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傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜和动态校准研究
被引量:
13
1
作者
冯明春
徐亮
+6 位作者
金岭
刘文清
高闽光
李胜
李相贤
童晶晶
刘建国
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期163-167,共5页
分析了迈克尔逊干涉仪中动镜和定镜在圆形通光孔径情况下动镜在扫描过程中倾斜对干涉调制度的影响.为满足干涉调制度要求,理论计算发现动镜倾斜角度需控制在1″以内,对应的相位误差为±6.6°以内.为了解决此问题,使动镜和定镜...
分析了迈克尔逊干涉仪中动镜和定镜在圆形通光孔径情况下动镜在扫描过程中倾斜对干涉调制度的影响.为满足干涉调制度要求,理论计算发现动镜倾斜角度需控制在1″以内,对应的相位误差为±6.6°以内.为了解决此问题,使动镜和定镜保持准直,采用定镜动态校准系统对动镜倾斜误差进行校准.实验结果表明,校准后的XR和YR相位误差的均方根分别为1.02°和1.25°,满足系统要求.动态校准系统能够有效地校准动镜长距离运动过程中发生的倾斜误差,对高分辨光谱仪的设计和研制具有一定的指导意义.
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关键词
迈克尔逊干涉仪
动镜倾斜
调制度
相位差
动态校准
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职称材料
干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析
被引量:
25
2
作者
相里斌
杨建峰
+1 位作者
高瞻
刘改霞
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1997年第2期132-135,共4页
本文从调制度和相位误差角度,系统分析了双光束干涉光谱仪中,当光束孔径为圆形和矩形时,动镜运动过程中发生倾斜的影响,讨论了动镜倾斜容限以及减小动镜倾斜误差的方法.
关键词
干涉
光谱仪
动镜倾斜
调制度
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职称材料
傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜误差分析
被引量:
19
3
作者
曾立波
尹邦胜
+1 位作者
何冰
龚丹
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期191-196,共6页
通过建立傅里叶变换光谱仪中动镜、定镜和干涉面的坐标对应关系,对动镜存在多个方向倾斜时的干涉光路进行了详细的分析。建立了非准直状态下干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声...
通过建立傅里叶变换光谱仪中动镜、定镜和干涉面的坐标对应关系,对动镜存在多个方向倾斜时的干涉光路进行了详细的分析。建立了非准直状态下干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声的角度,对动镜倾斜造成的影响进行了系统分析。在动镜的运动中,左右方向的倾斜和俯仰方向的倾斜对系统的影响彼此具有独立性,又具有叠加性;干涉图中初相位因子随光程差改变缓慢变化或快速变化,对相位误差的影响也不全相同。在倾斜误差分析的基础上,对动镜的最大倾斜角度和减少误差的方法进行讨论,并提出了两种动态准直校正的思路。
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关键词
傅里叶变换光谱仪
动镜倾斜
调制度
动态准直
误差分析
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职称材料
迈克尔逊干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析
被引量:
12
4
作者
杨庆华
周仁魁
赵葆常
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期677-680,共4页
系统分析了迈克尔逊干涉光谱仪中平面动镜在运动过程中发生倾斜致使反射光束偏转时对干涉图的影响.结果表明,光束偏转带来的误差分为三部分:光束偏转导致整体增加的恒定光程差,垂直光轴方向因不同光线而引入的偏移光程差以及偏转光束中...
系统分析了迈克尔逊干涉光谱仪中平面动镜在运动过程中发生倾斜致使反射光束偏转时对干涉图的影响.结果表明,光束偏转带来的误差分为三部分:光束偏转导致整体增加的恒定光程差,垂直光轴方向因不同光线而引入的偏移光程差以及偏转光束中心相对于光轴的偏移量.从调制度和相位误差角度给出了平面动镜倾斜误差容限,并讨论了减小干涉图受光束偏转影响的方法.
