绝对式角位移传感器的研究综述

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作者 张天恒 彭东林 +2 位作者 王阳阳 郑永 段正南 《仪器仪表学报》 北大核心 2025年第6期1-16,共16页

在智能控制系统的核心部件中,绝对式角位移传感器占据着至关重要的地位。其测量精度与长期运行的可靠性,直接决定了整个控制系统的性能上限。综述了基于不同物理原理的绝对式角位移传感器(电感式、光电式、电场式、磁电式),深入探究其... 在智能控制系统的核心部件中,绝对式角位移传感器占据着至关重要的地位。其测量精度与长期运行的可靠性,直接决定了整个控制系统的性能上限。综述了基于不同物理原理的绝对式角位移传感器(电感式、光电式、电场式、磁电式),深入探究其核心传感机理。阐述了各类绝对式角位移传感器的工作原理、感知电极的形状(特殊编码、环形、扇形、正弦形、花瓣形等)来适应不同的传感机理、感知单元(从栅线到栅面再到阵列)的构型特征来提高感知精度、传感媒介向多媒介耦合转变增强复杂环境的适应性、典型的绝对测量的结构特征以及当前的研究现状。在分析各自优势的同时,也明确指出其固有的局限性,同时对比分析了当前市场上主流产品的性能指标及其典型应用领域,为工程选型提供参考。剖析了在不同传感机理下,融合时空调制技术,通过在空间上周期性分布感知单元并在时间维度上进行信号扫描与解调,具备高精度与抗干扰特性的绝对式时栅角位移传感器。最后,对绝对式角位移传感器未来发展趋势进行展望。在提升传感器精度与分辨率的同时,增强在极端环境下的鲁棒性与可靠性,深化多传感器信息融合技术以满足复杂智能控制系统对多维信息感知的更高需求。 展开更多

关键词 绝对测量 传感机理 传感结构 感知电极的形状 绝对式时栅角位移传感器

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大量程平面二维时栅误差特性与实验研究

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作者 陈自然 刘振越 +2 位作者 彭凯 欧阳辉 郑永海 《光学精密工程》 北大核心 2025年第10期1558-1570,共13页

针对传统平面二维光栅位移传感器在大量程平面位移测量中存在结构复杂、栅格刻划加工要求严格等问题,提出一种“维度分解+位移解耦”的平面二维位移组合测量方法。通过空间周期性传感结构构建了正交变化的磁场,建立平面二维位移与时间... 针对传统平面二维光栅位移传感器在大量程平面位移测量中存在结构复杂、栅格刻划加工要求严格等问题,提出一种“维度分解+位移解耦”的平面二维位移组合测量方法。通过空间周期性传感结构构建了正交变化的磁场,建立平面二维位移与时间基准的映射关系。研究了传感器安装误差对二维位移测量精度的影响,通过建模仿真分析与实验验证重点分析了滚转姿态、俯仰姿态和偏摆姿态带来的二维位移测量误差。实验结果表明,安装误差会在两维位移测量中主要引入直流分量、2次和4次谐波误差。当动尺与定尺之间气隙高度为0.6 mm时,在240 mm×240 mm的测量范围内,X方向测量误差不超过±8.6μm,Y方向测量误差不超过±8.8μm,分辨力为0.15μm。利用毫米级的传感单元在240 mm×240 mm测量范围内实现微米级测量精度的二维位移测量具有重要的理论研究价值和工程应用价值。 展开更多

关键词 大量程 二维位移测量 时栅传感器 误差分析

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基于时空转换的精密位移测量新方法与传统方法的比较 被引量：35

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作者 彭东林 张兴红 +1 位作者 刘小康 陈锡侯 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期423-426,共4页

回顾了时栅位移传感器原理和传统精密位移测量原理,通过比较其间细微而本质的区别,可加深对时空坐标转换方法的理解和对时栅位移传感器优势的认识。

关键词 时栅 时空转换 位移测量 传感器

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纳米时栅位移传感器电场分布与误差特性研究 被引量：20

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作者 刘小康 蒲红吉 +2 位作者 郑方燕 冯济琴 于治成 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2257-2264,共8页

