稀土超磁致伸缩薄膜的研究进展 被引量：1

1

作者 王伟 宓一鸣 +1 位作者 钱士强 周细应 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2007年第24期81-85,共5页

概述了薄膜的制备工艺以及提高低磁场磁致伸缩性能方面的研究进展,并展望了对超磁致伸缩薄膜的发展前景。

关键词 超磁致伸缩薄膜 磁控溅射 多层膜 交换耦合效应

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超磁致伸缩薄膜材料及其应用 被引量：18

2

作者 谢海涛 斯永敏 +1 位作者 杨德明 刘希从 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期266-270,共5页

超磁致伸缩薄膜是一种应用于微型机电系统及传感器的新型材料 ,它具有很高的机电耦合系数、较高的响应速度以及非接触式驱动等优点。对磁致伸缩薄膜的研究现状进行了综述 ,介绍了磁致伸缩薄膜的制备方法 ,性能特征及应用前景。

关键词 超磁致伸缩 薄膜 材料

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稀土超磁致伸缩材料的研究 被引量：13

3

作者 黎文献 余琨 +2 位作者 谭敦强 马正青 陈鼎 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2000年第3期64-67,共4页

以Tb Dy Fe合金系为主 ,对稀土超磁致伸缩材料的基本性能作了简要的介绍 ,并与其他磁、电致伸缩材料进行了对比。重点介绍了影响该系合金性能的主要因素和该类合金的制备方法 ,并叙述了超磁致伸缩材料研究的最新进展及进一步研究的方向。

关键词 超磁致伸缩材料 稀土 Td-Dy-Fe合金 制备方法

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薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状 被引量：9

4

作者 贾振元 武丹 +2 位作者 杨兴 郭东明 郭丽莎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第3期157-159,167,共4页

超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件 ,文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理 ,综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新研究成果 ,重点介绍了薄膜型超磁致伸缩微执行器在微流体控制系统、线性超声微马达及微小型行走机械... 超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件 ,文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理 ,综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新研究成果 ,重点介绍了薄膜型超磁致伸缩微执行器在微流体控制系统、线性超声微马达及微小型行走机械中的应用 ,并对超磁致伸缩薄膜在微执行器中的应用进行了展望。 展开更多

关键词 超磁致伸缩 微执行器 薄膜 微型机电系统

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TbDyFe超磁致伸缩薄膜的低场磁敏特性 被引量：9

5

作者 万红 李再轲 +1 位作者 邱轶 斯永敏 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期37-41,共5页

采用磁控溅射法制备了TbDyFe超磁致伸缩非晶薄膜,研究了真空热处理退火及软磁性Fe薄膜的交换耦合作用对TbDyFe超磁致伸缩的低场磁致伸缩性能的影响。研究结果表明:真空退火处理通过改善薄膜的微结构及应力状态,有效地提高薄膜了的低场... 采用磁控溅射法制备了TbDyFe超磁致伸缩非晶薄膜,研究了真空热处理退火及软磁性Fe薄膜的交换耦合作用对TbDyFe超磁致伸缩的低场磁致伸缩性能的影响。研究结果表明:真空退火处理通过改善薄膜的微结构及应力状态,有效地提高薄膜了的低场磁敏性能;易磁化方向平行于膜面的软磁Fe膜的复合,使薄膜平行于膜面的易磁化性能大大提高,复合薄膜的强制磁致伸缩系数(dλ/dH)提高3倍以上。单层薄膜厚度越小,交换作用越强,低场磁致伸缩性能越好;当薄膜厚度大于交互作用距离、薄膜的总厚度不变时,单层薄膜的厚度变化对复合薄膜的磁致伸缩性能没有影响。 展开更多

关键词 TbDyFe薄膜 超磁致伸缩 磁控溅射 磁性复合 真空热处理

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稀土超磁致伸缩材料高速强力电磁阀的研究 被引量：24

6

作者 吕福在 项占琴 +1 位作者 戚宗军 程耀东 《内燃机学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期199-202,共4页

