检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

肖特基势垒二极管SiO_2-Si_3N_4复合钝化膜研究被引量：1: 1; 作者石霞孙俊峰顾晓春《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期344-348,共5页; 对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以... 展开更多; 关键词 sio2-si3N4复合介质膜钝化技术漏电流应力增密; 在线阅读下载PDF 职称材料

SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁谐振式压力传感器结构设计与分析: 2; 作者李新薛阳李春风《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第8期13-15,共3页; 提出了一种采用SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构的谐振式压力传感器。采用有限元分析技术分别对谐振梁和传感器芯片结构进行了电热分析、模态分析以及谐响应分析,最后对SiO2-Si3N4-SiO2复合梁谐振式压力传感器的工艺进行了探讨,表明通过... 展开更多; 关键词有限元 sio2-si3 N4-sio2复合梁压力传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

SiO_2/(Si_3N_4+BN)透波材料表面涂层的防潮性能和透波性能研究被引量：11: 3; 作者李俊生张长瑞 +2 位作者王思青曹峰王衍飞《涂料工业》 CAS CSCD 2007年第1期5-7,10,共4页; SiO2／（Si3N4＋BN）复合材料是近几年发展起来的综合性能优良的适用于高马赫数的导弹天线罩材料。本文分析了SiO2／（Si3N4＋BN）复合材料的吸潮机理。采用有机硅树脂在SiO2／（Si3N4＋BN）复合材料表面制备了防潮涂层，取得较好的防... 展开更多; 关键词 sio2/(Si3N4+BN) 透波率防潮涂层吸水率; 在线阅读下载PDF 职称材料

CaCl_2熔盐中电解高钛渣/SiO_2复合阴极制备Ti_5Si_3的研究被引量：2: 4; 作者况文浩华一新 +4 位作者徐存英李坚李艳张臻高小兵《有色金属（冶炼部分）》 CAS 北大核心 2017年第7期52-57,共6页; 采用FFC熔盐电解法,在900℃和2.6~3.2V槽电压的条件下,以CaCl2熔盐为电解质电解还原高钛渣/SiO_2复合阴极,成功制备出了Ti_5Si_3合金。通过热力学计算和单因素条件试验探讨了电解时间和槽电压对电解产物的影响。结果表明,在初始阶段反... 展开更多; 关键词 TI5SI3 高钛渣 sio2 CaCl2熔盐电解; 在线阅读下载PDF 职称材料

