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Tripod精密平台动力学分析及控制
1
作者 赵罡 张佳 肖文磊 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2019年第2期67-71,共5页
以直线超声电机驱动的五自由度Tripod精密平台为研究对象,对其动力学建模方法进行研究,并对控制系统进行开发。将串联机构与3-RPS并联机构分开考虑,在运动学分析的基础上,通过牛顿欧拉法对机构进行动力学建模,并利用ADAMS验证动力学建... 以直线超声电机驱动的五自由度Tripod精密平台为研究对象,对其动力学建模方法进行研究,并对控制系统进行开发。将串联机构与3-RPS并联机构分开考虑,在运动学分析的基础上,通过牛顿欧拉法对机构进行动力学建模,并利用ADAMS验证动力学建模正确性;采用支持PLC语言及C++混合编程的TwinCAT3软件开发Tripod精密平台控制系统。仿真结果表明,理想动力学模型理论分析结果与仿真结果基本一致,位置驱动模式下驱动力输出存在波动,证明了在位置环控制模式下,加入动力学前馈补偿控制的必要性,为精密运动控制奠定基础。 展开更多
关键词 tripod精密平台 动力学模型 牛顿欧拉法 仿真分析
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基于压电陶瓷驱动的二维精密定位平台设计及分析
2
作者 杜健 祝锡晶 李婧 《工程设计学报》 北大核心 2025年第2期199-207,共9页
为解决柔性精密定位平台位移放大倍数小、输出刚度低以及运动耦合位移过高的问题,提出了一种基于压电陶瓷驱动的二维精密定位平台。首先,利用模块法、弹性梁理论及柔度矩阵法对精密定位平台进行了静力学建模,并利用拉格朗日方程对其进... 为解决柔性精密定位平台位移放大倍数小、输出刚度低以及运动耦合位移过高的问题,提出了一种基于压电陶瓷驱动的二维精密定位平台。首先,利用模块法、弹性梁理论及柔度矩阵法对精密定位平台进行了静力学建模,并利用拉格朗日方程对其进行了动力学建模。然后,采用ANSYS Workbench软件对精密定位平台的位移放大倍数、输出刚度、耦合位移和固有频率进行了有限元仿真。最后,通过搭建精密定位平台实验装置来测试其性能参数,并与有限元仿真结果和理论计算结果进行了对比分析。仿真与实验结果验证了精密定位平台静力学模型及动力学模型的准确性,表明所设计的精密定位平台具有位移放大倍数大、输出刚度高及解耦性能强的优点。研究结果为柔性精密定位平台实现大行程位移输出和良好的解耦能力提供了一定的理论指导。 展开更多
关键词 精密定位平台 有限元仿真 固有频率 输出刚度
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滚珠丝杠副精密运动平台全行程定位精度预测及补偿
3
作者 唐勉志 唐皓 《机械科学与技术》 北大核心 2025年第7期1188-1199,共12页
定位精度是衡量精密运动平台运动准确度的关键指标。该文通过分析高精度精密运动平台滚珠丝杠副的误差源,揭示定位精度传递规律,提出了一种以滚珠丝杠副为主要研究对象,覆盖宏(10 mm)、小(1 mm)、微(0.1 mm)行程尺度下的精密运动平台全... 定位精度是衡量精密运动平台运动准确度的关键指标。该文通过分析高精度精密运动平台滚珠丝杠副的误差源,揭示定位精度传递规律,提出了一种以滚珠丝杠副为主要研究对象,覆盖宏(10 mm)、小(1 mm)、微(0.1 mm)行程尺度下的精密运动平台全行程定位误差预测及补偿方法。首先,分析精密运动平台滚珠丝杠副的机械结构特点,提炼误差源信息。其次,分别分析滚珠丝杠副安装误差、装配误差和导程误差的形成特点,解耦各误差项信息,建立以滚珠丝杠副为对象的精密运动平台综合定位误差模型。最后,基于滚珠丝杠副-定位误差模型,分析宏、小、微行程下精密运动平台定位误差成因机理,揭示不同行程下滚珠丝杠副误差参数与精密运动平台定位误差的映射规律,形成全行程定位精度预测与补偿方法。实验结果表明,根据该误差模型,分别对20、2、0.2 mm行程下精密运动平台定位误差进行补偿,结果分别从13.7、7.9、4.6μm下降到2.0、1.5、1.0μm以下,精度有明显的提升。 展开更多
关键词 精密运动平台 全行程定位精度 滚珠丝杠副 误差预测 误差补偿
