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Shack-Hartmann波前传感器在光学检验中的应用被引量：5: 1; 作者李宏壮王志臣 +3 位作者刘欣悦卫沛峰明名孟浩然《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期134-138,共5页; 介绍用于光学检测的Shack-Hartmann(S-H)波前传感器,以及相应的检测实验结果。在实验室内,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出传感器的测量精度优于λ/50RMS(λ=632.8nm)。在外场利用星光作为光源,对口径1m、焦距11m的望远镜进行了系... 展开更多; 关键词 Shack-Hartmann波前传感器面形检测波像差检测光学检验; 在线阅读下载PDF 职称材料

大口径望远镜波像差的外场检验方法被引量：3: 2; 作者李宏壮王志臣 +2 位作者王富国张振铎刘欣悦《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期39-42,共4页; 为在外场环境下对大口径望远镜进行系统波像差的检验,研制了一套具有高探测能力的Shack-Hartmann波前传感器.利用恒星作为光源,对口径1m、焦距11m的大口径望远镜进行了波像差检验实验,测量结果为系统波像差在0.39λ～0.46λRMS之间,且... 展开更多; 关键词大口径望远镜波像差检测 Shack-Hartmann传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

定量检验光学元件面形的数字刀口仪技术研究被引量：2: 3; 作者王小鹏朱日宏《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期69-72,共4页; 在传统刀口仪的基础上,提出一种数字化刀口仪,利用该刀口仪可实现球面光学元件表面面形的定量检验。介绍数字刀口仪的组成、工作原理及测试过程等,并利用该刀口仪对一个半径为1000mm,口径为160mm的球面光学元件的面形进行了实际测量,给... 展开更多; 关键词刀口检验面形误差数字刀口仪图像处理波像差; 在线阅读下载PDF 职称材料

离轴抛物镜检测中调整误差对波前畸变的影响被引量：6: 4; 作者李俊峰宋淑梅《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1763-1770,共8页; 对离轴非球面在光学加工和后期装调阶段的光学检测进行了研究,分析了检测过程中调整误差对波前畸变的影响。以加工半径为10 000 mm、二次曲面系数为-1、口径为500 mm、离轴量为425 mm的离轴抛物面为例,建立了各个调整参数对波前畸变影... 展开更多; 关键词离轴非球面光学检测波前畸变调整误差; 在线阅读下载PDF 职称材料

点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析被引量：4: 5; 作者代晓珂金春水于杰《中国光学》 EI CAS 2014年第5期855-862,共8页; 为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点,同时又能实现大数值孔径(NA)光学系统的检测,设计了一种新型的波面参考源(WRS),它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点,可满足大NA极紫外光刻物镜系统波像差检测的要求。... 展开更多; 关键词光学检测点衍射干涉仪波面参考源误差研究公差分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

二次非球面镜检测中基于波前等高线图的调整方法: 6; 作者晁格平杨朋利 +2 位作者杨子建付晓庆王艳维《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期652-655,共4页; 为了提高非球面光学元件的检测精度及效率,缩短调整环节的时间,分析了非球面干涉检测过程中被检非球面镜的调整误差对检测结果波前信息的影响,提出利用波前等高线图走势准确判断调整方向的调整方法。建立调整方向与被检镜失调量之间的关... 展开更多; 关键词光学检测波前等高线调整误差二次非球面; 在线阅读下载PDF 职称材料

