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SnO_2薄膜的溶胶-凝胶制备及气敏性能的研究 被引量:5
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作者 林殷茵 杨合情 +1 位作者 张良莹 姚熹 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期186-189,共4页
采用非醇盐溶胶-凝胶工艺制得纳米微晶SnO2多孔薄膜,该法易于实现SnO2与多种添加剂的均匀掺杂。通过调整薄膜的微观结构使薄膜对C2H5OH和CO在最佳工作温度的灵敏度比调整前分别提高了3倍和14倍。
关键词 薄膜 溶胶-凝胶 气敏材料 纳米微晶 二氧化锡
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溶胶-凝胶法制备SnO_2气敏薄膜的研究 被引量:5
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作者 刘威 曹立礼 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期56-59,共4页
以SnCl2 ·2H2 O及乙醇为原料 ,利用溶胶 -凝胶法制备SnO2 纳米薄膜 .探讨了制膜的工艺条件 ,用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质 ,同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与... 以SnCl2 ·2H2 O及乙醇为原料 ,利用溶胶 -凝胶法制备SnO2 纳米薄膜 .探讨了制膜的工艺条件 ,用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质 ,同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系 . 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 传感器 二氧化锡 气敏薄膜
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