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跨尺度微纳米三坐标测量机研制及误差分析
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作者 黄强先 刘慧洁 +4 位作者 张祖杨 李红莉 程荣俊 张连生 李瑞君 《光学精密工程》 北大核心 2025年第19期3058-3069,共12页
为解决三维超精密测量中大行程运动与高精度测量之间的矛盾,研制了一种新型的跨尺度微纳米三坐标测量机(Cross-Scale Micro-Nano Coordinate Measuring Machine,CSMN-CMM),测量体积为100 mm×100 mm×100 mm。不同于传统坐标测... 为解决三维超精密测量中大行程运动与高精度测量之间的矛盾,研制了一种新型的跨尺度微纳米三坐标测量机(Cross-Scale Micro-Nano Coordinate Measuring Machine,CSMN-CMM),测量体积为100 mm×100 mm×100 mm。不同于传统坐标测量机的结构形式,CSMN-CMM采用独立的、三维方向都符合阿贝原则的计量系统布局,既消除了运动系统对计量系统的影响,又避免阿贝误差。其运动系统由三维气浮宏动台和六自由度微动台构成,宏微协同的运动模式在提高测量效率的同时完成高精度触发及测量任务。测头系统方面,采用高精度三维接触式测头或谐振式触发测头完成测量,谐振式触发测头的光纤探针测球直径可达70μm以下。针对测量机存在的主要误差来源,基于坐标转换建立空间误差补偿模型并完成误差分离。依据ISO 10360-2,对CSMN-CMM整机测量性能进行检验,得到其最大允许误差优于±(250 nm+3.6×10^(-6)×L)。实验结果表明,CSMN-CMM具有亚微米三维测量精度,可以实现低至100μm内尺寸的测量,其结构设计及关键技术对高精度三维测量具有重要意义。 展开更多
关键词 微纳米测量机 无阿贝误差 宏微运动系统 精密测量 误差分析
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转台动态角度测量误差实时补偿方法研究 被引量:1
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作者 叶程俊 朱维斌 +3 位作者 黄垚 朱进 邹伟 薛梓 《传感技术学报》 北大核心 2025年第5期802-808,共7页
为了提升转台测角系统动态角度测量精度,开展了高实时性动态角度测量误差补偿方法研究。分析转台测角系统在动态测量过程中的误差来源,基于谐波分析和泰勒级数建立静态、动态误差分量模型;针对动态角度测量误差补偿的高实时性需求,建立... 为了提升转台测角系统动态角度测量精度,开展了高实时性动态角度测量误差补偿方法研究。分析转台测角系统在动态测量过程中的误差来源,基于谐波分析和泰勒级数建立静态、动态误差分量模型;针对动态角度测量误差补偿的高实时性需求,建立误差补偿函数,降低补偿算法延时和补偿函数计算复杂性对误差补偿效果的影响;搭建实验平台,以环形激光测角仪为参考值开展转台动态角度测量误差补偿效果验证实验。实验结果表明,在不同转速下所提出的补偿方法均能够实现良好的补偿效果,补偿后的动态角度测量精度优于3.43″。 展开更多
关键词 转台 圆光栅 动态角度测量 误差补偿
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结合几何误差模型和神经网络的三坐标测量机全面误差补偿方法
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作者 梁健 封善斋 +2 位作者 甄明吉 宫鹏飞 吴斌 《仪器仪表学报》 北大核心 2025年第7期150-159,共10页
三坐标测量机作为精密测量与高端制造领域的核心设备,其测量精度受到几何误差和非几何误差的制约。传统基于激光干涉仪的误差补偿方法存在效率低下及补偿模型不完善的问题,难以满足日益提升的测量精度需求。针对上述挑战,提出了一种结... 三坐标测量机作为精密测量与高端制造领域的核心设备,其测量精度受到几何误差和非几何误差的制约。传统基于激光干涉仪的误差补偿方法存在效率低下及补偿模型不完善的问题,难以满足日益提升的测量精度需求。针对上述挑战,提出了一种结合几何误差模型与神经网络的综合误差补偿方法,实现对复杂误差的高效精准补偿。针对几何误差,基于刚体运动学构建误差模型,并采用自适应差分演化算法实现高精度的误差参数辨识;针对非几何误差,设计了一种基于邻域误差特征的新型神经网络,利用多头自注意力机制深入捕捉邻域测量空间中的误差分布特性,相较于传统仅以目标点位置为输入的网络方法显著提升了预测效果。实验结果表明,采用所提方法补偿后,标称精度为2.8+L/400μm的三坐标测量机最大探测误差降至0.35μm,长度测量误差为0.5+L/400μm,较原厂标称数据有明显提升,充分验证了其适用性和实用价值。此外,与传统误差补偿方法相比,所提方法在几何误差和非几何误差上均展现了显著优势,实现了高鲁棒性,高效且准确的全面误差补偿。该方法为三坐标测量机等精密测量设备的误差控制与性能优化提供了切实可行的新途径,具有重要的工程推广意义和广阔的应用前景。 展开更多