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精密平台磁敏智能隔振系统自适应PI控制研究 被引量:2
4
作者 钟灿 黄振 +4 位作者 李旺 浮洁 韩锦聿 余淼 綦松 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2024年第8期232-237,302,共7页
为抑制精密平台存在的时变振动,提出一种基于磁流变弹性体(magneto rheological elastomer,MRE)半主动自适应比例积分(proportional integral,PI)控制方法。首先针对MRE隔振系统,建立其动力学模型,并根据MRE变刚度隔振原理,推导半主动... 为抑制精密平台存在的时变振动,提出一种基于磁流变弹性体(magneto rheological elastomer,MRE)半主动自适应比例积分(proportional integral,PI)控制方法。首先针对MRE隔振系统,建立其动力学模型,并根据MRE变刚度隔振原理,推导半主动控制条件;其次以响应加速度和目标加速度偏差作为PI控制器输入,通过遗传算法获得不同频率、幅值激励下的最优PI控制参数,并基于被动参考模型获得频率幅值依赖自适应律。该方法无须通过复杂的傅里叶变换辨识频率,实时性高;最后通过仿真和试验验证了所设计控制器的有效性;结果表明,与传统PI控制器相比,自适应PI控制器对40~50 Hz、1.0~3.0 m/s^(2)时变振动具有更大的抑制。 展开更多
关键词 磁流变弹性体隔振器 精密加工平台 自适应PI控制 时变激励
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基于Zigzag柔性簧片的大行程XY精密运动平台 被引量:1
5
作者 赵林峰 凌明祥 +2 位作者 薛立伟 申浩 陈立国 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期2070-2080,共11页
通过采用Zigzag柔性簧片作为导向机构,提出了一种具有大行程、高精度、高频响、低应力的并联式XY二自由度精密定位平台,满足精密运动的需求。提出了以Zigzag柔性簧片单元为核心导向梁的柔顺精密运动平台结构,并采用音圈电机进行驱动,实... 通过采用Zigzag柔性簧片作为导向机构,提出了一种具有大行程、高精度、高频响、低应力的并联式XY二自由度精密定位平台,满足精密运动的需求。提出了以Zigzag柔性簧片单元为核心导向梁的柔顺精密运动平台结构,并采用音圈电机进行驱动,实现3 mm×3 mm的运动范围和60 Hz以上的固有频率。对Zigzag柔性簧片和传统直梁柔性簧片进行有限元仿真分析对比,验证Zigzag柔性簧片运动性能的优越性。接着,对XY两自由度运动进行解耦设计,减小运动带来的寄生(耦合)误差。运用有限元分析对平台进行优化,针对高频运动引发的疲劳损伤问题,改进定位平台的构型,降低最大应力,延长平台工作寿命。分析结果表明:该平台满足运动和解耦性能的设计要求,其寄生误差为0.012%,能够实现大行程以及较高频率的运动,并且响应快速,动态特性良好。实验结果表明,定位平台的固有频率达到60 Hz,开环分辨率达1.3μm,可实现XY方向±1.5 mm行程的运动。 展开更多
关键词 精密定位平台 音圈电机 柔顺机构 低应力
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基于柔性机构的二维共面精密运动平台设计与实验
6
作者 李登耀 王洪喜 +2 位作者 薛媛 赵柏涵 王思蛟 《工具技术》 北大核心 2024年第11期63-69,共7页
基于复合簧片型柔性导向机构设计了一种大行程二维共面精密运动平台,运用材料力学弯矩变形理论分析了平台的刚度和最大行程。在满足材料最大应力约束的条件下,对导向机构进行结构参数设计,加工精密运动平台实验样机,搭建了平面度测量平... 基于复合簧片型柔性导向机构设计了一种大行程二维共面精密运动平台,运用材料力学弯矩变形理论分析了平台的刚度和最大行程。在满足材料最大应力约束的条件下,对导向机构进行结构参数设计,加工精密运动平台实验样机,搭建了平面度测量平台。对16mm×16mm行程内运动平面的平面度测量实验分析结果表明,x轴直线度误差为0.08μm,y轴直线度误差为0.11μm,平面度为(0.26±0.12)μm。 展开更多
关键词 精密运动平台 柔性机构 精密测量 平面度
