TFT用掩模版与TFT-LCD阵列工艺 被引量：13

1

作者 李文波 王刚 +4 位作者 张卓 胡望 刘宏宇 邵喜斌 徐征 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期522-526,559,共6页

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)产业经过20年的发展,其规模已经远远超出10年前的预想,技术发展也呈现出加速进步的趋势。各种新一代光刻技术的出现显著提升了掩模版的制作精度,对其市场价格也造成了不小的冲击。在TFT-LCD阵列基板制造方... 薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)产业经过20年的发展,其规模已经远远超出10年前的预想,技术发展也呈现出加速进步的趋势。各种新一代光刻技术的出现显著提升了掩模版的制作精度,对其市场价格也造成了不小的冲击。在TFT-LCD阵列基板制造方面,4掩模版光刻工艺技术逐渐成为当今主流,而3掩模版光刻工艺因其技术难度大、良品率低,目前还掌握在少数几家TFT-LCD厂商手中。通过对掩模版的国内外市场行情、技术进展以及掩模版数目与TFT-LCD阵列工艺的关系作全面的阐述,指出加强TFT-LCD掩模版等配套材料的自主研发、采用更加先进的制造技术是简化生产工艺、降低生产成本的有效手段,也是我国TFT-LCD产业下一步努力发展的方向。 展开更多

关键词 掩模版 薄膜晶体管液晶显示器 阵列工艺 技术进展 市场行情

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TFT-LCD表面缺陷检测中一维DFT方法中邻域r的自动选取 被引量：4

2

作者 张腾达 卢荣胜 党学明 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第21期2895-2901,共7页

在TFT-LCD平板表面缺陷检测中,为了自动获取一维DFT方法中的邻域r,首先将无缺陷的TFT-LCD平板表面图像的每一行经过预处理,再计算其灰度共生矩阵,然后提取灰度共生矩阵的均匀度,最后计算不同r时的均匀度差值。最大差值所对应的r就是最... 在TFT-LCD平板表面缺陷检测中,为了自动获取一维DFT方法中的邻域r,首先将无缺陷的TFT-LCD平板表面图像的每一行经过预处理,再计算其灰度共生矩阵,然后提取灰度共生矩阵的均匀度,最后计算不同r时的均匀度差值。最大差值所对应的r就是最佳邻域。搭建了TFT-LCD平板检测实验系统,实验对不同长度的非整周期、整周期、非整周期补整的图像进行处理。从获取的r可知,在相同环境下,非整周期补整后的r和整周期的r相同。将这一结果应用到实际缺陷检测中,系统可以准确地检测出缺陷。 展开更多

关键词 薄膜晶体管-液晶显示器 缺陷检测 灰度共生矩阵 一维离散傅里叶变换 邻域r

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运用改进的萤火虫算法求解TFT-LCD单元装配调度问题 被引量：2

3

作者 李瑞婷 叶春明 吴思思 《上海理工大学学报》 CAS 北大核心 2018年第6期525-533,共9页

针对薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)液晶板组装制造阶段(Cell)生产调度的复杂性,且在考虑了各种约束条件的前提下,以最小化工件最大完工时间和加权延迟最小为调度目标,建立了TFT-LCD单元装配作业调度数学模型。运用加入混沌搜索的萤火... 针对薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)液晶板组装制造阶段(Cell)生产调度的复杂性,且在考虑了各种约束条件的前提下,以最小化工件最大完工时间和加权延迟最小为调度目标,建立了TFT-LCD单元装配作业调度数学模型。运用加入混沌搜索的萤火虫算法解决作业车间调度问题,克服了标准萤火虫算法容易陷入局部最优、优化速度慢以及计算量大等困难,并与其他算法比较,仿真结果表明了改进的萤火虫算法求解TFT-LCD单元装配作业调度问题的合理性和优越性。最后,建立了具有学习效应和遗忘效应的TFT-LCD单元装配作业调度模型,分析了不同的学习因子和遗忘率对所求目标函数的影响。 展开更多

关键词 学习效应 遗忘效应 薄膜晶体管液晶显示器 混沌搜索 萤火虫算法

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基于Swin Transformer轻量化的TFT-LCD面板缺陷分类算法 被引量：5

