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沉积气压对W-S-C复合薄膜结构和摩擦学性能的影响
被引量：
5
1
作者
韦春贝
代明江
+2 位作者
侯惠君
林松盛
赵利
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期69-73,共5页
采用磁控溅射方法制备W-S-C复合薄膜,研究沉积气压对薄膜结构和摩擦学性能的影响。结果表明,复合膜以非晶或纳米晶结构生长,沉积气压低时薄膜中C含量高,薄膜结构致密;沉积气压高时薄膜中WSx含量高,薄膜致密性下降。复合膜硬度在HV420～...
采用磁控溅射方法制备W-S-C复合薄膜,研究沉积气压对薄膜结构和摩擦学性能的影响。结果表明,复合膜以非晶或纳米晶结构生长,沉积气压低时薄膜中C含量高,薄膜结构致密;沉积气压高时薄膜中WSx含量高,薄膜致密性下降。复合膜硬度在HV420～500之间,并且随着沉积气压的增加,硬度逐渐下降。在潮湿大气中的摩擦磨损实验表明,实验载荷越大摩擦因数越小;随着沉积气压的增加,复合膜的摩擦因数先降低后增加;当沉积气压在0.45～0.55 Pa时,复合膜的摩擦因数最低约为0.1,耐磨性能最好。
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关键词
w—s—c复合膜
沉积气压
结构
硬度
摩擦学性能
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职称材料
题名
沉积气压对W-S-C复合薄膜结构和摩擦学性能的影响
被引量：
5
1
作者
韦春贝
代明江
侯惠君
林松盛
赵利
机构
广州有色金属研究院新材料研究所
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期69-73,共5页
文摘
采用磁控溅射方法制备W-S-C复合薄膜,研究沉积气压对薄膜结构和摩擦学性能的影响。结果表明,复合膜以非晶或纳米晶结构生长,沉积气压低时薄膜中C含量高,薄膜结构致密;沉积气压高时薄膜中WSx含量高,薄膜致密性下降。复合膜硬度在HV420～500之间,并且随着沉积气压的增加,硬度逐渐下降。在潮湿大气中的摩擦磨损实验表明,实验载荷越大摩擦因数越小;随着沉积气压的增加,复合膜的摩擦因数先降低后增加;当沉积气压在0.45～0.55 Pa时,复合膜的摩擦因数最低约为0.1,耐磨性能最好。
关键词
w—s—c复合膜
沉积气压
结构
硬度
摩擦学性能
Keywords
w
-
s
-
c
c
ompo
s
ite film
s
depo
s
ition pre
s
s
ure
s
tru
c
ture
mi
c
rohardne
s
s
tribologi
c
al propertie
s
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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出处
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1
沉积气压对W-S-C复合薄膜结构和摩擦学性能的影响
韦春贝
代明江
侯惠君
林松盛
赵利
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2012
5
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