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基于Stewart隔振平台的振动主动控制方法研究进展
7
作者 杨仙娥 刘学广 《振动与冲击》 北大核心 2025年第10期323-338,共16页
飞机、船舶中精密光学仪器对振动环境要求日趋严格,基于Stewart平台的主动控制方法受到广泛关注。该研究首先调研了国内外Stewart主动隔振平台应用研究的发展历程,总结了有效载荷(kg)、主动带宽(Hz)、最大振幅衰减(dB)等主要性能指标;其... 飞机、船舶中精密光学仪器对振动环境要求日趋严格,基于Stewart平台的主动控制方法受到广泛关注。该研究首先调研了国内外Stewart主动隔振平台应用研究的发展历程,总结了有效载荷(kg)、主动带宽(Hz)、最大振幅衰减(dB)等主要性能指标;其次,从Stewart主动隔振平台的关键技术,包括Stewart平台构型、各向同性优化与动态稳定性、耦合因素及解耦方法、动力学建模方法、智能材料驱动器的非线性及迟滞现象、主动控制算法进行了详细的概述,讨论了关键技术对主要性能指标的改进效果,指出了尚待解决的问题;并概述在复杂、时变振动环境中,多通道耦合自适应算法对Stewart隔振平台振动控制的优势。最后对Stewart主动隔振平台在精密光学仪器中的进一步发展进行了展望。 展开更多
关键词 STEWART平台 精密光学仪器 主动隔振 多自由度 多通道耦合自适应算法
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超高加速度宏微运动平台连接臂瞬态分析及优化设计
8
作者 张璐凡 孙贺贺 +4 位作者 闫恒 张鹏启 李兴冲 李奥楠 席政扬 《机床与液压》 北大核心 2025年第6期16-20,共5页
对超高加速度宏微运动平台柔性定位平台的连接臂进行优化设计,以提高定位过程中的稳定性和寿命。在SolidWorks中构建三维模型,将模型进行参数化后导入Workbench中,通过静力分析得到最大总变形云图和等效应力云图,通过nCode模块得到疲劳... 对超高加速度宏微运动平台柔性定位平台的连接臂进行优化设计,以提高定位过程中的稳定性和寿命。在SolidWorks中构建三维模型,将模型进行参数化后导入Workbench中,通过静力分析得到最大总变形云图和等效应力云图,通过nCode模块得到疲劳寿命云图,从而得到连接臂的危险部位;对危险部位进行优化设计,通过响应面优化法选择优化参数和优化目标;最后,从优化方案中选取最佳方案进行验证。结果表明:最大总变形降低1.1%,优化后的连接臂等效应力降低16.3%,疲劳寿命提高30.4%。通过响应面优化方法很大程度上提高了超精密定位平台的稳定性和安全性。 展开更多
关键词 超高加速度宏微运动平台 瞬态动力学 精密定位 响应面优化 疲劳寿命
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新型磁悬浮精密定位平台的研究 被引量:10
9
作者 郝晓红 梅雪松 +2 位作者 张东升 陶涛 姜歌东 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期937-940,共4页
针对磁悬浮精密定位平台的运动稳定性问题,设计了一种新型六自由度磁悬浮精密定位平台.该平台采用12个空心电磁线圈做定子、36块永磁体做动子,悬浮部分与驱动部分相互独立,从而很好地解决了由电磁线圈铁心引起的非线性以及悬浮与驱动单... 针对磁悬浮精密定位平台的运动稳定性问题,设计了一种新型六自由度磁悬浮精密定位平台.该平台采用12个空心电磁线圈做定子、36块永磁体做动子,悬浮部分与驱动部分相互独立,从而很好地解决了由电磁线圈铁心引起的非线性以及悬浮与驱动单元之间的相互耦合问题.采用罗仑兹定律,分析了永磁体长度、线圈电流和悬浮位移对悬浮稳定性的影响,确定了平台的悬浮平衡位置,建立了平台在平衡位置附近的悬浮数学模型,并进行了动态响应仿真研究.研究结果表明,该磁悬浮精密定位平台在悬浮电流为2 A、悬浮高度为0.5 mm时可以稳定悬浮,因此可应用于需要超精密定位和超洁净环境的半导体光刻装置中. 展开更多
关键词 磁悬浮 精密定位平台 稳定性
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3自由度精密定位平台的运动特性和优化设计 被引量:55
10
作者 胡俊峰 张宪民 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期2686-2695,共10页
