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软X射线多层反射膜的一种新型设计方法 被引量:4
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作者 柯常军 王占山 +2 位作者 张铁强 曹健林 陈星旦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第2期17-20,共4页
在循环递推法基础上加入随机数运算,得到一种简易、精度高、有较高实用价值的多层发射膜设计方法。给出了设计步骤,进行了一系列多层膜设计。通过比较,这种方法与复振幅平面法所得结果非常接近,甚至有的多层膜的设计结果更好。
关键词 x射线 多层膜 随机数 设计方法 光学元件
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宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计 被引量:4
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作者 柯常军 王占山 +3 位作者 郑咏梅 张铁强 曹健林 陈星旦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第3期19-22,共4页
提出一种宽带平坦型软X射线多层反射膜的设计方法。给出了18nm20nm波段的设计结果,整个波段的反射率与25%的最大偏差小于1.5%。这种方法对于软X射线波段的成像、光谱分析等应用有重要意义。
关键词 平坦 x射线多层膜 随机数 评价函数
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提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟 被引量:3
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作者 柯常军 王占山 +2 位作者 张铁强 曹健林 陈星旦 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期23-26,共4页
在周期多层膜基础上,采用随机数方法找到适当的非周期膜系,极大地提高了反射光通量,并给出了整体设计步骤。模拟计算结果表明非周期多层膜能扩展带宽和提高反射率积分值。在12.4~20.1nm波段内,最佳非周期多层膜与峰值在... 在周期多层膜基础上,采用随机数方法找到适当的非周期膜系,极大地提高了反射光通量,并给出了整体设计步骤。模拟计算结果表明非周期多层膜能扩展带宽和提高反射率积分值。在12.4~20.1nm波段内,最佳非周期多层膜与峰值在中心波长λ=16.25nm处的周期多层膜相比,理论积分反射率提高了75%。 展开更多
关键词 非周期 多层膜 x射线 随机数 积分反射率
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