4

作者 夏衍 罗晨 +1 位作者 周怡君 贾磊 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第22期3357-3370,共14页

在TFT-LCD面板缺陷检测中,检测对象背景复杂、缺陷细微且种类繁多,而工业生产实时性要求高,传统的缺陷分类算法往往难以兼顾精度和速度要求,无法适用于实际生产应用。为均衡TFT-LCD面板缺陷分类的准确率和速率,提出一种基于Swin Transfo... 在TFT-LCD面板缺陷检测中,检测对象背景复杂、缺陷细微且种类繁多,而工业生产实时性要求高,传统的缺陷分类算法往往难以兼顾精度和速度要求,无法适用于实际生产应用。为均衡TFT-LCD面板缺陷分类的准确率和速率,提出一种基于Swin Transformer的轻量化深度学习图像分类模型。首先对模型每层输入的特征图进行Token融合以减少模型计算量,从而提高模型的轻量化水平。其次引入深度可分离卷积模块以帮助模型增加卷积归纳偏置,从而缓解模型对海量数据的依赖问题。最后使用知识蒸馏方法来克服模型轻量化导致的检测精度下降问题。在自制TFT-LCD面板缺陷分类数据集上的实验表明,本文提出的改进模型相比基线模型,FLOPs计算量降低了2.6 G,速度指标提升了17%,而Top-1 Acc精度仅损失1.3%,且与其他图像分类主流模型相比,在自制数据集和公开数据集上都具有更均衡的精度和速度。 展开更多

关键词 tft-lcd TRANSFORMER 图像分类 计算机视觉

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基于改进显著性模型的TFT-LCD面板缺陷检测 被引量：6

5

作者 王宏硕 杨永跃 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2018年第7期29-35,共7页

在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)面板缺陷检测中,周期性的背景纹理和缺陷可用基于谱残差的显著性模型进行分离,但该模型对缺陷大小敏感。本研究对该模型进行改进,将其用于检测由面板图像二维离散傅里叶变换(DFT)获得的能量谱中的高能... 在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)面板缺陷检测中,周期性的背景纹理和缺陷可用基于谱残差的显著性模型进行分离,但该模型对缺陷大小敏感。本研究对该模型进行改进,将其用于检测由面板图像二维离散傅里叶变换(DFT)获得的能量谱中的高能量成分,并将该部分消除,再经过二维离散傅里叶逆变换(IDFT)对图像重构,达到去除空域图像周期性纹理和保留缺陷的目的。其中,模型的中均值滤波器窗口的大小、邻域的大小和能量谱中心高能量保护区域的大小可由处理后图像灰度共生矩阵的逆差矩确定。实验结果表明,在固定参数的条件下,改进后的模型对包含纤维、污渍和划痕的TFT-LCD面板缺陷均能正确检测,结果不受缺陷大小和灰度值以及面板周期性纹理方向的影响。 展开更多

关键词 薄膜晶体管液晶显示器 显著图 二维离散傅里叶变换 缺陷检测 周期性纹理

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废薄膜晶体管液晶显示器处理与管理 被引量：19

6

作者 郭玉文 刘景洋 +3 位作者 乔琦 梁继军 杨东梅 任倩 《环境工程技术学报》 CAS 2011年第2期168-172,共5页

总结了薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)主要部件材料组成及液晶环境毒性,分析了废LCD浸出毒性、循环利用途径及污染问题,概括了国内外废TFT-LCD处理技术和回收、管理相关政策,在此基础上提出相关处理与管理建议。