关键词 三坐标测量机 误差补偿 几何误差 非几何误差 神经网络
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基于PSO-RF算法的三坐标测量机热误差预测
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作者 王烁棪 郑刚 张旭 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2025年第8期31-36,共6页
常规三坐标测量机要求标准工作温度为20℃,以避免温度对机器性能的影响。为探究三坐标测量机温度与热误差之间的映射关系,提高热误差模型的精度,提出了一种基于粒子群优化算法(PSO)和随机森林(RF)回归模型相结合的热误差预测方法。首先... 常规三坐标测量机要求标准工作温度为20℃,以避免温度对机器性能的影响。为探究三坐标测量机温度与热误差之间的映射关系,提高热误差模型的精度,提出了一种基于粒子群优化算法(PSO)和随机森林(RF)回归模型相结合的热误差预测方法。首先利用粒子群优化算法的全局搜索能力来探索超参数空间,提高随机森林回归模型的预测性能;然后以三坐标测量机为研究对象,使用XM60激光干涉仪和温度传感器采集定位误差数据与温度数据,进行实验验证。结果表明,使用PSO-RF热误差模型可以有效提高模型精度。与传统的RF模型和SVM模型预测结果相比,均方根误差分别降低了13.3%和26%,平均绝对误差分别降低了15%和21.7%。 展开更多
关键词 三坐标测量机 热误差模型 激光干涉仪 PSO-RF模型
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考虑谐波的机床激光跟踪光栅标定误差补偿
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作者 赵悦 张松松 +1 位作者 高嵩 张国福 《激光杂志》 北大核心 2025年第9期223-228,共6页
激光跟踪光栅系统应用于高精度测量领域,其对精度和实时性要求较高,但受激光跟踪光栅系统的动态性影响,且对误差的分析较为单一,测量精度难以达到要求。为此,提出考虑谐波的激光跟踪光栅标定误差补偿方法。分析机床激光跟踪光栅标定误... 激光跟踪光栅系统应用于高精度测量领域,其对精度和实时性要求较高,但受激光跟踪光栅系统的动态性影响,且对误差的分析较为单一,测量精度难以达到要求。为此,提出考虑谐波的激光跟踪光栅标定误差补偿方法。分析机床激光跟踪光栅标定误差形成机理,在分析倾斜误差、码盘刻线误差、码盘偏心误差的基础上,进一步考虑了产生谐波的光电信号误差。综合分析多误差源,耦合计算总转角误差。考虑误差的波动特性,设计谐波函数,通过非线性最小二乘法的动态适应性,就散谐波拟合函数,获得误差补偿量。实验结果表明,该方法显著提升了机床激光跟踪光栅标定精度,加工合格率高达99.31%,平均停机调整时间缩短至0.23 s,有效增强了生产效率和产品质量。 展开更多
关键词 谐波分量 机床激光跟踪 光栅标定 误差补偿 测角圆光栅 谐波函数
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Dynamic Coordination of Uncalibrated Hand/Eye Robotic System Based on Neural Network 被引量:1
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作者 Su, J. Pan, Q. Xi, Y. 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2001年第3期45-50,共6页
