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热激励谐振式硅微结构压力传感器被引量：8: 1; 作者樊尚春《科学技术与工程》 2004年第5期426-429,共4页; 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ,简述了其工作机理 ;从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践。; 关键词热激励谐振式硅微结构压力传感器谐振式传感器优化设计闭环系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算: 2; 作者樊尚春邢维巍贾振宏《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z2期561-562,共2页; 针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构,利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算。分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度变化时;梁谐振子长度、宽度、厚度变化时;以及激、拾振电阻共... 展开更多; 关键词热激励谐振式传感器压力传感器硅微结构有限元法; 在线阅读下载PDF 职称材料

热激励硅谐振式压力传感器的研制被引量：3: 3; 作者高晓童崔大付 +2 位作者陈德勇王利王蕾《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2004年第4期1-2,共2页; 介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术,设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器,给出了制作的工艺过程和参数,测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率-压力特性及幅频特性,其灵敏度达到54 89Hz/kPa,Q值大于20000,0... 展开更多; 关键词谐振梁压力传感器多孔硅热激励牺牲层研制; 在线阅读下载PDF 职称材料