针对现有纳米测量技术量程小和测量环境要求苛刻等不足,提出研究一种以高频时钟脉冲作为计量基准的新型纳米位移传感器,利用差动平行电容极板构建的交变电场进行精密测量。为了优化传感参数并提高测量精度,对纳米时栅传感器在不同参数... 针对现有纳米测量技术量程小和测量环境要求苛刻等不足,提出研究一种以高频时钟脉冲作为计量基准的新型纳米位移传感器,利用差动平行电容极板构建的交变电场进行精密测量。为了优化传感参数并提高测量精度,对纳米时栅传感器在不同参数条件下的电场分布与误差特性进行了研究。首先根据其测量特征,利用ANSYS软件建立二维仿真模型,对不同参数条件下传感器的电场分布进行分析;再通过实验验证,找出不同参数与误差特性之间的关系;最后根据仿真和实验结果,对传感参数进行优化设计。实验表明:在200 mm测量范围内,传感器精度达到±300 nm。为纳米时栅优化设计和精度提高提供了可靠的理论依据和技术支持。 展开更多

关键词 纳米测量 电容式位移传感器 时栅 电场分布 误差特性

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时栅数控转台空间回转位置预测方法研究 被引量：16

5

作者 刘小康 郑方燕 +1 位作者 王先全 彭东林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期2303-2308,共6页

时栅传感器利用时空变换技术将空域信息变换到时域,以时间测量空间位移。为了研制高精度时栅数控转台,减少动态位置反馈误差,提出了一种回转位置预测测量新方法,利用时空变换技术将时域信息返回到空域。利用时间序列理论对时栅测量值进... 时栅传感器利用时空变换技术将空域信息变换到时域,以时间测量空间位移。为了研制高精度时栅数控转台,减少动态位置反馈误差,提出了一种回转位置预测测量新方法,利用时空变换技术将时域信息返回到空域。利用时间序列理论对时栅测量值进行建模,从而预测出数控转台未来一段时间内的位置值,并利用当前测量值对前一次的预测误差进行实时修正。介绍了测量数据建模方法和预测系数估计算法。为了验证位置预测方法的有效性,设计了一套动态实验系统。实践证明,数控转台的角位移预测误差为±2″,实现了精密位置预测。 展开更多

关键词 预测测量 时空变换 时栅 数控转台

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基于光敏阵列直接调制的单栅式时栅位移传感器 被引量：5

6

作者 李彦 付敏 +4 位作者 朱革 高宇 许现波 王林 昌驰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1028-1035,共8页

针对传统叠栅形式光栅存在制造难度大、安装要求高等缺点,提出了一种用时间细分空间的单栅式时栅位移传感器。从光的粒子性出发,分析了用正交变化的光场信号合成光场电行波的方法;用点阵发光二极管(LED)模块作为交变光源,用空间正交的... 针对传统叠栅形式光栅存在制造难度大、安装要求高等缺点,提出了一种用时间细分空间的单栅式时栅位移传感器。从光的粒子性出发,分析了用正交变化的光场信号合成光场电行波的方法;用点阵发光二极管(LED)模块作为交变光源,用空间正交的光敏阵列直接耦合光强信号获取了反应空间位移的电行波信号;最后,通过检测电行波信号与激励信号过零点之间的时间差,实现了对空间直线位移的测量。研制了原理样机,采用普通机械加工方法对其进行了实验验证。结果表明,在440mm测量范围内,样机的测量精度可达±2μm。该单栅式时栅位移传感器减少了叠栅式传感器对安装工艺的要求,提高了抗干扰能力;采用的测量技术避免了传统粗光栅技术存在的精度难以提高、动态特性差等缺点,为光学位移测量提供了一种不通过精密机械细分来提高测量精度的方法。 展开更多

关键词 位移传感器 单栅式传感器 时栅传感器 位移测量 光敏阵列 直接调制

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时栅位移传感器动态误差模型及修正算法研究 被引量：11

7

作者 杨继森 李小雨 +1 位作者 张静 江中伟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期2548-2555,共8页