为了实现3-RRR柔顺并联精密定位平台的精确运动,研究了它的封闭形式精确运动模型和尺寸优化设计。采用卡氏第二定理建立精密定位平台的封闭式柔度模型。根据柔顺并联机构的结构特点,将其划分为3个对称分布的运动支链,并结合铰链的柔度... 为了实现3-RRR柔顺并联精密定位平台的精确运动,研究了它的封闭形式精确运动模型和尺寸优化设计。采用卡氏第二定理建立精密定位平台的封闭式柔度模型。根据柔顺并联机构的结构特点,将其划分为3个对称分布的运动支链,并结合铰链的柔度模型和机构力传递关系分别推导出各个支链的刚度模型,整个系统的刚度为所有支链在同一坐标系下的刚度的叠加。建立的刚度模型是以柔性铰链的柔度为变量的封闭形式模型。根据柔度矩阵可得到反映输入位移和输出位移之间关系的雅可比矩阵。理论模型与有限元分析的比较结果显示,两者所得的运动模型误差为1.0%~9.5%,证明了所推导运动模型的正确性和精确性。根据雅可比矩阵的封闭公式,分析其对结构参数的灵敏度,并由此选出对平台运动特性影响较大的优化设计变量。提出以最大化平台工作空间为目标,以铰链强度、最大输入力、几何尺寸和输入耦合为约束的优化模型。结果表明,优化后的结构参数能获得更大的输出位移,说明该方案能满足优化设计要求。 展开更多
关键词 柔顺并联机构 柔性铰链 精密定位平台 运动特性 优化设计
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平台式、协会式相结合 构建精密仪器管理网络 被引量:12
11
作者 高惠玲 何予 李晓林 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2011年第2期180-182,共3页
近年来,各高校经费来源日趋多元化,大型精密仪器不再局限全校所属,分散在学院或课题组的情况相当普遍,针对如何对这些仪器进行分类管理,保证仪器的共享和开放,形成全校一盘棋的整体格局。介绍了该校将平台式管理与协会制管理方式相结合... 近年来,各高校经费来源日趋多元化,大型精密仪器不再局限全校所属,分散在学院或课题组的情况相当普遍,针对如何对这些仪器进行分类管理,保证仪器的共享和开放,形成全校一盘棋的整体格局。介绍了该校将平台式管理与协会制管理方式相结合、构建了纵横交叉的管理网络、对进一步加强高校大型精密仪器管理进行有益探索的经验。 展开更多
关键词 精密仪器 平台管理 协会管理 共享开放 资源利用
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菱形压电电机在并联精密定位平台中的应用 被引量:4
12
作者 卢倩 陈西府 +3 位作者 黄卫清 郑雷 许宁 曾勇 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2020年第4期680-688,821,822,共11页
为了解决传统压电陶瓷驱动器固有的高精度与大行程的矛盾,提出了利用非共振式压电电机的两种不同运动模式来实现精密定位平台的定位高精度与工作大行程的方案。设计了一种新型菱形压电电机,分析其工作原理,给出了定子结构及夹持预紧结... 为了解决传统压电陶瓷驱动器固有的高精度与大行程的矛盾,提出了利用非共振式压电电机的两种不同运动模式来实现精密定位平台的定位高精度与工作大行程的方案。设计了一种新型菱形压电电机,分析其工作原理,给出了定子结构及夹持预紧结构的设计方案。菱形压电电机的实验结果表明,其步进作动模式下定位分辨率为1.0μm,连续运动模式下最大空载速度为0.932mm/s。在此基础上,利用3台菱形压电电机同步驱动并联精密定位平台,实验结果表明,并联平台平动定位分辨率为1.0μm,转动定位分辨率分别为8.6,11和10μrad。实验重复进行10次,动平台定位分辨率的波动率均低于5%,表明了该并联平台具有良好的同步性与重复性。另一方面,利用菱形压电电机的连续运动模式可实现大行程空间定位,其平动工作行程为3.54mm,转动工作行程分别为3.92°,4.16°和4.05°。借助于菱形压电电机的不同工作模式实现了并联平台的精密定位和大行程工作空间两个关键指标,为进一步研究精密定位平台的动态性能、控制规律提供了理论价值和实践基础。 展开更多
关键词 压电电机 菱形机构 并联平台 精密定位
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非共振型压电电机驱动的大行程精密定位旋转平台的建模和实验 被引量:8
