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硅微机械传感器的技术特点及发展趋势
被引量：
8
1
作者
刘月明
刘君华
张少君
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第2期1-3,20,共4页
基于硅微机械传感器的技术特点 ,分析了这类传感器的发展趋势 。
关键词
硅
微机械
传感器
技术特点
发展趋势
微型化
在线阅读
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职称材料
题名
硅微机械传感器的技术特点及发展趋势
被引量：
8
1
作者
刘月明
刘君华
张少君
机构
西安交通大学
西安理工大学
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第2期1-3,20,共4页
基金
国家自然基金资助项目! (697760 37)
文摘
基于硅微机械传感器的技术特点 ,分析了这类传感器的发展趋势 。
关键词
硅
微机械
传感器
技术特点
发展趋势
微型化
Keywords
silicon
,
micromachined
,
sensors
,
technical features
,
developing trends
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH－39 [机械工程]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅微机械传感器的技术特点及发展趋势
刘月明
刘君华
张少君
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000
8
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职称材料
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