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薄膜厚度系统的类前馈解耦PID控制
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作者 隆媛媛 蒋品群 +1 位作者 李廷会 李杨帆 《现代电子技术》 2010年第17期177-179,183,共4页
薄膜厚度控制系统是一个复杂的多变量耦合系统。利用相对增益矩阵对其进行了耦合性分析,并采用多变量类前馈解耦与PID控制相结合的方法,实现了系统的完全动态解耦控制。仿真结果表明,本解耦控制具有不改变主控制通道特性、控制效果好的... 薄膜厚度控制系统是一个复杂的多变量耦合系统。利用相对增益矩阵对其进行了耦合性分析,并采用多变量类前馈解耦与PID控制相结合的方法,实现了系统的完全动态解耦控制。仿真结果表明,本解耦控制具有不改变主控制通道特性、控制效果好的优点,具有较大的应用价值。 展开更多
关键词 薄膜厚度系统 类前馈解耦 PID控制 多变量耦合
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磁液双悬浮轴承单自由度支承系统解耦控制研究 被引量:1
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作者 赵建华 张国基 +2 位作者 曹俊波 高殿荣 杜国君 《机床与液压》 北大核心 2020年第18期1-8,共8页
磁液双悬浮轴承是以电磁悬浮为主,静压为辅的一种新型支承轴承,能够大幅度提高承载能力及刚度,适于中速重载的场合。由于液体静压系统特性为小间隙、强阻尼、正刚度、斥力型,而电磁悬浮系统特性为大气隙、弱阻尼、负刚度、吸力型,且两... 磁液双悬浮轴承是以电磁悬浮为主,静压为辅的一种新型支承轴承,能够大幅度提高承载能力及刚度,适于中速重载的场合。由于液体静压系统特性为小间隙、强阻尼、正刚度、斥力型,而电磁悬浮系统特性为大气隙、弱阻尼、负刚度、吸力型,且两系统共同支承时相互耦合,互为干扰,大幅降低了支承系统的运行稳定性,因此本文拟研究磁液双悬浮轴承单自由度磁液两支承系统之间的耦合特性,揭示其耦合力的产生机理并设计解耦控制器。首先,本文介绍了磁液双悬浮轴承的结构特点、单自由度支承系统的受力形式以及控制调节机理。然后,建立了磁液双悬浮轴承单自由度支承系统的数学传递函数,揭示磁液两支承系统之间的耦合特征及影响规律。最后,设计了类前馈解耦控制器及对角阵解耦控制器,并通过SimuOnd模块对比分析了两种解耦控制器的解耦效果。研究表明:两种解耦控制器均能够有效减小单自由度磁液两支承系统间的耦合程度,但类前馈解耦控制器比对角阵解耦控制器具有更好的稳定性、准确性,更适用于磁液双悬浮轴承单自由度磁液两支承系统的解耦控制。本论文能够为磁液双悬浮系统的稳定控制提供理论参考。 展开更多
关键词 磁液双悬浮轴承 单自由度支承系统 力解耦控制 类前馈解耦控制器 对角阵解耦控制器
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