研究了稀土超磁致伸缩材料 ( Tb0 .2 7Dy0 .73 ) Fe1.9(商品名为 Terfenol-D)用于内燃机高速强力电磁阀的机构设计方法 ;建立了基于 Terfenol-D棒的高速强力电磁阀的动态响应特性模型 ;应用 PID调节方法和变结构控制方法对电磁阀位移特... 研究了稀土超磁致伸缩材料 ( Tb0 .2 7Dy0 .73 ) Fe1.9(商品名为 Terfenol-D)用于内燃机高速强力电磁阀的机构设计方法 ;建立了基于 Terfenol-D棒的高速强力电磁阀的动态响应特性模型 ;应用 PID调节方法和变结构控制方法对电磁阀位移特性进行了控制 ,分别建立了控制模型 ,对两种模型进行了分析、比较。建立的控制模型对基于 展开更多

关键词 稀土超磁致伸缩材料 强力电磁阀 内燃机

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我国稀土超磁致伸缩材料的研究与应用现状 被引量：5

7

作者 何国 周寿增 +2 位作者 李建国 魏朋义 傅恒志 《材料导报》 EI CAS CSCD 1996年第5期12-17,共6页

概述了稀土超磁致伸缩材料的性能特点和应用领域,介绍了材料的制备方法和工艺特点,着重讨论了我国稀土超磁致伸缩材料成分、工艺的研究进展及应用现状。

关键词 稀土 超磁致伸缩材料 区熔

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用于超精密隔振的稀土超磁致伸缩致动器设计 被引量：10

8

作者 梅德庆 浦军 陈子辰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期766-769,共4页

介绍了超精密隔振平台的结构和振动控制原理 ,设计了稀土超磁致伸缩致动器作为驱动装置 ,并阐明致动器的结构和工作原理 ;分析了致动器工作磁场的组成及线圈轴向磁场的分布情况 ;研究了致动器振动控制的频率特性。实验表明所设计的稀土... 介绍了超精密隔振平台的结构和振动控制原理 ,设计了稀土超磁致伸缩致动器作为驱动装置 ,并阐明致动器的结构和工作原理 ;分析了致动器工作磁场的组成及线圈轴向磁场的分布情况 ;研究了致动器振动控制的频率特性。实验表明所设计的稀土超磁致伸缩致动器具有良好的振动控制效果。 展开更多

关键词 超磁致伸缩致动器 线圈 轴向磁场 频率特性 稀土 隔振 驱动装置 超精密 原理 平台

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稀土超磁致伸缩材料高速强力微位移机构的开发及动态响应特性研究 被引量：8

9

作者 吕福在 项占琴 +1 位作者 戚宗军 程耀东 《机械科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2001年第2期198-199,共2页

研究了稀土超磁致伸缩材料 (Tb0 .2 7Dy0 .73) Fe1 .9(商品名为 Terfenol- D)微位移机构的设计方法 ;建立了基于 Terfenol- D棒的高速强力电磁阀的动态响应特性模型 ,这一模型对基于 Terfenol- D的产品设计具有重要的参考价值 ,并用计... 研究了稀土超磁致伸缩材料 (Tb0 .2 7Dy0 .73) Fe1 .9(商品名为 Terfenol- D)微位移机构的设计方法 ;建立了基于 Terfenol- D棒的高速强力电磁阀的动态响应特性模型 ,这一模型对基于 Terfenol- D的产品设计具有重要的参考价值 ,并用计算机对这一模型进行了仿真 ,与实验结果进行了比较、分析。 展开更多

关键词 TERFENOL-D 微位移机构 动态响应特性 稀土超磁致伸缩材料

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基于稀土超磁致伸缩材料的微致动器设计 被引量：10

10

作者 余佩琼 梅德庆 陈子辰 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期105-108,共4页

选择 Terfenol- D作为微致动器主要材料 ,采用弹簧对 GMM棒施加一定的预压力以获得较大的磁致伸缩应变 ,采用偏置磁场消除 GMM棒的倍频现象并使之工作在线性段 ,对磁路进行了分析和优化设计。针对电磁线圈工作发热及涡流损耗引起的 GMM... 选择 Terfenol- D作为微致动器主要材料 ,采用弹簧对 GMM棒施加一定的预压力以获得较大的磁致伸缩应变 ,采用偏置磁场消除 GMM棒的倍频现象并使之工作在线性段 ,对磁路进行了分析和优化设计。针对电磁线圈工作发热及涡流损耗引起的 GMM棒温升 。 展开更多

