期刊文献+
共找到8篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
调制周期对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜性能的影响 被引量:5
1
作者 林松盛 周克崧 +5 位作者 代明江 石倩 胡芳 侯惠君 韦春贝 李福球 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期114-118,共5页
采用真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面沉积同等厚度的三种不同调制周期Ti-Ti N-Zr-Zr N软硬交替多层膜。用扫描电镜、显微硬度计、结合力划痕仪和砂粒冲刷试验仪分析测试了多层膜的厚度、表面及截面形貌、硬度、膜/基结合力和抗... 采用真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面沉积同等厚度的三种不同调制周期Ti-Ti N-Zr-Zr N软硬交替多层膜。用扫描电镜、显微硬度计、结合力划痕仪和砂粒冲刷试验仪分析测试了多层膜的厚度、表面及截面形貌、硬度、膜/基结合力和抗砂粒冲蚀磨损性能等;重点研究了调制周期的改变对多层膜性能的影响。结果表明:随着周期数的增加,单一调制周期变薄,膜层中金属"液滴"颗粒等缺陷减少,同时也增加了大量的层间界面;层界面之间反复形核,晶粒细化,有利于多层膜表面光洁度、致密度、硬度、结合力和抗砂粒冲蚀能力的改善。 展开更多
关键词 titin—Zr-ZrN多层 调制周期 真空阴极电弧沉积 冲蚀
在线阅读 下载PDF
调制周期对TiN/Ti多层膜组织结构和结合力的影响 被引量:3
2
作者 肖娜 杜菲菲 杨波 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期65-69,共5页
为了阐明调制周期对薄膜微观组织及薄膜与基体结合力的影响,采用反应磁控溅射在Ti6Al4V基板上交替沉积了Ti层及TiN层制备了TiN/Ti多层膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、显微硬度仪和划痕仪测量分析了薄膜的晶体结构、微... 为了阐明调制周期对薄膜微观组织及薄膜与基体结合力的影响,采用反应磁控溅射在Ti6Al4V基板上交替沉积了Ti层及TiN层制备了TiN/Ti多层膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、显微硬度仪和划痕仪测量分析了薄膜的晶体结构、微观组织、硬度以及薄膜与基体之间的结合力。研究结果表明:TiN/Ti多层膜中均存在TiN,Ti和Ti2N 3种相。TiN/Ti多层膜均以柱状晶方式生长,在调制周期较大(5层)时,TiN和Ti层的界面清晰;随着调制周期的减小(层数增加),TiN和Ti层的界面逐渐消失。与单层TiN薄膜相比,多层TiN/Ti薄膜的硬度显著提高;但随着薄膜层数的增加,多层TiN/Ti薄膜硬度略微降低。当调制周期为80nm(30层)时,薄膜与基体的结合力明显提高,达到73N。 展开更多
关键词 反应磁控溅射 tin/ti 调制周期 结合力
在线阅读 下载PDF
不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构与性能的影响 被引量:1
3
作者 张川 刘婵 +1 位作者 李昊 黄美东 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2018年第4期23-27,共5页
为研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构和性能的影响,采用电弧离子镀技术在Si(100)、不锈钢和高速钢基底表面沉积TiN/Ag多层膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X线衍射仪(XRD)、XP-2台阶仪、维氏硬度计和摩擦磨损仪研究不同调制周期对TiN/Ag... 为研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构和性能的影响,采用电弧离子镀技术在Si(100)、不锈钢和高速钢基底表面沉积TiN/Ag多层膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X线衍射仪(XRD)、XP-2台阶仪、维氏硬度计和摩擦磨损仪研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜表面形貌、微观结构、厚度、显微硬度和摩擦系数的影响,并采用大肠杆菌实验对多层膜的抗菌性能进行研究.结果表明:TiN/Ag多层膜为面心立方结构,膜层由TiN和Ag交替组成,不存在其他杂相,多层膜具有TiN(111)晶面和Ag(111)晶面择优生长;随着调制周期的减小,多层膜表面更加平整、光滑,硬度逐渐增大,最大达到1 150.5 HV,摩擦系数先增大后减小,最小为0.189,抗菌性能逐渐减弱. 展开更多
关键词 电弧离子镀 tin/Ag多层 调制周期 微观结构 力学性能 抗菌性能
在线阅读 下载PDF
TiN/TiCN多层调制结构薄膜的结构和力学性能研究 被引量:2
4