关键词 薄膜晶体管液晶显示器 处理 管理

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利用像素移动技术提高液晶光阀投影图像分辨率 被引量：2

7

作者 赵连军 张文明 刘恩海 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期864-872,共9页

为了提高薄膜场效应晶体管液晶显示器(TFT-LCD,以下简称液晶光阀)投影图像的分辨率,提出了一种利用压电陶瓷驱动的平台拖动液晶光阀做X、Y方向上的精确移动,实现液晶光阀像素移动的方法。介绍了液晶光阀硬件结构的特点,基于这些特点提... 为了提高薄膜场效应晶体管液晶显示器(TFT-LCD,以下简称液晶光阀)投影图像的分辨率,提出了一种利用压电陶瓷驱动的平台拖动液晶光阀做X、Y方向上的精确移动,实现液晶光阀像素移动的方法。介绍了液晶光阀硬件结构的特点,基于这些特点提出了利用像素移动技术提高投影图像分辨率的原理。根据计算得出X、Y方向精确位移运动的精度要求为10nm量级,进而选择了实现这样高精度运动的机械结构。提出了3种检测试验结果的方案,绘制了整体试验方案的结构框图。最后,搭建试验平台验证了试验原理的正确性和有效性。采用像素移动技术后,利用液晶光阀投影得到的图像的分辨率在X、Y方向上分别提高到原来的2倍,总像素个数为原来的4倍,突破了星模拟器的分辨率完全受限于显示器件分辨率的状况。 展开更多

关键词 像素移动 液晶光阀 压电平台 投影图像 分辨率

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可外购情境下的推拉结合式生产链协同规划 被引量：2

8

作者 邵志芳 韩景倜 龚武群 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2014年第4期936-944,共9页

为了使生产规划从单一工厂规划扩展到整条生产链的协同规划,使企业获得更大收益,研究了推式策略、拉式策略、推拉结合式生产策略下的生产链协同规划问题。以液晶面板生产为例,在生产链各阶段均允许外购的情境下,构建推拉结合式生产链协... 为了使生产规划从单一工厂规划扩展到整条生产链的协同规划,使企业获得更大收益,研究了推式策略、拉式策略、推拉结合式生产策略下的生产链协同规划问题。以液晶面板生产为例,在生产链各阶段均允许外购的情境下,构建推拉结合式生产链协同规划数学模型;同时,通过列阵—组立模型向下扩展到整个生产链、通过组立—模组模型向上扩展到整个生产链,可分别得到推式策略和拉式策略下的模型。该模型以总成本最小为目标函数,考虑存货平衡、需求与生产平衡、运输平衡、产能限制等条件。采用某液晶面板生产企业实际数据,对三种模型的取整方法和优化效果进行了对比分析。以推拉结合式生产策略按照结果取整法对模型进行验证,结果表明了模型的准确性和可用性。 展开更多

关键词 推拉结合式生产策略 生产链 协同规划 液晶面板

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基于目标级联法的薄膜晶体管液晶显示器生产链协同规划 被引量：2

9

作者 邵志芳 吴继兰 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2018年第8期2035-2044,共10页

针对生产链上的企业因分布在不同的地方而各自独立决策,难以取得整个生产链的协同效应,将目标级联法(ATC)应用到生产链的协同优化研究中,以薄膜晶体管液晶显示器产业为例,考虑了经典的成本约束、库存约束、运输约束等限制条件,设计了服... 针对生产链上的企业因分布在不同的地方而各自独立决策,难以取得整个生产链的协同效应,将目标级联法(ATC)应用到生产链的协同优化研究中,以薄膜晶体管液晶显示器产业为例,考虑了经典的成本约束、库存约束、运输约束等限制条件,设计了服从ATC建模思想的生产链协同规划三层级模型;同时建立了相同情境下的一体化模型,作为ATC求解效果的对比。最后,从结果正确性、时间复杂度、决策独立性和信息私有性4个角度对基于ATC的生产链协同规划研究进行评价,证明了ATC层次化建模方法解决生产链协同规划问题的优越性。 展开更多

关键词 目标级联法 生产链建模 协同规划 薄膜晶体管液晶显示器制造 一体化建模

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用于微型计算机的有源矩阵液晶显示器控制模块的设计

10

作者 关旭东 刘晓彦 +2 位作者 张荣添 翟霞云 韩汝琦 《北京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1995年第5期591-598,共8页