时栅位移传感器的动态测量的重要性日益凸显,提出了一种时栅位移传感器的动态误差修正模型。该模型以动生电动势和感生电动势为切入点,将转动模型等效为动测头单位绕组横截面直线运动模型,建立了转子转速与时栅位移传感器动测头感应信... 时栅位移传感器的动态测量的重要性日益凸显,提出了一种时栅位移传感器的动态误差修正模型。该模型以动生电动势和感生电动势为切入点,将转动模型等效为动测头单位绕组横截面直线运动模型,建立了转子转速与时栅位移传感器动测头感应信号之间的关系数学模型。实验验证以低速标定好的时栅位移传感器为基础,提高转子转速,运用该模型对时栅位移传感器采集的原始数据进行预处理,然后运用谐波修正对其进行动态误差修正。实验研究表明:采用该模型后72对极轴式时栅位移传感器转速为2 r/min的误差为±2.4″,转速为4 r/min的误差为±2.88″。 展开更多

关键词 时栅位移传感器 动态测量 误差 感应电动势

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时空坐标转换方法的增量式实现与增量式时栅位移传感器研究 被引量：6

8

作者 彭东林 王彦刚 +1 位作者 万文略 朱革 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期475-478,共4页

在分析时栅传感器结构和信号特点的基础上,提出了基于时空坐标转换方法的增量式时栅位移传感器设计方法,分析了控制系统中控制信号的增量式实现及其特殊性。通过对几种传感器信号特点的比较,解决了增量式时栅位移传感器的关键技术难题。

关键词 时空坐标转换方法 时栅 位移 增量传感器

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变耦型时栅传感器及测头姿态对测量误差的影响 被引量：6

9

作者 鲁进 陈锡侯 +1 位作者 汤其富 武亮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2271-2282,共12页

根据时栅传感器的测量原理,提出一种采用高频时钟脉冲作为测量基准的变耦型时栅位移传感器以提高位移测量的精度。该传感器通过改变激励线圈和感应线圈的耦合状态输出感应位移变化的行波信号来实现精密位移测量。进行了建模和仿真,研究... 根据时栅传感器的测量原理,提出一种采用高频时钟脉冲作为测量基准的变耦型时栅位移传感器以提高位移测量的精度。该传感器通过改变激励线圈和感应线圈的耦合状态输出感应位移变化的行波信号来实现精密位移测量。进行了建模和仿真,研究了不同测头姿态下传感器的位移误差特性,并对其进行了谐波分析,得到了不同测头姿态对位移测量误差各次谐波的影响规律。根据传感器模型制作了传感器并开展了验证实验。仿真和实验结果均表明:不同测头姿态对位移测量误差的影响主要体现在对测量误差的1次、2次和4次谐波上,且俯仰姿态引入的附加误差最大,其余测头姿态下引入的位移测量附加误差均较小。若保证较佳的测头姿态,传感器在定尺和动测头间气隙厚度为0.3mm时的原始误差约为±18μm。实验分析结果与仿真结果基本一致。 展开更多

关键词 时栅传感器 位移测量 测头姿态 安装误差 测量精度

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基于分时方法的高精度反射绝对式纳米时栅位移传感器设计 被引量：10

10

作者 刘小康 梅现富 +2 位作者 蒲红吉 彭凯 于治成 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期97-105,共9页

本文提出了一种反射绝对式纳米时栅位移传感器的传感方法。采用反射单列式传感器作为反射绝对式传感器的精密测量部分,记为传感器A。为了实现绝对位移测量,设计了一个与传感器A相差一个周期的反射单列式传感器,记为传感器B,利用传感器A... 本文提出了一种反射绝对式纳米时栅位移传感器的传感方法。采用反射单列式传感器作为反射绝对式传感器的精密测量部分,记为传感器A。为了实现绝对位移测量,设计了一个与传感器A相差一个周期的反射单列式传感器,记为传感器B,利用传感器A与传感器B相位作差实现绝对位移测量。采用标准印刷电路板技术制作了传感器样机,搭建了实验平台,进行了实验测试。测试结果表明,激励电极引线方式对接收电极带来干扰,从而造成一次谐波误差。为了抑制误差,提出了交叉反射结构和分时方法,交叉反射结构将感应电极与另一端的反射电极引线相连,增大激励电极和接收电极的距离,分时方法通过不同时间段对传感器A和传感器B施加激励信号,并把不工作的电极接地。实验表明该结构和方法相互配合有效的抑制了干扰,最终在400 mm范围内,补偿后实现了±300 nm的测量精度。 展开更多