A nonlinear visual mapping model is presented to replace the image Jacobian relation for uncalibrated hand/eye coordination. A new visual tracking controller based on artificial neural network is designed. Simulation ... A nonlinear visual mapping model is presented to replace the image Jacobian relation for uncalibrated hand/eye coordination. A new visual tracking controller based on artificial neural network is designed. Simulation results show that this method can drive the static tracking error to zero quickly and keep good robustness and adaptability at the same time. In addition, the algorithm is very easy to be implemented with low computational complexity. 展开更多
关键词 Adaptive algorithms Computational complexity Computer simulation Coordinate measuring machines error detection Mathematical models Neural networks Robotic arms Robustness (control systems) Stereo vision
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基于阿贝原则的机床主轴误差测量研究 被引量:2
7
作者 杨锐 刘宏伟 王新科 《工具技术》 北大核心 2024年第6期150-152,共3页
机床测量是误差补偿的前提,分析主轴箱移动时产生的阿贝误差原因,给出主轴箱沿Z轴移动时X方向和Y方向的直线度误差,根据主轴箱直线度误差数据进行建模并给予补偿,结合具体的工程实例验证了阿贝误差补偿的有效性。
关键词 阿贝误差 机床测量 误差补偿 主轴
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基于在机测量的曲面共形电路3D打印误差补偿方法 被引量:1
8
作者 刘清涛 魏栋杰 +2 位作者 杨鹏涛 尹恩怀 吕景祥 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期66-74,共9页
基于3D打印技术制备曲面共形电路具有广阔的应用前景,然而,由于曲面基材加工误差和导电线路定位误差的影响,导致曲面电路3D打印头高度难以精确控制,进而影响打印精度。为此,本文以气动式直写打印为研究对象,提出了一种“在机测量+线路... 基于3D打印技术制备曲面共形电路具有广阔的应用前景,然而,由于曲面基材加工误差和导电线路定位误差的影响,导致曲面电路3D打印头高度难以精确控制,进而影响打印精度。为此,本文以气动式直写打印为研究对象,提出了一种“在机测量+线路模型重构”的打印头高度误差补偿方法。设计了一种曲率自适应测量点选取方法,利用NURBS曲线反算法对测量数据进行重构,还原真实线路模型。通过生成真实线路的打印轨迹,替换原始理论打印轨迹,补偿了打印头高度误差。自主搭建了一套集成了在机测量系统的曲面共形电路3D打印平台,设计了直线、圆弧与NURBS自由曲线3种形状的线路,进行补偿前后电路打印的对比实验。结果表明,未进行补偿前,在线路曲率较大的地方,线路在基板上的波峰处会产生拉丝现象,波谷处会产生堆叠现象,而补偿后的导线线宽比较均匀;进一步对每条导线的电阻进行测量,发现各条线路补偿前的电阻值波动较大,补偿后的电路的电阻值均匀,且相较补偿前平均降低65.99%,最大电阻降幅达85.75%。 展开更多
关键词 曲面共形电路 3D打印 在机测量 误差补偿 模型重构 NURBS曲线
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齿轮加工机床几何误差补偿研究综述
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作者 杨建军 司林林 +1 位作者 林守金 林鑫 《机床与液压》 北大核心 2024年第19期174-187,共14页
齿轮的加工精度是制约高端装备发展的关键瓶颈,高性能齿轮加工机床是实现齿轮高精度加工的选择。齿轮加工机床结构和运动的复杂性增加了其几何误差补偿的难度。通过分析近年来国内外多轴通用机床的几何误差补偿技术并结合齿轮加工机床... 齿轮的加工精度是制约高端装备发展的关键瓶颈,高性能齿轮加工机床是实现齿轮高精度加工的选择。齿轮加工机床结构和运动的复杂性增加了其几何误差补偿的难度。通过分析近年来国内外多轴通用机床的几何误差补偿技术并结合齿轮加工机床几何误差补偿发展现状,对齿轮加工机床几何误差补偿技术展开综述,总结几何误差的来源,介绍多体系统理论、旋量理论、微分运动矩阵及变流理论4种可应用于几何误差建模的理论,分析采用激光干涉仪和球杆仪对直线轴及旋转轴进行几何误差测量与辨识的方法,概述通过NC数据修改对几何误差进行补偿的方法,为齿轮加工机床几何误差补偿设计提供参考。 展开更多
