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雾化喷嘴均匀性测量电容传感器 被引量:2
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作者 林明星 李倩 查蔓莉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期117-118,共2页
结合雾化喷嘴均匀性测量的特点 ,设计了测量用的电容传感器及其检测线路。实验结果表明 。
关键词 雾化喷嘴 电容传感器 均匀性测试
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超精密气浮式电容传感器系统 被引量:1
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作者 戴一帆 王新峰 吴宇列 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第5期91-94,共4页
介绍了一种高精度、高分辨率的超精密气浮式电容传感器。该系统将具有方形导轨的气浮测头和超小型电容传感器结合在一起,既保证了测头的高分辨率,又体现了电容传感器的高精度、高频响的特点。
关键词 电容传感器 气浮式 超精密加工 微位移测量
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