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腔体型超表面非制冷红外探测器
1
作者
杨君
杨春丽
+4 位作者
方辉
袁俊
鄢善入
李华英
黎秉哲
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期621-627,共7页
随着非制冷红外探测器像元尺寸的逐步缩小,提高探测器吸收率变得越来越重要。该文章基于现有的制备工艺,提出了一种IMIAM(Insulator-Metal-Insulator-Air-Metal)腔体型超表面非制冷红外探测器结构,在增强探测器吸收的同时有效改善了光...
随着非制冷红外探测器像元尺寸的逐步缩小,提高探测器吸收率变得越来越重要。该文章基于现有的制备工艺,提出了一种IMIAM(Insulator-Metal-Insulator-Air-Metal)腔体型超表面非制冷红外探测器结构,在增强探测器吸收的同时有效改善了光敏层受热的均匀性。通过系统的仿真优化,其在长波红外波段(8~14μm)的平均吸收率超过了97%,使器件几乎实现了百分百的完美吸收,同时在中红外波段也表现出了优异的吸收特性。该文章还通过工艺验证了该结构的可靠性,对于改进现有非制冷红外探测器工艺具有一定的启示意义。
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关键词
非制冷红外探
测
器
vox微测辐射热计
超表面
光吸收增强
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职称材料
题名
腔体型超表面非制冷红外探测器
1
作者
杨君
杨春丽
方辉
袁俊
鄢善入
李华英
黎秉哲
机构
昆明物理研究所
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期621-627,共7页
文摘
随着非制冷红外探测器像元尺寸的逐步缩小,提高探测器吸收率变得越来越重要。该文章基于现有的制备工艺,提出了一种IMIAM(Insulator-Metal-Insulator-Air-Metal)腔体型超表面非制冷红外探测器结构,在增强探测器吸收的同时有效改善了光敏层受热的均匀性。通过系统的仿真优化,其在长波红外波段(8~14μm)的平均吸收率超过了97%,使器件几乎实现了百分百的完美吸收,同时在中红外波段也表现出了优异的吸收特性。该文章还通过工艺验证了该结构的可靠性,对于改进现有非制冷红外探测器工艺具有一定的启示意义。
关键词
非制冷红外探
测
器
vox微测辐射热计
超表面
光吸收增强
Keywords
uncooled IR detector
VO_(x)microbolometer
Metasurface
Optical absorption enhancement
分类号
O623 [理学—有机化学]
TN214 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
腔体型超表面非制冷红外探测器
杨君
杨春丽
方辉
袁俊
鄢善入
李华英
黎秉哲
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
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