作者 任鑫 江仁康 +2 位作者 赵瑞山 王丞 黄美东 《有色金属工程》 CAS 北大核心 2019年第12期29-34,共6页
以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明:不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整,随着调制周期的减小,表面质量有一定改善。... 以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明:不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整,随着调制周期的减小,表面质量有一定改善。多层膜结构主要由fcc-TiN型固溶体构成,不存在a-C结构。随着调制周期的减小,物相分析表明TiN/TiCN多层膜发生了择优生长,出现了(111)晶面生长织构,其纳米硬度和弹性模量逐渐增大,在调制周期λ=0.15μm时达到最大值,分别为35.56GPa和436.2GPa。 展开更多
关键词 tin/tiCN多层 复合离子镀 调制周期 结构 力学性能
在线阅读 下载PDF
铜合金表面Ti/TiN多层膜的制备、结构及其性能 被引量:4
5
作者 宋贵宏 娄茁 +1 位作者 熊光连 陈立佳 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 北大核心 2012年第4期391-396,共6页
为了研究多层膜的腐蚀性能,促进多层膜在生产中的应用,采用电弧离子镀技术,通过调整环境N2和Ar气的时间比例在铜衬底上成功制备了不同调制周期的Ti/TiN多层膜.利用x-射线衍射谱和交流阻抗谱研究了该多层膜的结构和腐蚀性能.表面形貌显示... 为了研究多层膜的腐蚀性能,促进多层膜在生产中的应用,采用电弧离子镀技术,通过调整环境N2和Ar气的时间比例在铜衬底上成功制备了不同调制周期的Ti/TiN多层膜.利用x-射线衍射谱和交流阻抗谱研究了该多层膜的结构和腐蚀性能.表面形貌显示,沉积的Ti/TiN多层膜具有明显的周期性,环境中N2和Ar气的时间比例决定了多层膜的调制周期,N2气时间越长,多层膜中TiN相层越厚.腐蚀性能测定表明,多层膜的调制周期影响其耐蚀性,当调制周期为550 nm时,沉积膜的耐腐蚀性最好. 展开更多
关键词 ti/tin多层 电弧离子镀 调制周期 择优取向 XRD谱 结合强度 腐蚀性能 硬质防护
在线阅读 下载PDF
TiN/TiB_2纳米多层膜的共格外延生长
6
作者 戴嘉维 岳建岭 李戈扬 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期275-275,共1页
关键词 纳米多层 共格界面 外延生长 tiB2 tin 超硬效应 纳米多层薄 调制周期 生长结构
在线阅读 下载PDF
多层Al/Ti纳米含能桥膜的电爆性能研究 被引量:2
7
作者 杨程 胡艳 +1 位作者 沈瑞琪 叶迎华 《爆破器材》 CAS 2015年第1期33-36,共4页
利用磁控溅射法制备了不同调制周期的多层Al/Ti纳米含能桥膜,并在电容放电激励下对其电爆性能进行测试,Al/Ti纳米含能桥膜的爆发时间随着电压的增大而降低,而等离子体持续时间随着电压的增加而增大。高速摄影仪记录的Al/Ti纳米含能桥膜... 利用磁控溅射法制备了不同调制周期的多层Al/Ti纳米含能桥膜,并在电容放电激励下对其电爆性能进行测试,Al/Ti纳米含能桥膜的爆发时间随着电压的增大而降低,而等离子体持续时间随着电压的增加而增大。高速摄影仪记录的Al/Ti纳米含能桥膜的电爆过程表明,在相同的激励电压下,Al/Ti纳米含能桥膜的电爆现象明显比Al桥膜和Ti桥膜剧烈,且伴随着高温粒子四处飞溅,飞溅高度约有4~6 mm,同时Al/Ti纳米含能桥膜的电爆持续时间均长于Al桥膜和Ti桥膜的电爆持续时间,这与伏安特性曲线得出的结论一致。 展开更多
关键词 纳米含能桥 AL/ti 调制周期 电爆性能
在线阅读 下载PDF
铝基复合材料表面多层复合厚膜的研究 被引量:5
8
作者 彭丽平 王兆松 +5 位作者 李剑锋 吕世功 王春 武洪臣 巩水利 李国卿 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期505-509,共5页
对含50%AlN颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了... 对含50%AlN颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了多层复合薄膜体系。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、光谱仪、原子力显微镜、微载荷显微硬度仪、摩擦磨损试验机等设备分析了复合薄膜的组织结构、膜层形貌、截面形貌、显微硬度和摩擦系数等性能特点。测试表明:铝基复合材料/Ni-P层/Ti/TiN调制周期膜/含氢DLC膜这一梯度膜系具有结构交替变化,相邻界面形成混合层,性能梯度分布,硬度逐渐增加,摩擦系数小的特点。该复合工艺能够有效地解决铝基复合材料上制备硬质厚膜的热适配和晶格错配度大的难题,制备薄膜具有良好的膜基结合性能。 展开更多
关键词 多层复合 ti/tin调制周期膜 类金刚石 摩擦系数 结合力
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部