关键词 绝对位移测量 纳米时栅 分时方法 位移传感器

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基于磁导调制的直线式时栅位移传感器 被引量：9

11

作者 陈锡侯 曹焕 +1 位作者 武亮 朱海 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期26-30,共5页

为了满足恶劣环境下精密位移测量的需求,解决现有测量方法在大量程和高精度之间无法兼顾的难题,克服小栅距造成加工难度大的缺点,提出一种基于磁导调制的驻波合成行波的新方法,研究一种新型直线式时栅位移传感器。通过对传感器测量原理... 为了满足恶劣环境下精密位移测量的需求,解决现有测量方法在大量程和高精度之间无法兼顾的难题,克服小栅距造成加工难度大的缺点,提出一种基于磁导调制的驻波合成行波的新方法,研究一种新型直线式时栅位移传感器。通过对传感器测量原理的理论推导,设计了传感器的基本结构,应用三维磁场仿真软件Ansoft Maxwell对传感器进行建模与仿真,采用快速傅里叶变换(FFT)对仿真结果进行误差分析与溯源,根据分析结果对模型结构优化并进行仿真实验验证;根据优化模型制作传感器实物并搭建实验平台进行实验验证。实验结果显示:在200 mm测量范围内,测量精度达±600 nm,且传感器制造简易,成本低廉,在实际工程中具有重要的实用价值。 展开更多

关键词 时栅位移传感器 高精度 大量程 磁导调制 误差特性

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时栅传感器动态测量误差补偿 被引量：7

12

作者 孙世政 彭东林 +1 位作者 郑方燕 武亮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期1114-1121,共8页

针对动态测量误差特点,提出了对系统误差和随机误差分别进行建模和组合补偿的思想来提高时栅传感器的动态测量精度。对具有周期性变化特征的系统误差采用傅里叶级数逼近的方法进行建模,运用最小二乘求解超定方程组的方法计算出系统误差... 针对动态测量误差特点,提出了对系统误差和随机误差分别进行建模和组合补偿的思想来提高时栅传感器的动态测量精度。对具有周期性变化特征的系统误差采用傅里叶级数逼近的方法进行建模,运用最小二乘求解超定方程组的方法计算出系统误差的补偿参数。对于系统误差补偿后残留的随机误差采用灰色预测GM(1,1)模型进行预测,通过模型残差检验和修正提高预测的准确度。实验结果表明,利用傅里叶级数逼近模型有效地补偿了系统误差,误差由±35″降至±7.8″,通过最小二乘参数寻优得到的补偿参数与传感器实际的误差成分相吻合;灰色预测模型则很好地预测补偿了残留的随机误差,误差由±7.8″降至±3″。得到的结果表明,利用这种对误差分别建模和补偿的方法大幅度地降低了动态测量误差,有效地提高了传感器的测量精度。 展开更多

关键词 时栅传感器 位移测量 动态测量误差 系统误差 随机误差 傅里叶级数逼近 GM(1 1)模型

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平面二维时栅位移传感器的理论模型与误差分析 被引量：7

13

作者 刘小康 李佳豪 +2 位作者 彭凯 王合文 蒲红吉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期111-121,共11页

本文提出了一种平面二维位移测量方法,并研制出了一种新型的平面二维时栅位移传感器。首先,建立了平面二维时栅测量模型,采用一种离散化的电极编码阵列,实现了二维平面上的编码;其次,提出了一种测量信号解耦方法,通过对4块正交排列的动... 本文提出了一种平面二维位移测量方法,并研制出了一种新型的平面二维时栅位移传感器。首先,建立了平面二维时栅测量模型,采用一种离散化的电极编码阵列,实现了二维平面上的编码;其次,提出了一种测量信号解耦方法,通过对4块正交排列的动尺电极上的感应信号进行线性运算,实现了对输出行波信号的解耦;建立了三维电场仿真模型并进行仿真分析,仿真结果验证了离散化电极编码的可行性和解耦运算方法的有效性;此外,通过仿真得到了平面二维时栅位移传感器的误差特性,其主要以4次误差为主,并且随着间隙的增大而衰减;最后,采用PCB工艺制造了传感器样机进行实验。实验表明:在300 mm×300 mm范围内,二维时栅传感器在X方向大量程误差为±8μm,Y方向大量程误差为±8.4μm,实现了可靠的二维位移测量。 展开更多

