微束斑X射线源及X射线光学元件 被引量：10

1

作者 王凯歌 王雷 牛憨笨 《应用光学》 CAS CSCD 2008年第2期183-191,共9页

高质量的X射线源,尤其高亮度的微纳束斑X射线源是现代X射线光学高清晰成像最为关键的部件之一,在工业无损探伤、生命科学、材料科学等科学研究和实际应用中具有重要的意义。简单介绍了微束斑X射线源的产生方法及发展历史,并对微束X射线... 高质量的X射线源,尤其高亮度的微纳束斑X射线源是现代X射线光学高清晰成像最为关键的部件之一,在工业无损探伤、生命科学、材料科学等科学研究和实际应用中具有重要的意义。简单介绍了微束斑X射线源的产生方法及发展历史,并对微束X射线光学涉及到的聚焦X射线光学元件(如X射线掠入射反射镜、布拉格法反射镜、多层膜反射镜、多层膜光栅、X射线波带片、毛细管聚焦透镜和复合折射透镜等)的主要特点作了简要的系统介绍。最后展望了微细束X射线在微纳检测与分析等方面的应用前景。 展开更多

关键词 微束斑x射线源 x射线光学 x射线光学元件

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X射线成像光学的新进展：Bragg－Fresnel多层膜元件 被引量：1

2

作者 乐孜纯 王占山 马月英 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第2期1-6,共6页

简要叙述了Ｘ射线反射式衍射光学元件──Ｂｒａｇｇ－Ｆｒｅｓｎｅｌ多层膜元件产生和发展的过程。介绍了它的基本原理及它的设计和制作步骤。对其应用前景作了简要分析，并对开展这方面的研究工作提出了一些设想。

关键词 多层膜 刻蚀 x射线 光学元件 衍射 反射

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用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件

3

作者 王占山 马月英 +7 位作者 吕俊霞 高宏刚 刘毅楠 裴舒 曹健林 徐向东 洪义麟 付绍军 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第1期66-69,共4页

介绍了软X射线Bragg Fresnel光学元件的特点 ,并以磁控溅射法制备多层膜 ,再采用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成波带片图形 ,通过显影。

关键词 软x射线 光学元件 多层膜 光学全息法 B-F元件

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X射线波段多层膜光学元件及其应用

4

作者 曹健林 缪同群 +2 位作者 马月英 朱秀芳 陈星旦 《光学机械》 CSCD 1992年第1期150-156,共7页

用于 X 射线、特别是软 X 射线其波长范围约为(1～30)nm 波段的多层膜光学元件近十年来引起了人们的广泛重视,取得了许多重要进展。本文对这种多层膜光学元件的特点、制备和检测方法、应用领域、以及国内有关工作的近况做简要介绍。

关键词 x射线 多层膜 光学元件 应用

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超光滑表面软X射线光学元件的加工工艺与检测 被引量：2

5

作者 周长新 《光学机械》 CSCD 1991年第1期45-49,共5页

本文叙述了工作在软X射线波段的光学元件的加工工艺与检测。谈到研究目的、背景和我国的研究概况。着重介绍了长春光机所近期工作的新进展。作者结合实例介绍了超光滑加工工艺方法、特点和超光滑表面粗糙度及面形的检测。测量结果表明,... 本文叙述了工作在软X射线波段的光学元件的加工工艺与检测。谈到研究目的、背景和我国的研究概况。着重介绍了长春光机所近期工作的新进展。作者结合实例介绍了超光滑加工工艺方法、特点和超光滑表面粗糙度及面形的检测。测量结果表明,表面粗糙度优于0.5nm RMS,达到了世界先进水平。文章最后提出了今后三年的研究课题与目标。 展开更多

关键词 软x射线 光学元件 加工工艺 检测

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X射线光学元件的革命

6

作者 Cegl.,NM 曾立文 《光学工程》 CSCD 1990年第37期38-40,共3页

关键词 x射线 光学元件

全文增补中

利用多毛细管准直器测量X射线光源焦斑尺寸 被引量：6

7

作者 孙天希 丁训良 +5 位作者 刘志国 张美荣 罗萍 潘秋丽 李崇会 袁明年 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期633-636,共4页

