速有效的测定固体和液滴粒子大小及分布的方法。在粒子场大量采样测量的基础上,选取了最适宜粒度分布方程,实验结果与一般显微镜法和筛分法比较,激光... 利用激光衍射原理探测流化床催化剂粒度和催化剂喷雾成型时浆液雾滴尺寸,建立了一种快速有效的测定固体和液滴粒子大小及分布的方法。在粒子场大量采样测量的基础上,选取了最适宜粒度分布方程,实验结果与一般显微镜法和筛分法比较,激光衍射法操作简便、测试响应速度快、结果可靠、重现性好,适于在线分析。 展开更多

关键词 流体床 催化剂 粒度测试

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基于无衍射光莫尔条纹的轴锥透镜锥角测量方法 被引量：3

10

作者 杨练根 刘凡 +1 位作者 冉晶晶 翟中生 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期559-564,共6页

为了准确地测量轴锥透镜锥角值,根据无衍射光同心圆环间距不随距离改变的特点和莫尔条纹放大的特性,提出了一种基于无衍射光莫尔条纹的轴锥透镜锥角的测量方法。当无衍射光束经分束器分光合束后形成莫尔条纹,平移其中一束光在图像传感... 为了准确地测量轴锥透镜锥角值,根据无衍射光同心圆环间距不随距离改变的特点和莫尔条纹放大的特性,提出了一种基于无衍射光莫尔条纹的轴锥透镜锥角的测量方法。当无衍射光束经分束器分光合束后形成莫尔条纹,平移其中一束光在图像传感器上的位置,实现莫尔条纹数量的变化,通过记录不同莫尔条纹下的中心距离计算出轴锥透镜锥角。实验以锥角为0.5°的轴锥透镜作为被测对象,与CMM测量结果进行比较,该文提出的方法相对测量误差近似为0.54%,重复性为0.86″,验证了该文方法测量轴锥透镜锥角的可行性。 展开更多

关键词 轴锥透镜 锥角测量方法 无衍射光 莫尔条纹

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基于衍射光栅计量系统的非接触轮廓测量位移传感器 被引量：1

11

作者 黎新 陈育荣 王生怀 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第10期1-3,12,共4页

聚集检测法是一种非接触轮廓测量方法,但是现有的聚焦检测法采用音圈电机,其测量精度有限。针对此问题,文中提出了一种非接触位移传感器,该传感器基于改进的傅科聚焦检测法,并带有衍射光栅计量系统。通过压电驱动器取代音圈电机驱动,并... 聚集检测法是一种非接触轮廓测量方法,但是现有的聚焦检测法采用音圈电机,其测量精度有限。针对此问题,文中提出了一种非接触位移传感器,该传感器基于改进的傅科聚焦检测法,并带有衍射光栅计量系统。通过压电驱动器取代音圈电机驱动,并配合位移计量系统,提高了传感器的测量精度。在表面轮廓采样时,根据聚焦偏差信号,压电驱动器驱动聚焦透镜作垂直运动,使焦点始终在工件表面,同时衍射光栅计量系统测得聚焦透镜的垂直位移并将其作为采样点的轮廓高度。所有采样点的位移显示出被测量表面的整个轮廓,评定软件处理这些位移数据即可获得测量结果。该非接触的位移传感器的分辨率为10 nm. 展开更多

关键词 聚焦检测法 位移传感器 衍射光栅计量系统 压电驱动器 轮廓测量

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基于旁瓣光束衍射反演的远场测量旁瓣波峰参数检测方法 被引量：1

12

作者 王拯洲 段亚轩 +2 位作者 王力 李刚 郭嘉富 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第1期65-81,共17页

针对强激光远场测量不能有效识别旁瓣光束任意方向各个旁瓣波峰参数的问题,提出了基于旁瓣光束衍射反演的远场测量旁瓣波峰参数的检测方法。对旁瓣光束图像按照选定的角度采样间隔进行量化,使用角度变换将二维旁瓣光束图像转化为全方向... 针对强激光远场测量不能有效识别旁瓣光束任意方向各个旁瓣波峰参数的问题,提出了基于旁瓣光束衍射反演的远场测量旁瓣波峰参数的检测方法。对旁瓣光束图像按照选定的角度采样间隔进行量化,使用角度变换将二维旁瓣光束图像转化为全方向的一维旁瓣光束曲线集合,检测每一个角度的一维旁瓣光束曲线的各个旁瓣波峰参数,从而获得旁瓣光束任意方向各个旁瓣波峰的参数。主要优化措施为:(1)使用角度变换将二维旁瓣光束图像转化为全方向的一维旁瓣光束曲线集合;(2)检测每一个角度的一维旁瓣光束曲线的各个旁瓣波峰的参数,统计所有方向的各个旁瓣峰值,生成每个旁瓣波峰的极大值圆环;(3)统计每个旁瓣波峰极大值圆环的灰度均值,将各个旁瓣波峰极大值圆环的灰度均值与本底噪声进行比较,选择大于本底噪声1.5倍的最小波峰均值为整个旁瓣光束的最小可测旁瓣波峰信号。实验结果表明:该方法能够有效检测旁瓣光束任意方向各个旁瓣波峰的参数,任意方向上灰度极大值均值与理论值灰度极大值误差为0.477,5个波峰的极大值圆环半径均值与理论值半径之间误差小于1个像素。该方法提高了基于旁瓣光束衍射反演的远场测量的实验精度和可信度,为将来大科学装置强激光远场的精确测量奠定基础。 展开更多