关键词 稀土 超磁致伸缩材料 微致动器 设计 微机电系统技术

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稀土超磁致伸缩材料Tb_(0.3)Dy_(0.7)(Fe_(1-x)Al_x)_(1.95)的性能和穆斯堡尔谱研究 被引量：9

11

作者 郑小平 薛德胜 李发伸 《兰州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期31-35,共5页

通过室温下 Tb0 .3 Dy0 .7(Fe1-x Alx) 1.95(x=0 ,0 .0 5和 0 .10 )合金的晶体结构、磁致伸缩、电阻率、抗压强度和穆斯堡尔谱的调查 ,研究了金属 Al替代 Fe对磁性能、电性能、机械性能和自旋重取向的影响 .测量结果发现 ,对于 Tb0 .3 D... 通过室温下 Tb0 .3 Dy0 .7(Fe1-x Alx) 1.95(x=0 ,0 .0 5和 0 .10 )合金的晶体结构、磁致伸缩、电阻率、抗压强度和穆斯堡尔谱的调查 ,研究了金属 Al替代 Fe对磁性能、电性能、机械性能和自旋重取向的影响 .测量结果发现 ,对于 Tb0 .3 Dy0 .7(Fe1-x Alx) 1.95系统 ,金属 Al的引入对晶体结构没有影响 ,其仍然保持 Mg Cu2 型的立方 L aves相结构 ,晶格常数随 Al含量的增多而增大 ;随着 Al含量的增加 ,10 MPa压应力作用下的磁致伸缩在低场下 (H≤ 4 0 k A/ m)有小幅增加 ,高场下迅速减小 ,而且易趋于饱和 ,说明引入 Al有助于减小磁晶各向异性 ;电阻率随 Al含量的增加提高了 2～ 3倍 ;抗压强度接近于线性增大 ;平均超精细场随 Al含量 x的增加而降低 ,易磁化轴方向经历了[111]→ [u v0 ]→ [u u w]的转变 ,出现了自旋重取向 . 展开更多

关键词 立方Laves相 自重取向 磁晶各向异性 穆斯堡尔谱 稀土超磁致伸缩材料 电阻率 抗压强度

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超磁致伸缩薄膜悬臂梁静力学分析 被引量：3

12

作者 王福吉 刘巍 +2 位作者 贾振元 刘慧芳 赵显嵩 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期346-350,共5页

静力学特性是超磁致伸缩薄膜(giant magnetostrictive thin film,GMF)的重要特性,对其进行准确的分析是应用GMF的基础.结合材料力学的相关理论,求解了不同尺寸、不同基底材料GMF双层悬臂梁的中性轴和等效惯性矩;将双层GMF悬臂梁的磁致... 静力学特性是超磁致伸缩薄膜(giant magnetostrictive thin film,GMF)的重要特性,对其进行准确的分析是应用GMF的基础.结合材料力学的相关理论,求解了不同尺寸、不同基底材料GMF双层悬臂梁的中性轴和等效惯性矩;将双层GMF悬臂梁的磁致伸缩作用等效为分布弯矩作用,建立了静态磁致伸缩过程中薄膜悬臂梁的挠曲线方程.采用悬臂梁式GMF进行变形特性的实验研究,证实了挠曲线方程的正确性,同时表明磁致伸缩过程中薄膜的磁学量与力学量呈一定的线性关系,为动态磁致伸缩效应的进一步分析研究奠定了理论基础. 展开更多

关键词 超磁致伸缩薄膜 悬臂梁 挠曲线方程 静力学特性

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超磁致伸缩薄膜/光纤的制备及其磁探测性能 被引量：4

13

作者 刘吉延 斯永敏 +2 位作者 刘阳 李智忠 胡永明 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第10期18-21,共4页