关键词 平面二维位移测量 位移传感器 时栅 信号解耦 误差特性

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基于SOPC的时栅位移传感器信号处理系统设计 被引量：11

14

作者 郑方燕 王宝珠 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1429-1432,共4页

为了提高时栅位移传感器的动态性以及测量精度,设计了一种基于SOPC技术的时栅信号处理系统,将数据的采集和处理集成在一片FPGA内,采用NiosⅡ处理,并将复杂的乘除运算加入了自定义指令,提高了时栅传感器的数据处理效率,采用傅氏级数谐波... 为了提高时栅位移传感器的动态性以及测量精度,设计了一种基于SOPC技术的时栅信号处理系统,将数据的采集和处理集成在一片FPGA内,采用NiosⅡ处理,并将复杂的乘除运算加入了自定义指令,提高了时栅传感器的数据处理效率,采用傅氏级数谐波修正技术来进行误差修正,大大提高了测量精度。实验表明,采用该系统后,时栅在每分钟8转情况下误差峰峰值为2.2″。 展开更多

关键词 信号处理 动态测量 SOPC 时栅 角位移 传感器

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一种时栅传感器谐波误差分析算法 被引量：5

15

作者 杨继森 邵争光 +2 位作者 高义 李明 李路建 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第5期140-142,147,共4页

时栅传感器在信号采样过程中常出现非同步采样和非整周期采样,采用传统的快速傅立叶变换(FFT)算法作为谐波误差分析时,存在频谱泄露和栅栏效应;针对该问题,提出了一种Nuttall窗加三谱线插值的谐波误差分析算法;该算法以Nuttall窗函数作... 时栅传感器在信号采样过程中常出现非同步采样和非整周期采样,采用传统的快速傅立叶变换(FFT)算法作为谐波误差分析时,存在频谱泄露和栅栏效应;针对该问题,提出了一种Nuttall窗加三谱线插值的谐波误差分析算法;该算法以Nuttall窗函数作为FFT的谐波分析方法,可减小频谱泄露引起的误差,用三谱线插值算法对其进行修正,可减小栅栏效应引起的误差;对算法进行MATLAB仿真和实验分析,仿真和实验表明:所提算法能够在加窗函数的基础上进一步提高谐波误差分析的准确性,将谐波分析误差精度从0.1″提高到0.06″。对时栅传感器误差曲线的实验研究进一步验证了该算法的有效性。 展开更多

关键词 时栅位移传感器 谐波误差 快速傅立叶变换(FFT) Nuttall窗 三谱线插值

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具备自标定功能的绝对式时栅位移传感器 被引量：4

16

作者 王阳阳 陈锡侯 +2 位作者 彭东林 武亮 汤其富 《工具技术》 北大核心 2017年第4期98-101,共4页

时栅位移传感器的绝对式实现方法主要采用单对极+多对极和多对极差一对极组合两种形式实现。对于两层传感器结构的单对极+多对极的组合形式,由于极对数相差较多、分辨力差别较大,不利于实现高精度。对于差一对极的组合方式,由于极对数较... 时栅位移传感器的绝对式实现方法主要采用单对极+多对极和多对极差一对极组合两种形式实现。对于两层传感器结构的单对极+多对极的组合形式,由于极对数相差较多、分辨力差别较大,不利于实现高精度。对于差一对极的组合方式,由于极对数较多,在传感器原始加工精度较差时,会产生位置解算困难、甚至无法正确解算的情况。为解决上述问题,提出对极数呈互质关系的两层传感器结构的新组合模式。该模式可实现自校正,有效提高产品精度。通过试验验证了该方法的可行性,获取的传感器精度为-4.5″-3.9″。 展开更多

关键词 时栅位移传感器 绝对测量 对极数互质 自标定技术

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基于多对极组合的绝对式时栅位移传感器实现方法 被引量：1

17

作者 王阳阳 汤其富 +2 位作者 陈锡侯 张天恒 王斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第4期20-22,126,共4页