关键词 齿轮加工机床 几何误差溯源 几何误差建模 几何误差测量与辨识 几何误差补偿
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基于激光球杆干涉仪的数控机床空间误差高效测量、辨识与补偿 被引量:4
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作者 肖域坤 曾治霖 +2 位作者 唐越 冯晓冰 杜正春 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期222-233,共12页
空间误差补偿是提升数控机床精度和性能的重要途径。然而,机床空间误差元素众多,传统直接测量方法耗时长,限制了空间误差补偿的广泛应用。本文提出一种基于激光球杆干涉仪的数控机床空间误差高效测量、辨识与补偿方法。该方法利用激光... 空间误差补偿是提升数控机床精度和性能的重要途径。然而,机床空间误差元素众多,传统直接测量方法耗时长,限制了空间误差补偿的广泛应用。本文提出一种基于激光球杆干涉仪的数控机床空间误差高效测量、辨识与补偿方法。该方法利用激光球杆干涉仪在不同位置处测量的机床空间轨迹数据,采用多边测量原理解算出理论测量点的实际空间坐标;通过测量点的空间位置误差及数控机床的空间误差模型,辨识出机床各几何误差项;利用数控系统的原点偏移功能开发了实时误差补偿系统。数值仿真表明,本文误差辨识方法与Etalon TRAC-CAL软件的辨识结果基本一致。实验显示,本文方法可在1 h内完成三轴数控机床的测量与辨识,误差辨识结果与直接测量结果相近,误差补偿后机床空间精度显著提升,工件加工精度提升50%以上。该方法能大幅提高机床空间误差测量与补偿效率,具有广阔的工业应用前景。 展开更多
关键词 数控机床 空间误差 激光球杆干涉仪 多边测量 误差辨识 误差补偿
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基于在机测量的薄壁叶片加工误差建模与补偿方法 被引量:2
11
作者 葛广言 周德润 +2 位作者 马骋 冯晓冰 杜正春 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第7期68-76,共9页
薄壁叶片具备结构复杂、刚度弱、材料难加工等特性,且在加工过程中受到力导致变形、刀具磨损及机床精度演变等多源影响,造成其加工精度差、周期长。针对此问题,提出了基于在机测量的薄壁叶片加工误差建模与补偿方法,建立了基于机器学习... 薄壁叶片具备结构复杂、刚度弱、材料难加工等特性,且在加工过程中受到力导致变形、刀具磨损及机床精度演变等多源影响,造成其加工精度差、周期长。针对此问题,提出了基于在机测量的薄壁叶片加工误差建模与补偿方法,建立了基于机器学习的加工误差模型以及基于迭代系数的补偿值修正计算方法,开发了基于数控系统原点偏移功能的加工误差实时补偿系统,实现了复杂工况下薄壁叶片加工误差的在机检测、自动建模与实时补偿。薄壁叶片铣削加工验证试验结果表明,在机测量-补偿加工后的薄壁叶片无论是弹性变形为主的背部还是塑性变形为主的前部,其加工误差均得到较好的抑制,有效提高了其加工精度。 展开更多
关键词 薄壁叶片 在机测量 误差建模 实时补偿 一体化制造
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立铣刀磨削加工的棒料装夹偏差补偿技术 被引量:1
12
作者 杨润强 高冬冬 唐文李 《工具技术》 北大核心 2024年第7期153-156,共4页
刀具棒料装夹偏差是影响刀具磨削精度不可忽视的重要因素。本文基于在机测量探测刀具棒料上各采样点位置的装夹偏差,建立了理论刀具刃线上点的偏差估算方法,在实际磨削加工时,将偏差值反向补偿至磨削轨迹,从而减小刀具的装夹偏差对刀具... 刀具棒料装夹偏差是影响刀具磨削精度不可忽视的重要因素。本文基于在机测量探测刀具棒料上各采样点位置的装夹偏差,建立了理论刀具刃线上点的偏差估算方法,在实际磨削加工时,将偏差值反向补偿至磨削轨迹,从而减小刀具的装夹偏差对刀具磨削精度的影响。通过试验磨削四刃平底刀和双刃球刀,在棒料装夹偏差较大的情况下,采用补偿的方式能够提高刀具外形磨削精度。 展开更多
关键词 立铣刀 装夹偏差 在机测量 磨削补偿
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直线加速器控制网测量跟踪仪测角误差标定
13
作者 张翼飞 董晓浩 +2 位作者 陈家华 孙小沛 刘芳芳 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期54-61,共8页
