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VN/(Ti,Al)N纳米多层膜的共格生长与超硬效应
被引量：
2
1
作者
孔明
董云杉
+2 位作者
戴嘉维
张慧娟
李戈扬
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第10期1758-1762,共5页
采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,V...
采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,VN/(Ti,Al)N纳米多层膜沿薄膜生长方向呈现出具有面心立方(111)晶面择优取向的共格外延生长结构.由于存在晶格错配,在共格界面作用下,VN和(Ti,Al)N调制层分别受到拉、压应力,在多层膜中产生以调制周期为周期的交变应力场.这种应力场大大阻碍了薄膜中位错穿过界面的运动,从而导致薄膜产生硬度和弹性模量异常升高的超硬效应,并在调制周期为5.6 nm时,达到硬度和弹性模量的最高值38.4GPa和421 GPa.进一步增加调制周期,两调制层之间产生非共格界面,破坏了薄膜中的交变应力场,薄膜的硬度和弹性模量也随之降低.
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关键词
vn
/(
ti
al
)
n
纳米多层膜
晶体生长
共格界面
力学性能
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职称材料
题名
VN/(Ti,Al)N纳米多层膜的共格生长与超硬效应
被引量：
2
1
作者
孔明
董云杉
戴嘉维
张慧娟
李戈扬
机构
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
上海交通大学高温材料与高温测试教育部重点实验室
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第10期1758-1762,共5页
基金
国家自然基金资助项目(50571062)
文摘
采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,VN/(Ti,Al)N纳米多层膜沿薄膜生长方向呈现出具有面心立方(111)晶面择优取向的共格外延生长结构.由于存在晶格错配,在共格界面作用下,VN和(Ti,Al)N调制层分别受到拉、压应力,在多层膜中产生以调制周期为周期的交变应力场.这种应力场大大阻碍了薄膜中位错穿过界面的运动,从而导致薄膜产生硬度和弹性模量异常升高的超硬效应,并在调制周期为5.6 nm时,达到硬度和弹性模量的最高值38.4GPa和421 GPa.进一步增加调制周期,两调制层之间产生非共格界面,破坏了薄膜中的交变应力场,薄膜的硬度和弹性模量也随之降低.
关键词
vn
/(
ti
al
)
n
纳米多层膜
晶体生长
共格界面
力学性能
Keywords
vn
/(
ti
,
al
)
n
nano-multilayers
cryst
al
growth
cohere
n
t i
n
terface
mecha
n
ic
al
proper
ti
es
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
VN/(Ti,Al)N纳米多层膜的共格生长与超硬效应
孔明
董云杉
戴嘉维
张慧娟
李戈扬
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
2
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