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高功率底发射VCSELs的制作与特性研究
被引量：
15
1
作者
孙艳芳
金珍花
+9 位作者
宁永强
秦莉
晏长岭
路国光
套格套
刘云
王立军
崔大复
李惠青
许祖彦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第5期449-453,共5页
研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器,并分析了器件特性。通过增加有源区面积,改进制作工艺,采用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率。分析了最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系...
研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器,并分析了器件特性。通过增加有源区面积,改进制作工艺,采用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率。分析了最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系。结果表明:有源区直径分别为500μm和600μm的单管,室温下均达到连续输出功率1.95W,这也是目前国际上所实现的单管室温连续输出最高功率;实验所得最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系与理论计算所得结果一致。并特别讨论了直径200μm的器件的近场和远场光强分布,获得单横模工作。
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关键词
vcsels底发射
980nm
输出功率
近场
远场
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职称材料
底发射VCSEL片上点阵结构光投影装置设计
2
作者
阮仁杰
曹银花
+3 位作者
王晓帆
马艳红
王智勇
兰天
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第6期261-269,共9页
为解决现有点阵结构光投影装置中准直透镜会导致较强的零级衍射而造成投影点阵光强分布不均匀的问题,提出了一种基于底发射垂直腔面发射激光器的片上点阵光投影装置结构,并给出了衍射光学元件设计思路。首先对目标光场进行光强调整和坐...
为解决现有点阵结构光投影装置中准直透镜会导致较强的零级衍射而造成投影点阵光强分布不均匀的问题,提出了一种基于底发射垂直腔面发射激光器的片上点阵光投影装置结构,并给出了衍射光学元件设计思路。首先对目标光场进行光强调整和坐标变换,在无准直透镜情况下利用基于瑞利-索末菲衍射积分的Gerchberg-Saxton改进算法获得片上衍射光学元件的相位分布,并最终对该点阵投影装置的投影效果进行评估。结果表明:在衍射光学元件设计过程中采用高斯光束作为光源时,该结构能更好地抑制零级衍射,获得光强分布更加均匀的投影点阵。此外,该结构不仅可省去透镜的安装,减小投影装置尺寸,还可通过流片工艺实现光源和衍射光学元件一体化集成。
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关键词
衍射光学
片上结构光
瑞利-索末菲衍射积分
衍射光学元件
Gerchberg-Saxton算法
底
发射
vcsel
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职称材料
题名
高功率底发射VCSELs的制作与特性研究
被引量：
15
1
作者
孙艳芳
金珍花
宁永强
秦莉
晏长岭
路国光
套格套
刘云
王立军
崔大复
李惠青
许祖彦
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室
中国科学院物理所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第5期449-453,共5页
基金
国家自然科学基金(No.10104016)
吉林省基金(No.200220604)
文摘
研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器,并分析了器件特性。通过增加有源区面积,改进制作工艺,采用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率。分析了最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系。结果表明:有源区直径分别为500μm和600μm的单管,室温下均达到连续输出功率1.95W,这也是目前国际上所实现的单管室温连续输出最高功率;实验所得最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系与理论计算所得结果一致。并特别讨论了直径200μm的器件的近场和远场光强分布,获得单横模工作。
关键词
vcsels底发射
980nm
输出功率
近场
远场
Keywords
vcsels
bottom-emitting
980 nm
output power
nearfield and farfield
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
底发射VCSEL片上点阵结构光投影装置设计
2
作者
阮仁杰
曹银花
王晓帆
马艳红
王智勇
兰天
机构
北京工业大学北京市激光应用技术工程技术研究中心
北京工业大学跨尺度激光成型制造技术教育部重点实验室
北京工业大学材料与制造学部先进半导体光电技术研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第6期261-269,共9页
基金
北京市博士后工作经费(2020-Z2-043)。
文摘
为解决现有点阵结构光投影装置中准直透镜会导致较强的零级衍射而造成投影点阵光强分布不均匀的问题,提出了一种基于底发射垂直腔面发射激光器的片上点阵光投影装置结构,并给出了衍射光学元件设计思路。首先对目标光场进行光强调整和坐标变换,在无准直透镜情况下利用基于瑞利-索末菲衍射积分的Gerchberg-Saxton改进算法获得片上衍射光学元件的相位分布,并最终对该点阵投影装置的投影效果进行评估。结果表明:在衍射光学元件设计过程中采用高斯光束作为光源时,该结构能更好地抑制零级衍射,获得光强分布更加均匀的投影点阵。此外,该结构不仅可省去透镜的安装,减小投影装置尺寸,还可通过流片工艺实现光源和衍射光学元件一体化集成。
关键词
衍射光学
片上结构光
瑞利-索末菲衍射积分
衍射光学元件
Gerchberg-Saxton算法
底
发射
vcsel
Keywords
diffractive optics
on-chip structured light
Rayleigh-Sommerfeld diffraction integral
diffractive optical element
Gerchberg-Saxton algorithm
bottom-emitting
vcsel
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高功率底发射VCSELs的制作与特性研究
孙艳芳
金珍花
宁永强
秦莉
晏长岭
路国光
套格套
刘云
王立军
崔大复
李惠青
许祖彦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2004
15
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
底发射VCSEL片上点阵结构光投影装置设计
阮仁杰
曹银花
王晓帆
马艳红
王智勇
兰天
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022
0
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