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关键词
干涉仪
动镜倾斜
调制度
相位误差
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职称材料
双动镜平动式与双动臂旋转式干涉仪动态性能对比
5
作者
任万杰
毛冲冲
+2 位作者
赵建泉
张江浩
孙逊
《应用光学》
2025年第5期988-995,共8页
双动镜平动式和双动臂旋转式干涉仪虽能较好地降低动镜倾斜的影响,但现有研究未能明确两者的差异特征,导致在高精度场景中常因性能误判而选型错误。该文通过构型对比揭示了两类干涉仪差异,设计了功能和尺寸近似的两类干涉仪,其中,平动...
双动镜平动式和双动臂旋转式干涉仪虽能较好地降低动镜倾斜的影响,但现有研究未能明确两者的差异特征,导致在高精度场景中常因性能误判而选型错误。该文通过构型对比揭示了两类干涉仪差异,设计了功能和尺寸近似的两类干涉仪,其中,平动式干涉仪尺寸为443.546 mm×243.773 mm,旋转式干涉仪的尺寸为387.546 mm×300 mm。模拟了动镜倾斜情况下的干涉范围,其中,平动式干涉仪的动镜倾斜角与调制深度呈负相关,旋转式干涉仪可通过延长反射镜尺寸来消除调制深度降低的影响;推导了临界安装误差阈值,平动式干涉仪的动镜倾斜角≤0.39″,安装误差角≤0.1″,旋转式干涉仪的动镜倾斜角≤0.23″,安装误差角≤0.066″。所得差异量化结果为不同环境下干涉仪的构型选择提供了直接判据,可有效规避传统“经验驱动”设计模式导致的性能损失风险。
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关键词
干涉仪
动镜倾斜
调制深度
安装误差
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职称材料
题名
傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜和动态校准研究
被引量:
13
1
作者
冯明春
徐亮
金岭
刘文清
高闽光
李胜
李相贤
童晶晶
刘建国
机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院环境光学与技术重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期163-167,共5页
基金
国家重大科学仪器设备专项(No.2013YQ22064302)
中国科学院战略性先导科技专项(No.XDB05050302)
+1 种基金
国家自然科学基金(No.41405029)
安徽省科技攻关计划(No.1301041024)资助~~
文摘
分析了迈克尔逊干涉仪中动镜和定镜在圆形通光孔径情况下动镜在扫描过程中倾斜对干涉调制度的影响.为满足干涉调制度要求,理论计算发现动镜倾斜角度需控制在1″以内,对应的相位误差为±6.6°以内.为了解决此问题,使动镜和定镜保持准直,采用定镜动态校准系统对动镜倾斜误差进行校准.实验结果表明,校准后的XR和YR相位误差的均方根分别为1.02°和1.25°,满足系统要求.动态校准系统能够有效地校准动镜长距离运动过程中发生的倾斜误差,对高分辨光谱仪的设计和研制具有一定的指导意义.
关键词
迈克尔逊干涉仪
动镜倾斜
调制度
相位差
动态校准
Keywords
Michelsoninterferometer
tilting
of
the
moving
mirror
modulation depth
Phase error
Dynamic alignment
分类号
TH89 [机械工程—精密仪器及机械]
O438.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析
被引量:
25
2
作者
相里斌
杨建峰
高瞻
刘改霞
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1997年第2期132-135,共4页
基金
中国科学院院长基金
文摘
本文从调制度和相位误差角度,系统分析了双光束干涉光谱仪中,当光束孔径为圆形和矩形时,动镜运动过程中发生倾斜的影响,讨论了动镜倾斜容限以及减小动镜倾斜误差的方法.
