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聚甲基丙烯酸甲酯材质硬X射线组合Kinoform透镜的制作
1
作者
刘静
伊福廷
+2 位作者
盛伟繁
常广才
张伟伟
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期2817-2822,共6页
为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能,利用LIGA(Lithographie,Galvanoformung,Abformung)技术,制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材质硬X射线组合Kinoform透镜(CKL),并获得了良好的面形。制备的CKL以宽度为几个微米的细窄线条为...
为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能,利用LIGA(Lithographie,Galvanoformung,Abformung)技术,制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材质硬X射线组合Kinoform透镜(CKL),并获得了良好的面形。制备的CKL以宽度为几个微米的细窄线条为主要结构,包括曲面和直角面形,线条最窄宽度为2μm。为保证CKL良好的曲面及直角结构,样品制备分为三部分:过渡掩模板的制备,LIGA掩模板的制备,以及最终样品的硬X射线曝光制备。在LIGA掩模板制备过程中,采用制备有纳米柱阵列的硅衬底有效解决了光刻胶脱胶的问题。在最终样品制备过程中,选用分子量较高的PMMA片作衬底,提高了PMMA刚度,有效缓解了细窄线条的倒塌黏连问题,保证了CKL的良好面形。在北京同步辐射光源(BSRF)成像站测试了CKL透镜的性能,结果显示其对于8keV的X射线,聚焦焦斑的半高全宽(FWHM)为440nm。
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关键词
Kinofomi镜
x射线聚焦透镜
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
IIGA技术
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职称材料
题名
聚甲基丙烯酸甲酯材质硬X射线组合Kinoform透镜的制作
1
作者
刘静
伊福廷
盛伟繁
常广才
张伟伟
机构
中国科学院高能物理研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期2817-2822,共6页
基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.11605226
No.11305202)
文摘
为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能,利用LIGA(Lithographie,Galvanoformung,Abformung)技术,制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材质硬X射线组合Kinoform透镜(CKL),并获得了良好的面形。制备的CKL以宽度为几个微米的细窄线条为主要结构,包括曲面和直角面形,线条最窄宽度为2μm。为保证CKL良好的曲面及直角结构,样品制备分为三部分:过渡掩模板的制备,LIGA掩模板的制备,以及最终样品的硬X射线曝光制备。在LIGA掩模板制备过程中,采用制备有纳米柱阵列的硅衬底有效解决了光刻胶脱胶的问题。在最终样品制备过程中,选用分子量较高的PMMA片作衬底,提高了PMMA刚度,有效缓解了细窄线条的倒塌黏连问题,保证了CKL的良好面形。在北京同步辐射光源(BSRF)成像站测试了CKL透镜的性能,结果显示其对于8keV的X射线,聚焦焦斑的半高全宽(FWHM)为440nm。
关键词
Kinofomi镜
x射线聚焦透镜
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
IIGA技术
Keywords
Kinoform lens
x
ray focusing lens
LIGA technology
Polymethyl Methacrylate(PMMA)
分类号
O434.19 [机械工程—光学工程]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚甲基丙烯酸甲酯材质硬X射线组合Kinoform透镜的制作
刘静
伊福廷
盛伟繁
常广才
张伟伟
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
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