设计了一种测量X射线光源焦斑尺寸的方法:多毛细管准直器法。整体玻璃毛细管X射线准直器是由数105根内径为几微米的单玻璃毛细管组成的X射线光学器件,X射线光源发出的发散X射线光束被多毛细管准直器约束后变为准平行束。准平行束的截面... 设计了一种测量X射线光源焦斑尺寸的方法:多毛细管准直器法。整体玻璃毛细管X射线准直器是由数105根内径为几微米的单玻璃毛细管组成的X射线光学器件,X射线光源发出的发散X射线光束被多毛细管准直器约束后变为准平行束。准平行束的截面直径是X射线光源焦斑直径的函数,通过测量准平行束不同位置处的截面直径,利用线性拟合可得到X射线光源的焦斑直径。分别利用多毛细管准直器法和常用的小孔成像法测量了同一微焦斑X射线光源的焦斑直径,测量结果分别为60.8和59.4μm。多毛细管准直器法对焦斑直径在亚微米量级或更小X射线源的焦斑尺寸测量中将显示出更多的优势。 展开更多

关键词 x射线光学 毛细管x射线光学器件 焦斑尺寸测量

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整体多毛细管X光透镜在扩展X射线吸收精细结构分析技术中的应用(英文) 被引量：2

8

作者 孙天希 丁训良 +5 位作者 刘志国 贺博 韦世强 谢亚宁 刘涛 Peter M Rentzepis 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1809-1815,共7页

为了将整体多毛细管X光透镜应用到扩展X射线吸收精细结构分析技术中,对整体多毛细管X光透镜的功率密度增益、光斑稳定性、高能滤波性质等进行了系统表征。通过实验可知,利用基于整体多毛细管X光透镜的扩展X射线吸收精细结构分析设备可... 为了将整体多毛细管X光透镜应用到扩展X射线吸收精细结构分析技术中,对整体多毛细管X光透镜的功率密度增益、光斑稳定性、高能滤波性质等进行了系统表征。通过实验可知,利用基于整体多毛细管X光透镜的扩展X射线吸收精细结构分析设备可对样品进行微区分析,其空间分辨为25μm左右;利用整体多毛细管X光透镜会聚激光等离子体发出的X射线进行超快时间分辨扩展X射线吸收精细结构分析时,透镜的功率密度增益约为3000。实验结果证明,整体多毛细管X光透镜可以改善扩展X射线吸收精细结构分析设备的性能。 展开更多

关键词 毛细管x射线光学器件 扩展x射线吸收精细结构 微区扩展x射线吸收精细结构 超快时间分辨扩展x射线吸收精细结构

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X射线Bragg-Fresnel元件中金属吸收层的热变形问题 被引量：1

9

作者 乐孜纯 李英爱 潘守甫 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 2000年第1期67-70,共4页

研究 X射线 Bragg- Fresnel元件中金属吸收层的热变形问题 .给出因 X射线辐射引入的热载荷所产生的金属吸收层衍射图形尺寸膨胀量及金属吸收层热应力的计算结果 .探讨 X射线 Bragg-

关键词 x射线 金属吸收层 热变形 B-F元件 光学元件

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单通道和多通道毛细管光学元件-技术发展水平和应用(英文) 被引量：2

10

作者 A Bjeoumikhov R Wedell S Bjeoumikhova 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1932-1945,共14页

毛细管光学元件在X射线分析中的应用已有20多年的历史,在这段时间里,毛细管光学元件的制作技术发生了很大的变化。上世纪90年代初,使用的是组装的毛细管光学元件,目前,集成的多通道毛细管光学元件已广泛地应用于市场销售的X射线分析设... 毛细管光学元件在X射线分析中的应用已有20多年的历史,在这段时间里,毛细管光学元件的制作技术发生了很大的变化。上世纪90年代初,使用的是组装的毛细管光学元件,目前,集成的多通道毛细管光学元件已广泛地应用于市场销售的X射线分析设备中。这些元件的毛细管直径在微米量级,其光学性质可以根据几何光学的光线追迹计算进行描述。最近,由于多通道毛细管制作技术的改进,已成功制成了200 nm及以下通道尺寸的毛细管光学元件。在这样小的通道尺寸下,观察到了X射线辐射的波动效应。最后文章介绍了毛细管光学元件在X射线微荧光分析和微衍射方面的应用。 展开更多

关键词 x射线毛细管光学元件 波动特性 纳米毛细管 x射线分析

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软X射线衍射元件

11

作者 付绍军 洪义麟 陶晓明 《光学机械》 CSCD 1991年第1期39-44,共6页

本文介绍了用于软X射线波段的衍射元件-高精度波带片和金透射光栅的研制技术,国内外研究现状和发展趋势。

关键词 软x射线 衍射元件 光学元件

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嵌套法拉制具有微米级束斑的X射线聚焦锥形单毛细管

12

作者 叶磊 王兴艺 +5 位作者 罗恒 周末 段嘉宇 林晓燕 刘志国 李玉德 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期456-461,共6页