关键词
干涉
光谱仪
动镜倾斜
调制度
Keywords
Fourier Transform interferometer
tilting of the moving mirror
,
modulation depth
Phase error
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜误差分析
被引量:
19
3
作者
曾立波
尹邦胜
何冰
龚丹
机构
武汉大学光谱与成像仪器工程中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期191-196,共6页
基金
"十五"国家科技攻关计划项目:红外和激光拉曼光谱分析仪器的研制与开发(No.2004BA210A02)
文摘
通过建立傅里叶变换光谱仪中动镜、定镜和干涉面的坐标对应关系,对动镜存在多个方向倾斜时的干涉光路进行了详细的分析。建立了非准直状态下干涉面光强分布的二维数学模型,确立了干涉图函数的数学表达式,从调制度、相位误差和频率噪声的角度,对动镜倾斜造成的影响进行了系统分析。在动镜的运动中,左右方向的倾斜和俯仰方向的倾斜对系统的影响彼此具有独立性,又具有叠加性;干涉图中初相位因子随光程差改变缓慢变化或快速变化,对相位误差的影响也不全相同。在倾斜误差分析的基础上,对动镜的最大倾斜角度和减少误差的方法进行讨论,并提出了两种动态准直校正的思路。
关键词
傅里叶变换光谱仪
动镜倾斜
调制度
动态准直
误差分析
Keywords
Fourier transform speetrometer
tilting
of
the
moving
mirror
modulation depth
adaptive alignment
error analysis
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
迈克尔逊干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析
被引量:
12
4
作者
杨庆华
周仁魁
赵葆常
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所空间光学研究室
中国科学院研究生院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期677-680,共4页
文摘
系统分析了迈克尔逊干涉光谱仪中平面动镜在运动过程中发生倾斜致使反射光束偏转时对干涉图的影响.结果表明,光束偏转带来的误差分为三部分:光束偏转导致整体增加的恒定光程差,垂直光轴方向因不同光线而引入的偏移光程差以及偏转光束中心相对于光轴的偏移量.从调制度和相位误差角度给出了平面动镜倾斜误差容限,并讨论了减小干涉图受光束偏转影响的方法.
关键词
干涉仪
动镜倾斜
调制度
相位误差
Keywords
Interferometer
Inclination
of
the
moving
mirror
modulation depth
Phase error
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
双动镜平动式与双动臂旋转式干涉仪动态性能对比
5
作者
任万杰
毛冲冲
赵建泉
张江浩
孙逊
机构
南京信息工程大学电子与信息工程学院
出处
《应用光学》
2025年第5期988-995,共8页
基金
某装备发展部项目
山东省自然科学基金(ZR2024QB182)。
文摘
双动镜平动式和双动臂旋转式干涉仪虽能较好地降低动镜倾斜的影响,但现有研究未能明确两者的差异特征,导致在高精度场景中常因性能误判而选型错误。该文通过构型对比揭示了两类干涉仪差异,设计了功能和尺寸近似的两类干涉仪,其中,平动式干涉仪尺寸为443.546 mm×243.773 mm,旋转式干涉仪的尺寸为387.546 mm×300 mm。模拟了动镜倾斜情况下的干涉范围,其中,平动式干涉仪的动镜倾斜角与调制深度呈负相关,旋转式干涉仪可通过延长反射镜尺寸来消除调制深度降低的影响;推导了临界安装误差阈值,平动式干涉仪的动镜倾斜角≤0.39″,安装误差角≤0.1″,旋转式干涉仪的动镜倾斜角≤0.23″,安装误差角≤0.066″。所得差异量化结果为不同环境下干涉仪的构型选择提供了直接判据,可有效规避传统“经验驱动”设计模式导致的性能损失风险。
关键词
干涉仪
动镜倾斜
调制深度
安装误差
Keywords
interferometer
moving
mirror
tilt
modulation depth
installation error
分类号
TH744.1 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜和动态校准研究
冯明春
徐亮
金岭
刘文清
高闽光
李胜
李相贤
童晶晶
刘建国
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
13
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职称材料
2
干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析
相里斌
杨建峰
高瞻
刘改霞
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1997
25
在线阅读
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职称材料
3
傅里叶变换红外光谱仪动镜倾斜误差分析
曾立波
尹邦胜
何冰
龚丹
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
19
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
迈克尔逊干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析
杨庆华
周仁魁
赵葆常
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
12
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
双动镜平动式与双动臂旋转式干涉仪动态性能对比
任万杰
毛冲冲
赵建泉
张江浩
孙逊
《应用光学》
2025
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职称材料
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