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SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁谐振式压力传感器结构设计与分析
1
作者
李新
薛阳
李春风
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2015年第8期13-15,共3页
提出了一种采用SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构的谐振式压力传感器。采用有限元分析技术分别对谐振梁和传感器芯片结构进行了电热分析、模态分析以及谐响应分析,最后对SiO2-Si3N4-SiO2复合梁谐振式压力传感器的工艺进行了探讨,表明通过...
提出了一种采用SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构的谐振式压力传感器。采用有限元分析技术分别对谐振梁和传感器芯片结构进行了电热分析、模态分析以及谐响应分析,最后对SiO2-Si3N4-SiO2复合梁谐振式压力传感器的工艺进行了探讨,表明通过多晶硅牺牲层技术能更好地得到Si O2-Si3N4-Si O2复合谐振梁,具有良好的选频特性。
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关键词
有限元
sio
2
-si
3
n
4
-sio
2
复合梁
压力传感器
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职称材料
题名
SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁谐振式压力传感器结构设计与分析
1
作者
李新
薛阳
李春风
机构
沈阳工业大学
沈阳通美电器有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2015年第8期13-15,共3页
基金
辽宁省自然基金资助项目(20102162)
文摘
提出了一种采用SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构的谐振式压力传感器。采用有限元分析技术分别对谐振梁和传感器芯片结构进行了电热分析、模态分析以及谐响应分析,最后对SiO2-Si3N4-SiO2复合梁谐振式压力传感器的工艺进行了探讨,表明通过多晶硅牺牲层技术能更好地得到Si O2-Si3N4-Si O2复合谐振梁,具有良好的选频特性。
关键词
有限元
sio
2
-si
3
n
4
-sio
2
复合梁
压力传感器
Keywords
fi
n
ite eleme
n
t
sio2-si3 n4-sio2 composite beam
pressure se
n
sor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁谐振式压力传感器结构设计与分析
李新
薛阳
李春风
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2015
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