提出并使用嵌套法拉制工艺实现锥形单毛细管微米级内径,从而实现X射线传输的微米级束斑.利用高精度光纤拉丝塔,拉制了锥形单毛细管,出口内径达到7.50μm,入口内径21.44μm.在锥形单毛细管出口2mm处经过刀口扫描得到6.1μm的Cr靶Kα-X射... 提出并使用嵌套法拉制工艺实现锥形单毛细管微米级内径,从而实现X射线传输的微米级束斑.利用高精度光纤拉丝塔,拉制了锥形单毛细管,出口内径达到7.50μm,入口内径21.44μm.在锥形单毛细管出口2mm处经过刀口扫描得到6.1μm的Cr靶Kα-X射线束斑,束斑发散度为3.9mrad,传输效率为20%,光强增益为15.7.实验验证了嵌套拉制工艺的可行性. 展开更多

关键词 嵌套拉制 x射线光学 锥形单毛细管 6.1μm微束斑

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毛细管放电软X射线激光传播的解析研究

13

作者 张新陆 王骐 程元丽 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期392-393,397,共3页

对于电子密度和增益为抛物线分布的等离子体 ,在几何光学的近似下 ,通过简化模型研究了毛细管放电X射线在柱状长等离子体柱中的传播与增益过程 ,并给出了抛物线近似下X射线激光的输出光强随偏转角的变化关系及偏离轴向的折射角和折射长度。

关键词 毛细管放电 x射线激光 几何光学 等离子体 传播 增益

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X射线全息术 被引量：22

14

作者 陈建文 徐至展 +1 位作者 朱佩平 王之江 《物理学进展》 CSCD 北大核心 1995年第2期125-147,共23页

本文介绍了Ｘ射线全息术的工作原理和进展状况，详细地论述了与Ｘ射线全息术有关的Ｘ射线光学、Ｘ射线光学元件和Ｘ射线源的特性，并讨论了Ｘ射线全息实验的要求和记录方式，最后着重探讨了包括记录过程和重现过程中影响Ｘ射线全息术分... 本文介绍了Ｘ射线全息术的工作原理和进展状况，详细地论述了与Ｘ射线全息术有关的Ｘ射线光学、Ｘ射线光学元件和Ｘ射线源的特性，并讨论了Ｘ射线全息实验的要求和记录方式，最后着重探讨了包括记录过程和重现过程中影响Ｘ射线全息术分辨率的各种因素。 展开更多

关键词 光学元件 x射线源 x射线全息术 x射线光学

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软X射线多层反射膜的一种新型设计方法 被引量：4

15

作者 柯常军 王占山 +2 位作者 张铁强 曹健林 陈星旦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第2期17-20,共4页

在循环递推法基础上加入随机数运算，得到一种简易、精度高、有较高实用价值的多层发射膜设计方法。给出了设计步骤，进行了一系列多层膜设计。通过比较，这种方法与复振幅平面法所得结果非常接近，甚至有的多层膜的设计结果更好。

关键词 软x射线 多层膜 随机数 设计方法 光学元件

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毛细管X光透镜共聚焦技术在测厚中的应用 被引量：1

16

作者 彭松 刘志国 +8 位作者 孙天希 李玉德 刘鹤贺 赵为刚 赵广翠 林晓燕 罗萍 潘秋丽 丁训良 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期2223-2226,共4页

为了实现对薄膜和镀层材料厚度的微区无损分析,利用多毛细管X光会聚透镜和多毛细管X光平行束透镜设计并搭建了普通实验室X射线光源的共聚焦微束X射线荧光测厚仪,对该共聚焦测厚仪的性能进行了系统表征。利用该测厚仪测定了厚度约为25μm... 为了实现对薄膜和镀层材料厚度的微区无损分析,利用多毛细管X光会聚透镜和多毛细管X光平行束透镜设计并搭建了普通实验室X射线光源的共聚焦微束X射线荧光测厚仪,对该共聚焦测厚仪的性能进行了系统表征。利用该测厚仪测定了厚度约为25μm的Ni独立薄膜样品和压于硅基表面厚度约为15μm的Ni薄膜样品厚度,对应它们的相对测量误差分别为3.7%和6.7%。另外,还对厚度约为10μm Ni薄膜样品的厚度均匀性进行了测量。该共聚焦测厚仪可以对样品进行微区深度分析,并且具有元素分辨能力,从而使得该谱仪可以测量多层膜样品不同层的膜厚,在薄膜和镀层厚度表征领域具有潜在的应用。 展开更多