13
作者 黄卫清 陶杰 +2 位作者 孙梦馨 王寅 卢倩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期2712-2720,共9页
针对目前光波导封装使用的精密定位平台行程小,结构与控制系统复杂的问题,提出了非共振型压电电机驱动的大行程精密旋转定位平台。该平台通过压电电机的连续作动和步进作动两种工作模式来满足大行程和高精度要求。首先对该精密旋转定位... 针对目前光波导封装使用的精密定位平台行程小,结构与控制系统复杂的问题,提出了非共振型压电电机驱动的大行程精密旋转定位平台。该平台通过压电电机的连续作动和步进作动两种工作模式来满足大行程和高精度要求。首先对该精密旋转定位平台进行动力学建模,确定了系统运动方程。然后,分析其作动机理,研究影响旋转平台转速的不同因素。最后,实验研究该精密旋转定位平台的速度、步距、分辨率与负载特性,确定平台连续作动与步进作动的驱动方式。实验结果表明,在直流偏置为60V,峰峰电压为120V,频率为180 Hz的正弦波电压激励下,该精密旋转定位平台最大转速可达47 963.2μrad/s,分辨率和最大负载分别为3μrad和60g。与现有的大行程精密定位旋转平台相比,设计的平台具有行程大,精度高,结构简单,稳定可控,且装配调试方便,易于批量化生产等优势。 展开更多
关键词 大行程旋转平台 非共振压电电机 精密定位 光波导封装
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全面推进贵重精密仪器开放共享平台建设的探索实践 被引量:5
14
作者 李晓林 高惠玲 +1 位作者 王海滨 亚琪 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2015年第5期1-4,共4页
对北京化工大学贵重精密仪器设备开放共享平台的目的和模式进行了分析,并介绍了该校开放共享平台的组织建设、制度建设、实验技术人员队伍建设、效益考核与培训、交流等的举措。
关键词 贵重精密仪器 开放共享 平台建设
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精密磁悬浮工作平台的力特性分析 被引量:20
15
作者 郭亮 陈本永 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第21期118-122,共5页
构建了一种新型磁悬浮工作平台结构,该平台结构利用永磁直线电机提供水平洛仑兹力,利用电磁铁提供垂直电磁吸力,悬浮和驱动部分相互独立,避免了两者间的耦合问题,具有出力大、运动范围广、定位精密的特点。为了研究磁场饱和、纵向边端... 构建了一种新型磁悬浮工作平台结构,该平台结构利用永磁直线电机提供水平洛仑兹力,利用电磁铁提供垂直电磁吸力,悬浮和驱动部分相互独立,避免了两者间的耦合问题,具有出力大、运动范围广、定位精密的特点。为了研究磁场饱和、纵向边端效应和倾斜角度等因素对磁场的影响,基于有限元数值方法建立了该平台的数学模型,并在模型的基础上对该平台的力特性进行了详细分析,获得了推力和悬浮力与气隙高度、电流和倾斜角度间的变化对应关系。分析结果表明该平台的电磁力具有较好的线性度,降低了控制的复杂度。 展开更多
关键词 磁悬浮 精密工作平台 有限元法 推力 悬浮力
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用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台 被引量:5
16
作者 夏绍建 张耀明 邹丽新 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第6期578-581,共4页
介绍了用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台结构原理,其特点是:结构紧凑,承载量大,精度高;采用步进电机驱动实现三维精密运动,并通过数字电路与软件实现其智能化,同时备有手动工作模式。
关键词 同步辐射 光束 三维精密平台
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微制造平台的精密隔振系统研究 被引量:25
17
作者 梅德庆 陈子辰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期506-510,共5页
