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溶胶凝胶法制备SnO_2:Sb膜的光学电学性能
被引量：
6
1
作者
史金涛
赵高凌
+1 位作者
杜丕一
韩高荣
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期5-9,共5页
以金属无机盐SnCl2 ·2H2 O和SbCl3 为原料 ,用溶胶凝胶浸渍法制备掺锑SnO2 透明导电薄膜 ,并对其电学参数(如方块电阻、霍尔迁移率、载流子浓度和类型 )和光学参数 (如透射反射率、光学能隙 )进行测试分析。XPS分析确定薄膜中掺杂...
以金属无机盐SnCl2 ·2H2 O和SbCl3 为原料 ,用溶胶凝胶浸渍法制备掺锑SnO2 透明导电薄膜 ,并对其电学参数(如方块电阻、霍尔迁移率、载流子浓度和类型 )和光学参数 (如透射反射率、光学能隙 )进行测试分析。XPS分析确定薄膜中掺杂锑离子主要以Sb5+ 形式存在。薄膜的方块电阻最低可达 85Ω/□ ,霍尔迁移率在 2 .5～ 3.6cm2 V-1s-1,膜厚约1μm时可见光透射率约为 85 % ,反射率低于 15 %。
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关键词
溶胶凝胶
sno
2
:Sb
透明导电膜
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职称材料
题名
溶胶凝胶法制备SnO_2:Sb膜的光学电学性能
被引量：
6
1
作者
史金涛
赵高凌
杜丕一
韩高荣
机构
浙江大学硅材料国家重点实验室
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期5-9,共5页
基金
国家自然科学基金项目 ( 5 9872 0 2 9)
教育部跨世纪人才计划 (教技函 [2 0 0 0 ] 1号 )
文摘
以金属无机盐SnCl2 ·2H2 O和SbCl3 为原料 ,用溶胶凝胶浸渍法制备掺锑SnO2 透明导电薄膜 ,并对其电学参数(如方块电阻、霍尔迁移率、载流子浓度和类型 )和光学参数 (如透射反射率、光学能隙 )进行测试分析。XPS分析确定薄膜中掺杂锑离子主要以Sb5+ 形式存在。薄膜的方块电阻最低可达 85Ω/□ ,霍尔迁移率在 2 .5～ 3.6cm2 V-1s-1,膜厚约1μm时可见光透射率约为 85 % ,反射率低于 15 %。
关键词
溶胶凝胶
sno
2
:Sb
透明导电膜
Keywords
sol gel
sno
2
:Sb
transparent and
conductive
film
分类号
TK511.4 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
溶胶凝胶法制备SnO_2:Sb膜的光学电学性能
史金涛
赵高凌
杜丕一
韩高荣
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
6
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