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PMMA材料制作X射线组合透镜技术研究
被引量：
9
1
作者
梁静秋
乐孜纯
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期60-64,共5页
给出了基于衍射理论的评价X射线聚焦组合透镜三维聚焦性能的理论方法。利用该理论方法分析得出X射线组合透镜的聚焦性能与透镜的工作波长、透镜材料、单元透镜数量及凹面半径等参数之间的关系。用LIGA技术中的软X射线光刻方法制作了PMM...
给出了基于衍射理论的评价X射线聚焦组合透镜三维聚焦性能的理论方法。利用该理论方法分析得出X射线组合透镜的聚焦性能与透镜的工作波长、透镜材料、单元透镜数量及凹面半径等参数之间的关系。用LIGA技术中的软X射线光刻方法制作了PMMA材料X射线组合透镜。该组合透镜由40个平凹折射单元依次排列而成,相邻的两透镜单元彼此相切,凹面半径分别为200μm,400μm,500μm,600μm,700μm。此外,X射线组合透镜的表面粗糙度测试结果表明,粗糙度均方根值小于50 nm。
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关键词
x射线组合透镜
三维聚焦性能
PMMA
透镜
软
x
射线
光刻
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职称材料
X射线组合透镜近焦点处的三维聚焦性能研究
被引量：
1
2
作者
乐孜纯
张明
+3 位作者
梁静秋
刘恺
董文
王亢
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期82-87,共6页
X射线组合透镜是一种利用折射效应对X射线聚焦成像的新型元件。本文结合衍射理论和统计学理论,推导得出X射线组合透镜近焦点处的三维聚焦强度分布公式,并以此为基础对X射线组合透镜的结构参数进行设计。计算得出了PMMA、Si、Al三种材料...
X射线组合透镜是一种利用折射效应对X射线聚焦成像的新型元件。本文结合衍射理论和统计学理论,推导得出X射线组合透镜近焦点处的三维聚焦强度分布公式,并以此为基础对X射线组合透镜的结构参数进行设计。计算得出了PMMA、Si、Al三种材料的X射线组合透镜在不同工作波长下的强度增益、焦斑尺寸和焦深等聚焦性能指标。并针对PMMA材料X射线组合透镜,分析了近焦点处三维聚焦性能随组合透镜结构参数的变化关系,给出了一种PMMA材料X射线组合透镜的设计结果。根据设计的组合透镜结构参数,计算了当X射线工作波长为0.15nm时,X射线辐射经过组合透镜后的近焦点处的强度分布。
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关键词
x射线组合透镜
三维聚焦
光强分布
x
射线
成像系统
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职称材料
抛物面型X射线组合折射透镜光学性能分析
被引量：
1
3
作者
乐孜纯
刘魏
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期52-56,共5页
抛物面型X射线组合折射透镜是一种适用于硬X射线波段的新型光学元件。由于采用抛物面型,可以消除球差,因而能够产生亚微米尺度焦斑并具有更好的成像性能。本文给出了旋转轴对称抛物面型X射线组合透镜的理论研究成果。首先,利用矩阵光学...