用计算全息法测量长焦透镜的透射波前被引量：3: 7; 作者魏小红何宇航 +3 位作者高波徐凯源李强柴立群《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期3005-3011,共7页; 为了高精度地检测长焦透镜的透射波前,提出了在Zygo干涉仪的平面光路中加入一个二元衍射元件提供参考波前的计算全息法(CGH)。介绍了计算全息法检测长焦透镜透射波前的理论,设计并研制了高精度计算全息板,并将其用于大口径长焦距透镜透... 展开更多; 关键词长焦透镜透射波前光学检测干涉检测计算全息术误差分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Shack-Hartmann波前传感器在光学检验中的应用被引量：5: 1; 作者李宏壮王志臣刘欣悦卫沛峰明名孟浩然; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期134-138,共5页; 文摘介绍用于光学检测的Shack-Hartmann(S-H)波前传感器,以及相应的检测实验结果。在实验室内,通过与Zygo干涉仪的测量结果对比,得出传感器的测量精度优于λ/50RMS(λ=632.8nm)。在外场利用星光作为光源,对口径1m、焦距11m的望远镜进行了系统波像差检验,测量结果为0.39λ～0.46λRMS之间,并随着俯仰角的增加而增大,主要像差形式为三阶像散。; 关键词 Shack-Hartmann波前传感器面形检测波像差检测光学检验; Keywords Shack-Hartmann wavefront sensor, surface error test, wavefront error test, optical test; 分类号 TN206 [电子电信—物理电子学] TH751 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大口径望远镜波像差的外场检验方法被引量：3: 2; 作者李宏壮王志臣王富国张振铎刘欣悦; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期39-42,共4页; 文摘为在外场环境下对大口径望远镜进行系统波像差的检验,研制了一套具有高探测能力的Shack-Hartmann波前传感器.利用恒星作为光源,对口径1m、焦距11m的大口径望远镜进行了波像差检验实验,测量结果为系统波像差在0.39λ～0.46λRMS之间,且随着俯仰角的增加而增大,主要像差形式为3阶0°像散,与星点检验的结果一致.; 关键词大口径望远镜波像差检测 Shack-Hartmann传感器; Keywords Large aperture telescope wavefront error test Shack-Hartmann wavefront sensor; 分类号 TH751 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名定量检验光学元件面形的数字刀口仪技术研究被引量：2: 3; 作者王小鹏朱日宏; 机构西安应用光学研究所南京理工大学光电学院; 出处《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期69-72,共4页; 文摘在传统刀口仪的基础上,提出一种数字化刀口仪,利用该刀口仪可实现球面光学元件表面面形的定量检验。介绍数字刀口仪的组成、工作原理及测试过程等,并利用该刀口仪对一个半径为1000mm,口径为160mm的球面光学元件的面形进行了实际测量,给出了光学元件均方根值和峰谷值测量结果,最后对测量结果进行了讨论。; 关键词刀口检验面形误差数字刀口仪图像处理波像差; Keywords Foucault test wavefront error digital knife-edge testing system image processing wave aberration; 分类号 TN206 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离轴抛物镜检测中调整误差对波前畸变的影响被引量：6: 4; 作者李俊峰宋淑梅; 机构中国科学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1763-1770,共8页; 基金中国科学院三期知识创新工程资助项目; 文摘对离轴非球面在光学加工和后期装调阶段的光学检测进行了研究,分析了检测过程中调整误差对波前畸变的影响。以加工半径为10 000 mm、二次曲面系数为-1、口径为500 mm、离轴量为425 mm的离轴抛物面为例,建立了各个调整参数对波前畸变影响的物理模型及数学模型,调整误差主要包括俯仰与高低、偏摆与离轴量及绕其子光轴旋转3组参数。应用matlab软件对调整误差对波前畸变的影响进行了仿真分析,对相应的仿真结果进行了实验验证。结果显示,仿真与实验结果一致性很好,证明了理论模型的正确性。分析得到的相应结论适用于所有离轴非球面镜的调整误差分析。; 关键词离轴非球面光学检测波前畸变调整误差; Keywords off-axis aspherics optical testing wavefront aberration adjustment error; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析被引量：4: 5; 作者代晓珂金春水于杰; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室中国科学院大学; 出处《中国光学》 EI CAS 2014年第5期855-862,共8页; 基金应用光学国家重点实验室基金资助项目(No.09Q03FQM90); 文摘为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点,同时又能实现大数值孔径(NA)光学系统的检测,设计了一种新型的波面参考源(WRS),它保留了光纤点衍射和微孔点衍射的优点,可满足大NA极紫外光刻物镜系统波像差检测的要求。