采用磁控溅射工艺在光纤表面制备了厚度均匀的TbDyFe超磁致伸缩薄膜。利用马赫 曾德尔干涉仪对TbDyFe超磁致伸缩薄膜/光纤传感器的磁探测性能进行了实验测试。结果表明:在调制频率f=1kHz附近,传感器对磁场具有最大的信号响应;在恒定直... 采用磁控溅射工艺在光纤表面制备了厚度均匀的TbDyFe超磁致伸缩薄膜。利用马赫 曾德尔干涉仪对TbDyFe超磁致伸缩薄膜/光纤传感器的磁探测性能进行了实验测试。结果表明:在调制频率f=1kHz附近,传感器对磁场具有最大的信号响应;在恒定直流磁场及调制磁场强度小于1kA/m的条件下,输出信号大小随调制磁场强度线性增加;在35～50kA/m的直流磁场范围内,传感器(对应1m长传感臂)可探测的最小磁场变化Hmin=8.6×10-2A/m,若采用分辨力为10-6rad的干涉仪并增加镀膜光纤的长度和薄膜厚度,则可进一步提高传感器的磁探测灵敏度。 展开更多

关键词 磁控溅射 光纤传感器 超磁致伸缩薄膜 马赫-曾德尔干涉仪

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稀土超磁致伸缩材料微位移机构综合实验研究 被引量：4

14

作者 吕福在 项占琴 程耀东 《工程设计学报》 CSCD 2000年第2期41-44,共4页

研究了稀土超磁致伸缩材料 (Tb0 .2 7Dy0 .73)Fe1 .9(商品名为Terfenol D)微位移机构的设计方法 ;建立了基于Terfenol D棒的高速强力微位移机构的动态响应特性模型 ;对该模型进行了计算机仿真 ,并与实验结果进行了比较、分析 ;给出了该... 研究了稀土超磁致伸缩材料 (Tb0 .2 7Dy0 .73)Fe1 .9(商品名为Terfenol D)微位移机构的设计方法 ;建立了基于Terfenol D棒的高速强力微位移机构的动态响应特性模型 ;对该模型进行了计算机仿真 ,并与实验结果进行了比较、分析 ;给出了该机构的力特性、热特性。这些对基于Terfenol 展开更多

关键词 微位移机构 动态响应特性 稀土超磁致伸缩材料

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超磁致伸缩薄膜转换器及其在微流体元件中的应用 被引量：3

15

作者 王传礼 丁凡 张凯军 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期72-75,共4页

在介绍超磁致伸缩材料特性的基础上 ,分析了超磁致伸缩薄膜转换器的结构原理和性能特点 ,着重阐述了超磁致伸缩薄膜转换器在微流体元件 (如微流体泵和阀等 )中的应用并总结了超磁致伸缩薄膜微转换器的最新研究成果及应用研究现状。分析... 在介绍超磁致伸缩材料特性的基础上 ,分析了超磁致伸缩薄膜转换器的结构原理和性能特点 ,着重阐述了超磁致伸缩薄膜转换器在微流体元件 (如微流体泵和阀等 )中的应用并总结了超磁致伸缩薄膜微转换器的最新研究成果及应用研究现状。分析结果表明 :该类材料具有磁致伸缩应变大 ,非接触驱动 ,结构简单 ,响应快和精度高等优点 ,它的出现为微流体元件的驱动提供了一个更新更有效的方法 ,具有良好的应用前景。 展开更多

关键词 超磁致伸缩薄膜转换器 微流体元件 微流体泵 微执行器 微机电系统

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稀土超磁致伸缩驱动器激励线圈设计与仿真 被引量：6

16

作者 闫洪波 高鸿 +2 位作者 郝宏波 张瞻 庄福禄 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2019年第10期1569-1575,共7页

激励线圈作为电磁转换构件,主要为GMA提供驱动磁场,调节输入电流大小并控制其输出位移。因此,优化设计激励线圈结构参数、材料选取是提高电磁转换效率和充分发挥GMM特性的关键因素。通过分析GMA的工作原理,将GMM棒中轴线上的磁场强度均... 激励线圈作为电磁转换构件,主要为GMA提供驱动磁场,调节输入电流大小并控制其输出位移。因此,优化设计激励线圈结构参数、材料选取是提高电磁转换效率和充分发挥GMM特性的关键因素。通过分析GMA的工作原理,将GMM棒中轴线上的磁场强度均匀性作为评价标准和主要设计原则;分析其磁导率选取合适的激励线圈材料并对磁场强度、热损失等重要影响因素进行综合考虑,对激励线圈参数进行优化设计;使用Ansoft Maxwell仿真分析激励线圈的磁路。结果表明磁场分布更均匀,使均匀度提高到98.65%。 展开更多