关键词 x射线光学 共聚焦测厚 毛细管x光透镜 x射线荧光

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掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用

17

作者 杨君 刘志国 +5 位作者 徐清 韩东艳 林晓燕 杜晓光 Kouichi Tsuji 丁训良 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期26-32,共7页

建立了应用导管X光透镜的掠出射微区X射线荧光分析系统,并将该系统应用于纳米薄膜的分析。为了提高入射X射线的强度并提高系统的空间分辨率,选用焦斑为41.7μm的会聚透镜对原级X射线进行会聚,并在探测器前加上50μm的狭缝以提高掠出射... 建立了应用导管X光透镜的掠出射微区X射线荧光分析系统,并将该系统应用于纳米薄膜的分析。为了提高入射X射线的强度并提高系统的空间分辨率,选用焦斑为41.7μm的会聚透镜对原级X射线进行会聚,并在探测器前加上50μm的狭缝以提高掠出射角扫描的角度分辨率。为了提高工作效率,编写了该系统的自动控制软件,实现了样品的自动扫描。利用该系统对采用金属蒸汽真空电弧(MEVVA)源离子束和薄膜沉积技术制备的纳米薄膜进行了掠入射X射线荧光和二维扫描分析。实验结果表明:该系统能有效地分析纳米厚度的薄膜,通过对薄膜进行掠出射角扫描分析和表面的二维扫描分析,得到了薄膜的厚度,密度及均匀性等信息。微区分析的空间分辨率可达到41.7μm,实际空间分辨率为扫描步长50μm。系统可用于分析薄膜样品,且荧光强度高,所需时间短,获得的信息全面丰富,数据可靠。 展开更多

关键词 毛细管x射线光学器件 掠出射x射线荧光 全反射 薄膜分析

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毛细管X光平行束透镜坪区特性的研究

18

作者 王逸凡 陈佳睿 刘志国 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期18-24,共7页

玻璃对X射线的折射率接近1,无法使用传统的光学透镜对其进行会聚或平行调控.将大量毛细管按照一定方式排列组合,在符合全反射原理的情况下,对点X光源发射的X射线进行调控;着重于研究整体毛细管X光平行束透镜,利用光线追迹法进行数值模拟... 玻璃对X射线的折射率接近1,无法使用传统的光学透镜对其进行会聚或平行调控.将大量毛细管按照一定方式排列组合,在符合全反射原理的情况下,对点X光源发射的X射线进行调控;着重于研究整体毛细管X光平行束透镜,利用光线追迹法进行数值模拟,设计仿真模拟程序,模拟出X射线在整体毛细管X光平行束透镜中的传播路径;通过改变毛细管的子管参数和排列方式,使毛细管X光平行束透镜的出射光束出现光束坪区,并设计出出光均匀性80%以上的毛细管X光平行束透镜;通过试验分别使用等径和变径毛细管X光平行束透镜对X点光源进行成像,验证了变径优化对出射光束均匀性的改善作用,其中变径X光平行束透镜的出射光束的发散角低至11.7 mrad. 展开更多

关键词 x射线光学 毛细管x光平行束透镜 光线追迹法 全反射 坪区

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软X射线多层膜技术 被引量：1

19

作者 曹健林 缪同群 马月英 《光学机械》 CSCD 1991年第1期34-38,共5页

本文总结了长春光机所近年来开展的X射线波段多层膜光学元件研制工作。列举了其主要进展和成果。并对今后一段时期的进一步发展作了简要讨论。

关键词 软x射线 多层膜 光学元件

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应用于石墨平晶单色化光源的多毛细管光学器件

20

作者 刘芯 叶磊 +4 位作者 周鹏 付思特 王兴艺 林晓燕 李玉德 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期486-490,共5页

用实验室X射线光管结合石墨平晶搭建了Cu靶Kα射线单色化光源,根据其光束特性研制出应用于光源的一种无前焦的多毛细管光学器件,测量了有无多毛细管光学器件条件下距石墨平晶中心245mm位置处X射线面积光强计数比.结果表明,本实验所研制... 用实验室X射线光管结合石墨平晶搭建了Cu靶Kα射线单色化光源,根据其光束特性研制出应用于光源的一种无前焦的多毛细管光学器件,测量了有无多毛细管光学器件条件下距石墨平晶中心245mm位置处X射线面积光强计数比.结果表明,本实验所研制的2支多毛细管光学器件均可使距石墨平晶中心245mm位置处的X射线光强增益10倍以上. 展开更多

关键词 x射线单晶衍射 多毛细管光学器件 石墨单晶

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