提出了微制造平台的精密隔振系统的设计思路和系统结构 ,通过对具有良好隔振性能的啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的研究 ,利用仿生学原理建立了微制造平台的精密隔振系统的整体结构模型 ,采用主动隔振和被动隔振相结合技术。为了消... 提出了微制造平台的精密隔振系统的设计思路和系统结构 ,通过对具有良好隔振性能的啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的研究 ,利用仿生学原理建立了微制造平台的精密隔振系统的整体结构模型 ,采用主动隔振和被动隔振相结合技术。为了消除线圈发热引起的热变形因素的影响 ,专门设计了超磁致伸缩致动器的恒温冷却系统。针对微制造平台所处激励环境的复杂性和系统内部存在的非线性 ,采用了带有两个修正因子二维模糊振动主动控制系统。最终 ,建立一套可实现微制造的精密隔振系统。 展开更多
关键词 微制造平台 仿生学 主动振动控制 精密隔振系统
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压电驱动三自由度柔顺精密定位平台研究 被引量:4
18
作者 张泉 东益冲 +4 位作者 任广 孙翊 彭艳 蒲华燕 李小毛 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期176-183,229,共9页
设计了一种由压电陶瓷驱动的整体式平面3-PRR柔顺并联定位平台,平台每条支链采用半圆型柔性转动铰链和直角型柔性直线铰链代替传统的转动副和移动副,消除了传统机构的铰链配合间隙和摩擦,通过Ansys软件对两种铰链进行了刚度分析,并在支... 设计了一种由压电陶瓷驱动的整体式平面3-PRR柔顺并联定位平台,平台每条支链采用半圆型柔性转动铰链和直角型柔性直线铰链代替传统的转动副和移动副,消除了传统机构的铰链配合间隙和摩擦,通过Ansys软件对两种铰链进行了刚度分析,并在支链的输入端设计了柔性杠杆位移放大机构以提高平台的工作空间。基于"伪刚体模型法"建立了柔顺定位平台的运动学模型,采用Ansys软件对柔顺并联平台进行有限元分析,得到其静力学特性,最后搭建了平台测试实验系统进行了验证实验。通过运动学模型解析结果和有限元仿真结果与实验结果对比,得到在x方向、y方向和转动角φp的最大误差分别为10.81%,9.66%和9.79%,验证了运动学理论模型建模方法的可行性。 展开更多
关键词 精密定位平台 伪刚体模型 压电陶瓷 柔性铰链
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一种用于激光加工系统的智能化精密平台的研制 被引量:5
19
作者 陈荣刚 沈建华 黄文浩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第3期304-306,共3页
根据在实际工业生产中对激光加工的要求和激光加工自身的特点 ,把激光加工技术与计算机技术、精密机械传动等溶为一体形成激光加工系统的智能化精密平台 ,从而提高了该系统的自动化程度和加工质量。在平台的研制中主要解决以下几个关键... 根据在实际工业生产中对激光加工的要求和激光加工自身的特点 ,把激光加工技术与计算机技术、精密机械传动等溶为一体形成激光加工系统的智能化精密平台 ,从而提高了该系统的自动化程度和加工质量。在平台的研制中主要解决以下几个关键问题 :步进电机和激光电源的智能化控制 ;机械传动系统精度的保证 ;加工过程中适时监控与定位。 展开更多
关键词 激光加工 智能控制 精密平台 图像识别 研制
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超精密隔振平台主动振动控制系统设计 被引量:8
20
作者 浦军 梅德庆 陈子辰 《机械设计》 CSCD 北大核心 2003年第7期31-33,共3页
建立了超精密隔振平台的结构及动力学模型,设计了一种新型的双向电磁作动器,并采用PID控制算法建立了主动振动控制系统模型,经Matlab软件仿真分析表明,该系统具有良好的隔振效果。
关键词 精密隔振平台 主动振动控制系统 设计 双向电磁作动器 振动控制 PID控制 精密加工
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