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表面测量的差动电容传感器研究
被引量：
6
1
作者
刘建锋
袁赣南
甘兴利
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z2期1650-1652,1655,共4页
根据差动电容传感器测量微位移的原理和变压器电桥所具有的其变比为实数且稳定性高、变比精度高、灵敏度高及工作频率范围比较宽的特点,本文提出将差动电容传感器与变压器电桥相结合来测量转子表面的方案并给出各参数之问的关系;分析了...
根据差动电容传感器测量微位移的原理和变压器电桥所具有的其变比为实数且稳定性高、变比精度高、灵敏度高及工作频率范围比较宽的特点,本文提出将差动电容传感器与变压器电桥相结合来测量转子表面的方案并给出各参数之问的关系;分析了影响传感器测量精度的因素。
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关键词
表面测量
差动电容式位移传感器
二维旋转台
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职称材料
题名
表面测量的差动电容传感器研究
被引量：
6
1
作者
刘建锋
袁赣南
甘兴利
机构
哈尔滨工程大学自动化学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z2期1650-1652,1655,共4页
文摘
根据差动电容传感器测量微位移的原理和变压器电桥所具有的其变比为实数且稳定性高、变比精度高、灵敏度高及工作频率范围比较宽的特点,本文提出将差动电容传感器与变压器电桥相结合来测量转子表面的方案并给出各参数之问的关系;分析了影响传感器测量精度的因素。
关键词
表面测量
差动电容式位移传感器
二维旋转台
Keywords
surface measurement differential capacitance sensors two-dimensional rotary platform
分类号
TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
表面测量的差动电容传感器研究
刘建锋
袁赣南
甘兴利
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
6
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