抛物面型X射线组合折射透镜是一种适用于硬X射线波段的新型光学元件。由于采用抛物面型,可以消除球差,因而能够产生亚微米尺度焦斑并具有更好的成像性能。本文给出了旋转轴对称抛物面型X射线组合透镜的理论研究成果。首先,利用矩阵光学方法,推导了其精确的焦距公式,得到了薄透镜判定准则;其次,根据衍射理论,推导出焦点处的光强分布,得到其极限焦斑大小。最后,本文还给出了透过率和有效孔径的理论公式。针对用Al、Be、PMMA三种材料制作的抛物面型X射线组合折射透镜,本文给出了各个光学性能指标的数值计算结果。
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关键词
x
射线
组合
折射
透镜
光学性能
聚焦
微分析
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职称材料
题名
PMMA材料制作X射线组合透镜技术研究
被引量：
9
1
作者
梁静秋
乐孜纯
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
浙江工业大学信息工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期60-64,共5页
基金
国家自然科学基金资助(No.10174079)
北京正负电子对撞机国家实验室资助
文摘
给出了基于衍射理论的评价X射线聚焦组合透镜三维聚焦性能的理论方法。利用该理论方法分析得出X射线组合透镜的聚焦性能与透镜的工作波长、透镜材料、单元透镜数量及凹面半径等参数之间的关系。用LIGA技术中的软X射线光刻方法制作了PMMA材料X射线组合透镜。该组合透镜由40个平凹折射单元依次排列而成,相邻的两透镜单元彼此相切,凹面半径分别为200μm,400μm,500μm,600μm,700μm。此外,X射线组合透镜的表面粗糙度测试结果表明,粗糙度均方根值小于50 nm。
关键词
x射线组合透镜
三维聚焦性能
PMMA
透镜
软
x
射线
光刻
Keywords
compound
x
-ray lens
three-dimensional focusing performances
PMMA lens
soft
x
-ray lithography
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
X射线组合透镜近焦点处的三维聚焦性能研究
被引量：
1
2
作者
乐孜纯
张明
梁静秋
刘恺
董文
王亢
机构
浙江工业大学信息工程学院
中国科学院长春光机物理所应用光学国家重点实验室
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期82-87,共6页
基金
国家自然科学基金(10174079)
浙江省自然科学基金(Y104203)资助项目。
文摘
X射线组合透镜是一种利用折射效应对X射线聚焦成像的新型元件。本文结合衍射理论和统计学理论,推导得出X射线组合透镜近焦点处的三维聚焦强度分布公式,并以此为基础对X射线组合透镜的结构参数进行设计。计算得出了PMMA、Si、Al三种材料的X射线组合透镜在不同工作波长下的强度增益、焦斑尺寸和焦深等聚焦性能指标。并针对PMMA材料X射线组合透镜,分析了近焦点处三维聚焦性能随组合透镜结构参数的变化关系,给出了一种PMMA材料X射线组合透镜的设计结果。根据设计的组合透镜结构参数,计算了当X射线工作波长为0.15nm时,X射线辐射经过组合透镜后的近焦点处的强度分布。
关键词
x射线组合透镜
三维聚焦
光强分布
x
射线
成像系统
Keywords
x
-ray compound lens
Three-dimensional focusing
Light intensity distributions
x
-ray imaging systems
分类号
O434.19 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
抛物面型X射线组合折射透镜光学性能分析
被引量：
1
3
作者
乐孜纯
刘魏
机构
浙江工业大学理学院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期52-56,共5页
基金
国家自然科学基金资助(60672014)
浙江省自然科学基金杰出青年团队项目资助(R107377)
文摘
抛物面型X射线组合折射透镜是一种适用于硬X射线波段的新型光学元件。由于采用抛物面型,可以消除球差,因而能够产生亚微米尺度焦斑并具有更好的成像性能。本文给出了旋转轴对称抛物面型X射线组合透镜的理论研究成果。首先,利用矩阵光学方法,推导了其精确的焦距公式,得到了薄透镜判定准则;其次,根据衍射理论,推导出焦点处的光强分布,得到其极限焦斑大小。最后,本文还给出了透过率和有效孔径的理论公式。针对用Al、Be、PMMA三种材料制作的抛物面型X射线组合折射透镜,本文给出了各个光学性能指标的数值计算结果。
关键词
x
射线
组合
折射
透镜
光学性能
聚焦
微分析
Keywords
compound refractive
x
-ray lens
optical property
focusing
x
-ray microanalysis
分类号
O434.19 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PMMA材料制作X射线组合透镜技术研究
梁静秋
乐孜纯
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
X射线组合透镜近焦点处的三维聚焦性能研究
乐孜纯
张明
梁静秋
刘恺
董文
王亢
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
抛物面型X射线组合折射透镜光学性能分析
乐孜纯
刘魏
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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职称材料
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