为了用ＴＦＴＡＭＬＣＤ作为微型计算机的监视器，根据目前ＴＦＴＡＭＬＣＤ屏的水平并基于ＣＧＡ的显示标准，设计了ＴＦＴＡＭＬＣＤ控制模块，该模块包括液晶显示控制器（ＬＣＤＣ）、编码电路、显存等几部分，它能够满足ＣＧＡ的所... 为了用ＴＦＴＡＭＬＣＤ作为微型计算机的监视器，根据目前ＴＦＴＡＭＬＣＤ屏的水平并基于ＣＧＡ的显示标准，设计了ＴＦＴＡＭＬＣＤ控制模块，该模块包括液晶显示控制器（ＬＣＤＣ）、编码电路、显存等几部分，它能够满足ＣＧＡ的所有标准，正确接收和支持ＣＰＵ指令，支持ＲＯＭ－ＢＩＯＳ例程；能够提供液晶显示组件所需的各种控制信号，尤其是与ＣＲＴ不同的信号。测试结果表明，利用所设计的控制模块能够用ＴＦＴＡＭＬＣＤ取代ＣＲＴ终端，实现ＣＧＡ方式的显示。 展开更多

关键词 薄膜晶体管 液晶显示器 微机 控制模块 AMLCD

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多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件的优化设计 被引量：2

11

作者 纪世阳 李牧菊 +1 位作者 王宗凯 杨柏梁 《液晶与显示》 CAS CSCD 2001年第3期203-208,共6页

针对多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件关态漏电流较大的问题 ,采用源漏轻掺杂结构以降低关态时电荷的泄漏 ,增加晶体管的开关电流比值。通过模拟轻掺杂区不同的物理参数 ,如掺杂浓度及掺杂区宽度等 ,研究薄膜晶体管的开关电流比值。由此确... 针对多晶硅薄膜晶体管液晶显示器件关态漏电流较大的问题 ,采用源漏轻掺杂结构以降低关态时电荷的泄漏 ,增加晶体管的开关电流比值。通过模拟轻掺杂区不同的物理参数 ,如掺杂浓度及掺杂区宽度等 ,研究薄膜晶体管的开关电流比值。由此确定像素各部分的尺寸 ,对液晶显示器件进行优化设计。 展开更多

关键词 液晶显示 多晶硅薄膜晶体管 优化设计 源漏轻掺杂液 关态漏电流

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用于液晶显示器的低温多晶硅玻璃基板的研究现状及发展趋势 被引量：6

12

作者 韩娜 石丽芬 +3 位作者 王萍萍 曹欣 刘灿 马立云 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第A02期130-133,共4页

目前,电子信息产品应用广泛,液晶显示器是电子产品的必备元件。低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器(LTPS TFTLCD)因具有解析度高、响应速度快、能耗低、画质高、性能高等优势而成为继非晶硅之后的新一代有源矩阵液晶显示器。由于LTPS高温... 目前,电子信息产品应用广泛,液晶显示器是电子产品的必备元件。低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器(LTPS TFTLCD)因具有解析度高、响应速度快、能耗低、画质高、性能高等优势而成为继非晶硅之后的新一代有源矩阵液晶显示器。由于LTPS高温制程要求玻璃基板具有较高的应变点和软化点,对玻璃的实际生产提出较大挑战。目前LTPS玻璃基板市场集中度很高,技术基本被国外厂商垄断。因此,开发具有自主知识产权的LTPS玻璃基板具有突破性的意义。本文详细介绍了LTPS TFT-LCD用玻璃基板的组成、性能及制备方法,指出了玻璃基板制备的工艺难点。归纳了玻璃基板的国内外研究现状,分析了玻璃基板的发展趋势及应用前景,为我国自主研发生产LTPS TFT-LCD用玻璃基板提供参考。 展开更多

关键词 玻璃基板 低温多晶硅 薄膜晶体管 液晶显示器

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分析TFT亮态漏电流影响因素的测试方法 被引量：1

13

作者 侯清娜 张新宇 +3 位作者 王峥 林鸿涛 冯兰 刘冬 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期628-633,共6页

