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化学腐蚀法制造硅微透镜列阵的实验研究
被引量：
2
1
作者
朱维安
黄友恕
+1 位作者
钟先信
秦邻
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1998年第2期64-70,共7页
采用ＫＯＨ：Ｈ２Ｏ的湿法化学腐蚀Ｓｉ｛１００｝晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜，透镜直径可从几个微米到几个毫米，焦距和孔径之比ｆ／Ｄ可以从２．５到１０以上。文章给出了微透镜及列阵的实验测试结果和若干显微照片，对其...
采用ＫＯＨ：Ｈ２Ｏ的湿法化学腐蚀Ｓｉ｛１００｝晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜，透镜直径可从几个微米到几个毫米，焦距和孔径之比ｆ／Ｄ可以从２．５到１０以上。文章给出了微透镜及列阵的实验测试结果和若干显微照片，对其设计与制造建立了半经验理论模型。最后，对球面的形成原理及异常焦斑形状作了讨论。
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关键词
硅微透镜
微机械
微光学
短程透镜
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职称材料
题名
化学腐蚀法制造硅微透镜列阵的实验研究
被引量：
2
1
作者
朱维安
黄友恕
钟先信
秦邻
机构
重庆大学光机系
电子工业部
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1998年第2期64-70,共7页
文摘
采用ＫＯＨ：Ｈ２Ｏ的湿法化学腐蚀Ｓｉ｛１００｝晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜，透镜直径可从几个微米到几个毫米，焦距和孔径之比ｆ／Ｄ可以从２．５到１０以上。文章给出了微透镜及列阵的实验测试结果和若干显微照片，对其设计与制造建立了半经验理论模型。最后，对球面的形成原理及异常焦斑形状作了讨论。
关键词
硅微透镜
微机械
微光学
短程透镜
Keywords
silicon micromirror
,
micromaching
,
microoptics
,
geodesic lenses
分类号
TH74－39 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
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1
化学腐蚀法制造硅微透镜列阵的实验研究
朱维安
黄友恕
钟先信
秦邻
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1998
2
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