关键词 稀土超磁致伸缩驱动器 激励线圈 磁场强度均匀性 ANSOFT Maxwell仿真分析

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超磁致伸缩薄膜磁致伸缩耦合机理的有限元分析 被引量：1

17

作者 王福吉 贾振元 +2 位作者 刘巍 张永顺 郭东明 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第18期1654-1658,共5页

从微观能量角度分析了超磁致伸缩薄膜的磁致伸缩机理,建立了超磁致伸缩薄膜的非线性强磁—机械耦合模型。设计了简支梁式超磁致伸缩薄膜的驱动磁场并对其进行实验研究。通过Ansys有限元分析软件对简支梁式超磁致伸缩薄膜驱动模型进行了... 从微观能量角度分析了超磁致伸缩薄膜的磁致伸缩机理,建立了超磁致伸缩薄膜的非线性强磁—机械耦合模型。设计了简支梁式超磁致伸缩薄膜的驱动磁场并对其进行实验研究。通过Ansys有限元分析软件对简支梁式超磁致伸缩薄膜驱动模型进行了模拟分析,最终得到的薄膜的内部磁场分布结构及固有频率。结果表明,采用椭圆积分法得到薄膜内部磁场分布的数学模拟计算结果与有限元仿真结果基本一致。 展开更多

关键词 超磁致伸缩 薄膜 耦合模型 模拟计算

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稀土超磁致伸缩材料的应用 被引量：32

18

作者 朱厚卿 《应用声学》 CSCD 北大核心 1998年第5期3-10,共8页

本文重点介绍稀土超磁致伸缩材料在声学方面，特别是在水声换能器方面的应用。

关键词 超磁致伸缩材料 水声换能器 执行器 稀土铁合金

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超磁致伸缩双面薄膜的动态驱动模型 被引量：1

19

作者 张永顺 许良 +1 位作者 张林燕 贾振元 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1773-1777,共5页

提出了一种悬臂梁结构磁致伸缩双面薄膜动态驱动模型.以磁致伸缩双面薄膜复合梁的等效形变为基础,将磁致伸缩驱动应力转换为外等效扰动力矩,依据受迫振动理论来研究磁致伸缩薄膜的动态特性.试验结果表明,修正后的模型可以描述双面磁致... 提出了一种悬臂梁结构磁致伸缩双面薄膜动态驱动模型.以磁致伸缩双面薄膜复合梁的等效形变为基础,将磁致伸缩驱动应力转换为外等效扰动力矩,依据受迫振动理论来研究磁致伸缩薄膜的动态特性.试验结果表明,修正后的模型可以描述双面磁致伸缩薄膜在同一驱动频率下的动态特性. 展开更多

关键词 超磁致伸缩双面薄膜 等效扰动力矩 动态驱动模型 动态特性

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超磁致伸缩薄膜耦合特性驱动磁场的设计方法 被引量：1

20

作者 王福吉 周白杨 +1 位作者 刘巍 全芳瑶 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期90-93,共4页

针对超磁致伸缩薄膜对驱动磁场的要求,设计了一种能产生高均匀度、高强度磁场的赫姆霍茨线圈,并对该线圈的尺寸结构进行了优化设计,同时对磁场轴向和径向的均匀度进行了理论计算和ANSYS仿真。实验验证了该线圈提供的驱动磁场具有很高的... 针对超磁致伸缩薄膜对驱动磁场的要求,设计了一种能产生高均匀度、高强度磁场的赫姆霍茨线圈,并对该线圈的尺寸结构进行了优化设计,同时对磁场轴向和径向的均匀度进行了理论计算和ANSYS仿真。实验验证了该线圈提供的驱动磁场具有很高的均匀度和足够的强度。在此基础上进一步探索性地研究了薄膜内部磁场的动态特性。 展开更多

关键词 超磁致伸缩薄膜 赫姆霍茨线圈 驱动磁场 动态响应

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