对于薄膜晶体管液晶显示器来说,TFT的特性对产品的品质有很大的影响,而其亮态漏电流Ioff的影响尤为重要。为改善器件性能,需要深入分析TFT亮态漏电流的影响因素。本文在实验基础上提出一种测试方法,首先使用BM PR(Black Matrix Photo Re... 对于薄膜晶体管液晶显示器来说,TFT的特性对产品的品质有很大的影响,而其亮态漏电流Ioff的影响尤为重要。为改善器件性能,需要深入分析TFT亮态漏电流的影响因素。本文在实验基础上提出一种测试方法,首先使用BM PR(Black Matrix Photo Resist)对TFT沟道的不同位置进行遮挡;再对遮挡样品进行TFT特性测试。进而能模拟出实际工作中的TFT亮态漏电流,可以更加简便有效地优化TFT下方的栅极金属线宽,同时降低亮态漏电流。最后制作了54.6cm(21.5in)改善样品,通过新测试方法分析,将栅极金属线加宽约1.5μm,改善后样品的亮态漏电流从14.08pA降至约9.50pA。所以,使用新的测试方法无需将样品制作到模组后再进行品质评价,简单有效并降低了产品制造成本。 展开更多

关键词 薄膜晶体管液晶显示 TFT测试方法 亮态漏电流

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平板电脑类产品暗态均匀性影响因素的研究与改善 被引量：1

14

作者 姜勇勇 吴健 +6 位作者 郭栋 廖伟经 陈健 孙福坤 张志华 桂国友 何睿智 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2019年第11期1067-1072,共6页

在TFT-LCD工艺制作过程中,平板电脑产品一直存在暗态画面不均问题,对产品良率的影响较大,本文主要从产品设计、工艺参数调整、制程控制等方面进行研究,分析产品暗态均匀性的影响因素。研究表明,产品暗态均匀性主要受到暗态画面亮度和液... 在TFT-LCD工艺制作过程中,平板电脑产品一直存在暗态画面不均问题,对产品良率的影响较大,本文主要从产品设计、工艺参数调整、制程控制等方面进行研究,分析产品暗态均匀性的影响因素。研究表明,产品暗态均匀性主要受到暗态画面亮度和液晶显示器模组平坦度两个方面影响,暗态画面亮度越低,暗态均匀程度越好;液晶显示器模组平坦度平坦度越好,暗态均匀程度越好。结合实际生产,通过这两个方面的改善,探讨出一套暗态均匀性的管控改善方案,有效地管控了暗态均匀性的程度。 展开更多

关键词 薄膜晶体管液晶显示器 暗态均匀性 暗态亮度 平坦度 背光源

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氮化硅膜层对侧视角白画面色偏的影响及发红改善

15

作者 叶成枝 操彬彬 +8 位作者 吕艳明 马力 安晖 彭俊林 冯耀耀 杨增乾 栗芳芳 陆相晚 李恒滨 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期467-474,共8页

研究了TFT基板中氮化硅膜层对TFT-LCD终端产品侧视角白画面色偏的影响,填补了TFT膜层与TFT-LCD侧视角白画面色偏的研究欠缺,为类似的光学色度不良改善提供了有益的参考。通过大量的实验测试和仿真模拟,探索了氧化硅膜层厚度对侧视角白... 研究了TFT基板中氮化硅膜层对TFT-LCD终端产品侧视角白画面色偏的影响,填补了TFT膜层与TFT-LCD侧视角白画面色偏的研究欠缺,为类似的光学色度不良改善提供了有益的参考。通过大量的实验测试和仿真模拟,探索了氧化硅膜层厚度对侧视角白画面色偏的影响规律。结果表明,氮化硅膜层是一个影响色偏量和色偏方向的关键因素,其中栅极绝缘层(GI)和第一钝化绝缘层(PVX1)对色偏的影响较大,而第二钝化绝缘层(PVX2)对色偏的影响较小,氮化硅厚度与白画面侧视角色偏程度呈非线性相关。以某款HADS产品为例,其中氮化硅膜层包括栅极绝缘层(320nm)、第一钝化绝缘层(100 nm)和第二钝化绝缘层(200 nm)。基于单因子实验结果和模拟结果,综合考虑电学特性和产能影响,采用PVX1140 nm作为改善条件,对侧视角白画面发红改善有效,即宏观观察无发红现象且实测数据都满足产品规格。 展开更多

关键词 薄膜晶体管液晶显示器 氮化硅膜层 光学色度 侧视角色偏 全白画面

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