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基于非周期多层膜的X射线成像研究
被引量:
10
1
作者
顾春时
王占山
+4 位作者
穆宝忠
王风丽
张众
秦树基
陈玲燕
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期881-885,共5页
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场...
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像·
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关键词
KB型显微镜
x射线非周期多层膜
x
射线
成像
空间分辨率
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职称材料
题名
基于非周期多层膜的X射线成像研究
被引量:
10
1
作者
顾春时
王占山
穆宝忠
王风丽
张众
秦树基
陈玲燕
机构
同济大学精密光学工程技术研究所物理系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期881-885,共5页
基金
国家863-804-3项目(2004AA843081)
上海市博士后研究基金(05R214140)资助项目
文摘
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像·
关键词
KB型显微镜
x射线非周期多层膜
x
射线
成像
空间分辨率
Keywords
KB microscope
x
-ray non-periodic multilayer
x
-ray imaging
Spatial resolution
分类号
O434.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
基于非周期多层膜的X射线成像研究
顾春时
王占山
穆宝忠
王风丽
张众
秦树基
陈玲燕
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
10
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