关键词 远场测量 纹影法 旁瓣光束衍射反演 角度变换 旁瓣波峰参数检测

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红河断裂带测区古构造残余应力随深度分布 X 射线测量 被引量：2

13

作者 安欧 高国宝 《地震研究》 CSCD 北大核心 1993年第2期169-177,共9页

以岩体正交各向异性弹性理论为基础,用X射线衍射法,在红河断裂带测区,选用12个大口径钻孔用金刚石钻头钻取的岩芯,测量了岩体中三维宏观残余应力和微观残余应力及其弹性应变能密度随深度的分布,分析了它们沿深度的分布规律。

关键词 古构造 深度 残余应力 X射线衍射法

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无衍射光束三角测量系统噪声处理的小波分析方法 被引量：1

14

作者 陈庆虎 《工具技术》 北大核心 1999年第7期32-35,共4页

无衍射光束三角测量系统具有焦深长、中心光斑小、理论测量精度高等特点，但实际测量中的噪声会严重影响测量精度。根据无衍射光束三角测量中信号与噪声的频率特性，采用小波分析方法将噪声与信号分离，进而剔除噪声误差，可获得理想的... 无衍射光束三角测量系统具有焦深长、中心光斑小、理论测量精度高等特点，但实际测量中的噪声会严重影响测量精度。根据无衍射光束三角测量中信号与噪声的频率特性，采用小波分析方法将噪声与信号分离，进而剔除噪声误差，可获得理想的测量精度。 展开更多

关键词 无衍射光束 三角测量法 噪声 小波分析

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测量微球覆层厚度的X射线衍射法

15

作者 周上祺 石泉 +2 位作者 任勤 彭倩 应诗浩 《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期392-395,401,共5页

对采用X射线衍射测量微球覆层厚度的方法进行了研究，首先在建立微球X射线衍射数学模型的基础上，利用一组已知厚度和X射线衍射线积分强度的标样，通过计算机模拟求解的方法，得到微球衍射线积分强度和覆层厚度的关系。然后，在相同条... 对采用X射线衍射测量微球覆层厚度的方法进行了研究，首先在建立微球X射线衍射数学模型的基础上，利用一组已知厚度和X射线衍射线积分强度的标样，通过计算机模拟求解的方法，得到微球衍射线积分强度和覆层厚度的关系。然后，在相同条件下进行待测试样的X射线衍射实验，将其衍射线积分强度代入求解模型得到的结果中就能得到待测试样的覆层厚度。实验结果表明，X射线衍射法是可行的，具有快速、方便、非破坏、不接触等特点。 展开更多

关键词 微球 厚度测量 X射线衍射法 计算机模拟

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核酸提取用磁珠粒度快速测试方法

16

作者 侯晓妮 吕帅 +3 位作者 姜展樾 马丽侠 刘明东 周李华 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第11期184-188,共5页

为快速、准确地对核酸提取用磁珠的粒度进行测试,研究使用激光衍射粒度分析技术进行粒度试验,考察搅拌速度、超声频率、样品浓度(遮光度)的影响,并采用扫描电子显微镜进行方法准确度的确认,进行耐用性、时间稳定性、重复性、中间精密度... 为快速、准确地对核酸提取用磁珠的粒度进行测试,研究使用激光衍射粒度分析技术进行粒度试验,考察搅拌速度、超声频率、样品浓度(遮光度)的影响,并采用扫描电子显微镜进行方法准确度的确认,进行耐用性、时间稳定性、重复性、中间精密度的验证。同时,选取不同粒度的实际样品进行测定,结果表明,该方法的重复性优于3%,中间精密度优于5%。由此可见,该方法准确、可靠、快速、便捷,适用于核酸提取用磁珠粒度和粒度分布的测试。 展开更多

关键词 磁珠 粒度 激光衍射法 测试

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锂电池研究中的X射线多晶衍射实验与分析方法综述 被引量：10