根据关键设备在直线加速器隧道内的布局,控制网布设在隧道地面和墙面。跟踪仪是直线加速器控制网测量的主要仪器,跟踪仪的测角误差是影响设备精度的关键因素。根据隧道墙面和地面网点的布局以及跟踪仪测量方案,对跟踪仪所有测量状态下... 根据关键设备在直线加速器隧道内的布局,控制网布设在隧道地面和墙面。跟踪仪是直线加速器控制网测量的主要仪器,跟踪仪的测角误差是影响设备精度的关键因素。根据隧道墙面和地面网点的布局以及跟踪仪测量方案,对跟踪仪所有测量状态下的水平角和垂直角进行分解;然后通过高精度三坐标测量仪和跟踪仪联动测试,对分解后的角度进行高精度求解,解算值用于修正跟踪仪的实测角度。结果表明,不管是哪种测量状态,跟踪仪实测角度值均大于解算值;地面网点垂直角和水平角的偏差与跟踪仪的标称精度基本相当;墙面点水平角超过15°时,测角误差随着角度的增加而增大,在隧道控制网测量时需要对墙面点水平角进行修正。 展开更多
关键词 直线型粒子加速器 控制网 跟踪仪 三坐标测量仪 测角误差
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基于在线测量的叶片误差变余量补偿研究
14
作者 杨银山 陈亮 +1 位作者 杨文彪 伍小连 《工具技术》 北大核心 2024年第12期152-159,共8页
叶片是航空发动机中重要的零部件,叶片的加工成型质量对发动机实际工作时的安全性和效率影响巨大。本文基于在线测量结果,得到加工后叶片整体误差值,根据误差结果设计变余量补偿,通过NURBS曲线补偿对叶片余量进行重构从而补偿加工误差,... 叶片是航空发动机中重要的零部件,叶片的加工成型质量对发动机实际工作时的安全性和效率影响巨大。本文基于在线测量结果,得到加工后叶片整体误差值,根据误差结果设计变余量补偿,通过NURBS曲线补偿对叶片余量进行重构从而补偿加工误差,然后通过对比实验分析补偿前后的加工效果。结果表明,补偿后有效改进了零件精度。在实验参数下,未经补偿的最大轮廓误差为0.057mm,经过补偿后轮廓误差为0.024mm,优化后的加工结果满足精度要求以及实际使用要求。 展开更多
关键词 叶片 在机测量 变余量 误差补偿
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三坐标测量机动态误差研究分析 被引量:22
15
作者 费业泰 赵静 +1 位作者 王宏涛 马修水 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期773-776,共4页
现代制造业的发展对三坐标测量机提出了更高的速度和精度要求。高速三坐标测量机已成为测量机发展的一个重要趋势,但测量机速度的提高使动态误差成为了影响测量机精度的主要因素。阐明了三坐标测量机动态误差的概念,分析了测量机的主要... 现代制造业的发展对三坐标测量机提出了更高的速度和精度要求。高速三坐标测量机已成为测量机发展的一个重要趋势,但测量机速度的提高使动态误差成为了影响测量机精度的主要因素。阐明了三坐标测量机动态误差的概念,分析了测量机的主要动态误差源,并对国内外各种减小动态误差影响的技术进行了较全面的分析。 展开更多
关键词 三坐标测量机 动态误差 误差补偿
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关节臂式坐标测量机角度传感器偏心参数辨识 被引量:26
16
作者 王文 林铿 +1 位作者 高贯斌 陈子辰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期135-141,共7页
对关节臂式坐标测量机中圆光栅角度传感器分度盘安装存在的偏心误差进行修正,可以有效提高测量机的测量精度。为了实现坐标测量机动态、实时的现场标校,建立了一种六自由度关节臂式坐标测量机的坐标系统,分析了圆光栅分度盘的安装偏心... 对关节臂式坐标测量机中圆光栅角度传感器分度盘安装存在的偏心误差进行修正,可以有效提高测量机的测量精度。为了实现坐标测量机动态、实时的现场标校,建立了一种六自由度关节臂式坐标测量机的坐标系统,分析了圆光栅分度盘的安装偏心对角度测量的影响,推导了由于偏心引起的测量误差及其修正公式。分析表明,较小的安装偏心便会引起较大的角度测量偏差。以测量机的单点重复测量精度为目标函数,提出了一种基于模拟退火算法的角度传感器偏心参数辨识方法,并将其用于测量机关节圆光栅12个偏心参数的辨识和修正,实验结果表明,修正之后测量机的重复测量精度提高了11.3%。 展开更多
关键词 关节臂式坐标测量机 角度传感器 偏心误差 参数辨识 误差修正
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基于步距规的坐标测量机的误差补偿方法 被引量:17
17