本文在分析各种误差的基础上,搭建了WRS原理光路并对WRS的系统误差标定算法进行详细的研究,得到WRS标定时旋转平台的角度公差为0.5°,跳径时偏离系数为0.5%。这一新型WRS误差分析及标定对于实现高精度的检测具有十分重要的意义,最终为实现WRS系统误差标定提供理论基础。; 关键词光学检测点衍射干涉仪波面参考源误差研究公差分析; Keywords optical test point diffraction interferometer wavefront reference source （ WRS） system error tol-erance; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名二次非球面镜检测中基于波前等高线图的调整方法: 6; 作者晁格平杨朋利杨子建付晓庆王艳维; 机构西安应用光学研究所; 出处《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期652-655,共4页; 文摘为了提高非球面光学元件的检测精度及效率,缩短调整环节的时间,分析了非球面干涉检测过程中被检非球面镜的调整误差对检测结果波前信息的影响,提出利用波前等高线图走势准确判断调整方向的调整方法。建立调整方向与被检镜失调量之间的关系,并利用光学设计软件Zemax仿真模拟检测光路,结合二次非球面镜的光学公差分析判断调整量的大小。基于该调整方法,利用Zygo激光干涉仪对口径为50mm的双曲面进行检测,最终检测结果是RMS为0.014λ,实验表明该方法简单、可行。; 关键词光学检测波前等高线调整误差二次非球面; Keywords optical testing wavefront contour adjustment error conic aspheric surface; 分类号 O439 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用计算全息法测量长焦透镜的透射波前被引量：3: 7; 作者魏小红何宇航高波徐凯源李强柴立群; 机构中国物理工程研究院激光聚变研究中心; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期3005-3011,共7页; 基金中物院校准和测试实验室研究项目(No.155009); 文摘为了高精度地检测长焦透镜的透射波前,提出了在Zygo干涉仪的平面光路中加入一个二元衍射元件提供参考波前的计算全息法(CGH)。介绍了计算全息法检测长焦透镜透射波前的理论,设计并研制了高精度计算全息板,并将其用于大口径长焦距透镜透射波前检测。理论分析和实际检测结果表明:该方法系统误差小,测量重复性精度优于0.004λ(2σRMS),与常规的菲索干涉法测量球面透镜透射波前得到的结果一致,从而验证了提出测量方法的可靠性。最后,详细分析了二元衍射元件的制造误差对透射波前检测的影响,得到测量误差(PV)小于λ/10。文中的结果表明提出的计算全息法可有效缩短光路,提高测量精度,对长焦透镜波前检测有重要的应用价值。; 关键词长焦透镜透射波前光学检测干涉检测计算全息术误差分析; Keywords long-focal length lens transmissive wavefront optical test interferometry Computer- generated Holography（CGH） error analysis; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] O438.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	Shack-Hartmann波前传感器在光学检验中的应用	李宏壮王志臣刘欣悦卫沛峰明名孟浩然	《应用光学》 CAS CSCD 北大核心	2012	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	大口径望远镜波像差的外场检验方法	李宏壮王志臣王富国张振铎刘欣悦	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	定量检验光学元件面形的数字刀口仪技术研究	王小鹏朱日宏	《应用光学》 CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	离轴抛物镜检测中调整误差对波前畸变的影响	李俊峰宋淑梅	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析	代晓珂金春水于杰	《中国光学》 EI CAS	2014	4	在线阅读下载PDF 职称材料
6	二次非球面镜检测中基于波前等高线图的调整方法	晁格平杨朋利杨子建付晓庆王艳维	《应用光学》 CAS CSCD 北大核心	2014	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	用计算全息法测量长焦透镜的透射波前	魏小红何宇航高波徐凯源李强柴立群	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	3	在线阅读下载PDF 职称材料