为了提升时栅位移传感器产品的市场应用空间,时栅位移传感器需要实现绝对式测量功能。提出一种多对极组合的传感器设计方法,通过该方法实现了时栅位移传感器的绝对式测量。通过对时栅位移传感器位移量与信号量关系的解析,阐述了时栅位... 为了提升时栅位移传感器产品的市场应用空间,时栅位移传感器需要实现绝对式测量功能。提出一种多对极组合的传感器设计方法,通过该方法实现了时栅位移传感器的绝对式测量。通过对时栅位移传感器位移量与信号量关系的解析,阐述了时栅位移传感器的测量机理,并通过系统测试获取了信号量变化规律,验证了该方法与传感器结构的可行性。 展开更多

关键词 时栅位移传感器 绝对式测量 多对极组合

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时栅角位移传感器的误差补偿及参数辨识 被引量：1

18

作者 张天恒 王阳阳 +1 位作者 冯济琴 郑方燕 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第6期19-20,24,共3页

基于正弦函数和快速傅里叶变换提出了一种误差补偿及参数辨识方法,用于提高时栅角位移传感器的测量精度和标定效率。使用激光干涉仪对时栅角位移传感器的误差进行标定,在整周采样36个对极点和对极内采样240个点。通过对标定的误差数据... 基于正弦函数和快速傅里叶变换提出了一种误差补偿及参数辨识方法,用于提高时栅角位移传感器的测量精度和标定效率。使用激光干涉仪对时栅角位移传感器的误差进行标定,在整周采样36个对极点和对极内采样240个点。通过对标定的误差数据进行分析,由此提出一种基于傅里叶级数变换的误差补偿模型,在对极点对8个参数与对极内20个参数分别进行参数辨识。实验结果表明:补偿后时栅角位移传感器的测量误差减小为原误差的1/38.4,显著地提高传感器的测量精度和标定的效率。 展开更多

关键词 时栅角位移传感器 测量误差 误差补偿 参数辨识

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基于虚拟仪器技术的纳米时栅传感器实验研究 被引量：1

19

作者 凌旭 王先全 +1 位作者 冯济琴 蒲红吉 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第12期61-63,66,共4页

为了实现制造成本低、抗干扰性强、性能稳定的大量程、纳米精度位移测量,研究了一种基于交变电场耦合的纳米时栅位移传感器。利用虚拟仪器开发平台LabVIEW软件和PXI—5422任意波形发生器硬件设备相结合,实现标准波形的频率、幅值、相位... 为了实现制造成本低、抗干扰性强、性能稳定的大量程、纳米精度位移测量,研究了一种基于交变电场耦合的纳米时栅位移传感器。利用虚拟仪器开发平台LabVIEW软件和PXI—5422任意波形发生器硬件设备相结合,实现标准波形的频率、幅值、相位的设置等功能。实验得出:通过调节激励信号的幅值可以避免安装位置的不同对纳米时栅精度的影响,调节相位可以提高其精度。虚拟仪器技术在纳米时栅实验中的应用为激励信号性能的改进与提高提供了技术支持,在纳米时栅特性的研究中提供方便。 展开更多

关键词 纳米测量 虚拟仪器 位移传感器 时栅

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时栅位移传感器在传动误差检测系统中的应用研究 被引量：1

20

作者 郑方燕 陈锡侯 +1 位作者 高忠华 张天恒 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2012年第12期126-127,131,共3页

采用"时域信号、空域分析"的思想,将时栅位移传感器输出的按时采样的角位移传感器信号转换成按空间均分的角位移信号,实现了用时栅替代等空间采样的光栅作为检测元件应用于传动误差测量。搭建了试验装置,绘制了试验的传动误... 采用"时域信号、空域分析"的思想,将时栅位移传感器输出的按时采样的角位移传感器信号转换成按空间均分的角位移信号,实现了用时栅替代等空间采样的光栅作为检测元件应用于传动误差测量。搭建了试验装置,绘制了试验的传动误差曲线,由曲线频谱图,分析、确定了误差的主要产生环节。证明了用时栅代替光栅测量传动误差是行之有效的。该研究不仅实现了用成本低廉的时栅代替光栅,而且克服了课题组前期开发的传动误差测试系统的采样不稳定性和速率不同步性带来的误差。 展开更多

关键词 时栅 传动误差 测量方法 空域法 信号转换

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