作者 位恒政 王为农 +1 位作者 裴丽梅 郑庆国 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2374-2380,共7页
数值误差补偿是提高三坐标测量机测量精度的经济而有效的手段。利用步距规在测量空间的不同位置与几何误差的数学关系,提出一种基于步距规的三坐标测量机的误差分析方法,得出三坐标测量机的定位误差、角摆误差、垂直度误差和直线度误差... 数值误差补偿是提高三坐标测量机测量精度的经济而有效的手段。利用步距规在测量空间的不同位置与几何误差的数学关系,提出一种基于步距规的三坐标测量机的误差分析方法,得出三坐标测量机的定位误差、角摆误差、垂直度误差和直线度误差,并在三坐标测量机上进行了误差补偿实验,验证了该方法的有效性。该方法对机床导轨的几何误差分析也同样适用。 展开更多
关键词 步距规 几何误差 误差补偿 三坐标测量机
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三坐标测量机动态误差补偿的研究 被引量:11
18
作者 宋开臣 张奕群 +1 位作者 李书和 张国雄 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期23-25,59,共4页
本文研究了三坐标测量机在高速测量过程中的动态误差。针对一移动桥式三坐标测量机,分析了其动态误差的产生原因,建立了动态误差的数学模型,对动态误差进行了全面的测量和补偿。实验证明动态误差具有一定的重复性,可用软件补偿,从... 本文研究了三坐标测量机在高速测量过程中的动态误差。针对一移动桥式三坐标测量机,分析了其动态误差的产生原因,建立了动态误差的数学模型,对动态误差进行了全面的测量和补偿。实验证明动态误差具有一定的重复性,可用软件补偿,从而提高三坐标测量机快速测量的精度。 展开更多
关键词 三坐标测量机 动态误差 误差补偿
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航空发动机叶片型面三坐标测量机测量技术 被引量:70
19
作者 蔺小军 单晨伟 +1 位作者 王增强 史耀耀 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2012年第1期125-131,共7页
针对叶片型面检测中的路径规划问题,提出了流道线测量路径,确定了流道线测量路径规划原则和方法。针对误差评定问题提出了根据叶型面轮廓度误差评定叶片型面精度的方法,测量点与叶片理论模型整体一次精确匹配,建立了匹配目标函数,给出... 针对叶片型面检测中的路径规划问题,提出了流道线测量路径,确定了流道线测量路径规划原则和方法。针对误差评定问题提出了根据叶型面轮廓度误差评定叶片型面精度的方法,测量点与叶片理论模型整体一次精确匹配,建立了匹配目标函数,给出了匹配方法。讨论了航空发动机叶片叶型公差,对测量机测量叶片坐标系的建立方法以及叶型面轮廓度误差、扭转误差、位置度误差的计算方法进行了研究。通过实例证明了该方法的实用性和有效性。 展开更多
关键词 叶片测量 面轮廓度 坐标测量机 匹配 流道线 航空发动机
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关节臂式坐标测量机测量力误差分析及补偿 被引量:24
20
作者 罗哉 刘晖 +1 位作者 田焜 李冬 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1159-1167,共9页
针对接触测量力对关节臂式坐标测量机(AACMM)测量精度的影响展开研究。对测量力引起的长度测量误差进行理论和实验分析,得到测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形是影响关节臂式坐标测量机测头精度的主要因素。建立了关节臂式坐标测... 针对接触测量力对关节臂式坐标测量机(AACMM)测量精度的影响展开研究。对测量力引起的长度测量误差进行理论和实验分析,得到测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形是影响关节臂式坐标测量机测头精度的主要因素。建立了关节臂式坐标测量机测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形的数学模型,并对测量结果进行了测量力误差补偿。实验结果研究表明,测量力引起的误差对接触式关节臂式坐标测量机测量精度影响很大。通过本研究成果,可在很大程度上补偿测量力引起的误差:平均长度测量误差降低82%左右,最大误差降低约47μm,有效地提高了关节臂式坐标测量机的测量精度。 展开更多
关键词 关节臂式坐标测量机 测量力 测杆弯曲变形 误差补偿
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