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题名面形误差对亚波长金属光栅偏振器性能的影响
被引量：7
- 1
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作者
孟凡涛
褚金奎
韩志涛
郭庆
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机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期951-955,共5页
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基金
973国家重点基础研究与发展计划(2006CB00407)
国家自然科学基金(50775017)
新世纪优秀人才基金(NCET-04-0266)资助
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文摘
基于严格耦合波理论分析了光栅面形误差对亚波长金属光栅偏振器偏振性能的影响.通过对数值结果的分析发现,光栅圆角误差、光栅侧壁倾斜误差和光栅表面粗糙误差对光栅的TM透射效率影响不大,但它们使得光栅的消光比明显降低.因此,面形误差使得光栅的偏振性能明显降低.理论分析表明,顶角为直角、侧壁垂直和表面光滑的理想矩形光栅结构的偏振性能最好.
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关键词
亚波长光栅
亚波长金属光栅偏振器
面形误差
严格耦合波理论
tm透射效率
消光比
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Keywords
Sub wavelength grating
Sub-wavelength wire-grid polarizer
Grating profile
RCWT
tm transmission efficiency
Extinction ratio
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分类号
O436.3
[机械工程—光学工程]
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题名亚波长金属光栅偏振器制备技术研究
被引量：3
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作者
杨江涛
王健安
王银
胡啸
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机构
太原科技大学电子信息工程学院
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出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2021年第1期8-12,共5页
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基金
国家自然科学基金青年基金(61905172)
博士科研启动基金项目(20192015)
来晋优秀博士奖励资金项目(20192068)。
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文摘
亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊特性,采用严格耦合波法设计并制作了一种柔性双层金属光栅偏振器,通过纳米压印技术在方形的PC(Polycarbonate,聚碳酸酯)上制备了周期为278 nm,深度为110 nm,占空比为0.5的亚波长光栅,通过磁控溅射技术在制作的介质光栅上沉积了70 nm的金属铝层,制作了具有双层金属结构的柔性双层金属光栅偏振器,并用光谱测试系统进行了简单的性能测试。实验结果表明,当入射光波长范围在350~800 nm时,制作的柔性双层光栅偏振器偏振特性优良,且具有非常高的透过率和消光比,分别高达48%和100000。该制作工艺只由纳米压印和金属蒸镀完成,省去了复杂的涂胶、剥离及刻蚀,因此在大批量生产偏振器方面具有很明显的优势,可普遍用于光探测器件、光电开光等半导体光电子器件的制作过程。
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关键词
柔性
光栅偏振器
tm透射效率
消光比
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Keywords
flexible
wire-grid polarizer
tm transmission efficiency
extinction ratio
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分类号
TH706
[机械工程—精密仪器及机械]
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