17

作者 张杰男 汪君洋 +2 位作者 吕迎春 禹习谦 李泓 《储能科学与技术》 CAS CSCD 2019年第3期443-467,共25页

X射线多晶衍射技术是研究晶体结构的重要手段,通过对衍射数据的分析,能够得到材料的晶胞参数、原子占位、晶粒大小、晶粒取向、应力分布等信息,对研究材料结构与性能之间的关系具有重要意义。在锂离子电池研究领域,X射线衍射技术广泛应... X射线多晶衍射技术是研究晶体结构的重要手段,通过对衍射数据的分析,能够得到材料的晶胞参数、原子占位、晶粒大小、晶粒取向、应力分布等信息,对研究材料结构与性能之间的关系具有重要意义。在锂离子电池研究领域,X射线衍射技术广泛应用于材料合成、电芯检测及失效分析中的物相检测,极大地推动了电池材料的进步与发展。本文主要介绍了X射线多晶衍射基本原理与实验方法、测试过程常用参数设置、数据处理与结构精修方法,并结合实例介绍了X射线衍射技术在研究锂离子电池材料结构演化、反应机制、安全性能等方面的应用。 展开更多

关键词 X射线衍射 多晶分析 测试方法 锂电池

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基于傅里叶变换的点衍射干涉术 被引量：3

18

作者 王惠临 苏显渝 杨焕东 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期51-55,共5页

在相移算法的点衍射干涉术的基础上,提出了基于傅里叶变换的点衍射干涉测量术。基于傅里叶变换的点衍射干涉测量术是一种建立在点光源衍射干涉理论基础上的测量方法,它采用傅里叶条纹分析方法来求解干涉条纹的相位分布,运用基于BFGS的... 在相移算法的点衍射干涉术的基础上,提出了基于傅里叶变换的点衍射干涉测量术。基于傅里叶变换的点衍射干涉测量术是一种建立在点光源衍射干涉理论基础上的测量方法,它采用傅里叶条纹分析方法来求解干涉条纹的相位分布,运用基于BFGS的拟牛顿算法进行三坐标的迭代计算,确定点光源的三维空间坐标。通过计算机模拟实验,验证了该方法在有噪声干扰的情况下,可以有效降低干扰噪声对测量的影响。 展开更多

关键词 衍射干涉 傅里叶变换 拟牛顿算法 精密测量

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面向应力剥层测量的铝合金电解工艺研究 被引量：5

19

作者 杜吉星 杨吟飞 +1 位作者 朱金鹏 杨巍 《工具技术》 2019年第7期50-55,共6页

X射线衍射法可以无损测量表面残余应力,但需要结合剥层法才能测量材料一定深度上的残余应力。设计了一种电化学剥层的装置,采用NaCl溶液作为电解液,可以对金属平面小区域进行材料去除,电解深度可精确控制。以铝合金材料为例,试验优选出... X射线衍射法可以无损测量表面残余应力,但需要结合剥层法才能测量材料一定深度上的残余应力。设计了一种电化学剥层的装置,采用NaCl溶液作为电解液,可以对金属平面小区域进行材料去除,电解深度可精确控制。以铝合金材料为例,试验优选出电解加工参数电流密度为23.87A/cm^2和电解液流量为1200cm^3/min。通过对数据拟合曲线进行优化处理,标定了实际深度蚀除速度约为7.42μm/s。对铣削铝合金板进行表层残余应力测量,测量结果符合一般铣削铝合金残余应力分布规律。 展开更多

关键词 残余应力 铝合金 X射线衍射法 剥层法 深度蚀除速度

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一种二维光栅结构衍射场计算中的快速收敛方案 被引量：1

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作者 邓浩 陈树强 全军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期79-86,共8页

基于Lalanne经验法与Gtz法向矢量法的傅里叶因式分解过程,给出了傅里叶模态层吸收法的一个快速收敛方案.通过求解解析边界轮廓函数的梯度矢量,简化了Gtz法向矢量法的傅里叶因式分解过程,使其单波长点计算时间降低两个量级.通过距离... 基于Lalanne经验法与Gtz法向矢量法的傅里叶因式分解过程,给出了傅里叶模态层吸收法的一个快速收敛方案.通过求解解析边界轮廓函数的梯度矢量,简化了Gtz法向矢量法的傅里叶因式分解过程,使其单波长点计算时间降低两个量级.通过距离反比权重法构造4个典型方向的法向矢量场,降低了法向矢量法在傅里叶因式分解过程中的不确定性.根据这4个典型法向矢量场与Lalanne经验法,提供了5个傅里叶模态层吸收法的收敛性改进矩阵.预先对5个收敛性改进矩阵优选分析,选择一个最优矩阵进行傅里叶模态层吸收法的衍射模拟计算,可以实现快速收敛.计算结果表明,对于硅材料简单结构,优选的改进矩阵相比于非优选矩阵收敛性提高2阶左右,能有效提高衍射场计算速度.该方案可提高光栅设计和集成电路结构分析/测试的效率. 展开更多

关键词 衍射 模拟算法 层吸收法 光栅 严格耦合波分析 法向矢量法 收敛性 测试

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