混杂填料增强PA6复合材料摩擦磨损性能被引量：1: 5; 作者张静路琴《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期82-84,87,共4页; 利用M-2000型摩擦磨损试验机考察载荷以及纳米Si_3N_4/SiO_2与玻璃纤维的混合填料对PA6复合材料摩擦磨损性能的影响,用扫描电子显微镜观察分析磨损表面形貌及磨损机理。结果表明:纳米材料与玻璃纤维的协同作用显著改善了材料的摩擦磨损... 展开更多; 关键词 PA6 纳米sio2 纳米SI3N4 力学性能摩擦学性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名肖特基势垒二极管SiO_2-Si_3N_4复合钝化膜研究被引量：1: 1; 作者石霞孙俊峰顾晓春; 机构南京电子器件研究所; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期344-348,共5页; 文摘对Si肖特基势垒二极管的钝化技术进行了研究。研究了不同淀积温度、气体流量、射频功率以及气体压力等工艺技术条件下,淀积PECVD SiO_2和LPCVD Si_3N_4膜的介电强度E、介电常数ε_r、耐压V、针孔密度、漏电流I、内应力σ、片间均匀性以及片内均匀性等性能。研究了PECVD SiO_2膜的增密技术。提出了一种应力小、漏电流小且抗辐照能力较好的PECVD SiO_2/LPCVD Si_3N_4复合介质膜钝化工艺方法和技术条件,提高了肖特基势垒二极管的性能。; 关键词 sio2-si3N4复合介质膜钝化技术漏电流应力增密; Keywords sio2-si3N4 composite films passivation technique current leakage stress density increase; 分类号 TN31 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁谐振式压力传感器结构设计与分析: 2; 作者李新薛阳李春风; 机构沈阳工业大学沈阳通美电器有限公司; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第8期13-15,共3页; 基金辽宁省自然基金资助项目(20102162); 文摘提出了一种采用SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构的谐振式压力传感器。采用有限元分析技术分别对谐振梁和传感器芯片结构进行了电热分析、模态分析以及谐响应分析,最后对SiO2-Si3N4-SiO2复合梁谐振式压力传感器的工艺进行了探讨,表明通过多晶硅牺牲层技术能更好地得到Si O2-Si3N4-Si O2复合谐振梁,具有良好的选频特性。; 关键词有限元 sio2-si3 N4-sio2复合梁压力传感器; Keywords finite element sio2-si3 N4-sio2 composite beam pressure sensor; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SiO_2/(Si_3N_4+BN)透波材料表面涂层的防潮性能和透波性能研究被引量：11: 3; 作者李俊生张长瑞王思青曹峰王衍飞; 机构国防科技大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室; 出处《涂料工业》 CAS CSCD 2007年第1期5-7,10,共4页; 基金国防预研资助项目; 文摘 SiO2／（Si3N4＋BN）复合材料是近几年发展起来的综合性能优良的适用于高马赫数的导弹天线罩材料。本文分析了SiO2／（Si3N4＋BN）复合材料的吸潮机理。采用有机硅树脂在SiO2／（Si3N4＋BN）复合材料表面制备了防潮涂层，取得较好的防潮效果。涂装后SiO2／（Si3N4＋BN）复合材料在40℃、90％的高温高湿条件下放置15d的吸水率约0．30％；在大气环境下（温度27-30℃，湿度45-60％）的吸水率小于0．01％。涂层对SiO2／（Si3N4＋BN）复合材料的透波率影响较小，涂装后材料的透波率仍然能保持在85％以上。; 关键词 sio2/(Si3N4+BN) 透波率防潮涂层吸水率; Keywords sio2/（ Si3 N4 ＋ BN ） transmissivity moisture - proof coatings water - absorbability; 分类号 TB324 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名CaCl_2熔盐中电解高钛渣/SiO_2复合阴极制备Ti_5Si_3的研究被引量：2: 4; 作者况文浩华一新徐存英李坚李艳张臻高小兵; 机构昆明理工大学冶金与能源工程学院昆明理工大学复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室; 出处《有色金属（冶炼部分）》 CAS 北大核心 2017年第7期52-57,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(51274108); 文摘采用FFC熔盐电解法,在900℃和2.6~3.2V槽电压的条件下,以CaCl2熔盐为电解质电解还原高钛渣/SiO_2复合阴极,成功制备出了Ti_5Si_3合金。通过热力学计算和单因素条件试验探讨了电解时间和槽电压对电解产物的影响。结果表明,在初始阶段反应速率很快,随着中间产物CaTiO_3和CaSiO_3的生成,反应速率逐渐减缓。当槽电压为2.6V时,反应速率缓慢;提高到2.8V后,反应速率有了明显的提升。在900℃、8h、3.2V的条件下制备出的Ti_5Si_3为疏松多孔、粒径为2~5μm的合金粉末。; 关键词 TI5SI3 高钛渣 sio2 CaCl2熔盐电解; Keywords Tit Si3 Ti-enriched slag sio2 CaCl2 molten salt electrolysis; 分类号 TF823 [冶金工程—有色金属冶金]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名混杂填料增强PA6复合材料摩擦磨损性能被引量：1: 5; 作者张静路琴; 机构南京农业大学工学院; 出处《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期82-84,87,共4页; 基金高等学校博士学科点专项科研基金项目(20060307002); 文摘利用M-2000型摩擦磨损试验机考察载荷以及纳米Si_3N_4/SiO_2与玻璃纤维的混合填料对PA6复合材料摩擦磨损性能的影响,用扫描电子显微镜观察分析磨损表面形貌及磨损机理。结果表明:纳米材料与玻璃纤维的协同作用显著改善了材料的摩擦磨损性能,以3%纳米Si_3N_4与玻璃纤维混杂填充耐磨性最佳;以5%纳米SiO_2与玻璃纤维混杂摩擦因数最低。; 关键词 PA6 纳米sio2 纳米SI3N4 力学性能摩擦学性能; Keywords nylon6 nano-sio2 nano-si3 N4 mechanical property tribological property; 分类号 TQ323.6 [化学工程—合成树脂塑料工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	肖特基势垒二极管SiO_2-Si_3N_4复合钝化膜研究	石霞孙俊峰顾晓春	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2010	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	SiO_2-Si_3N_4-SiO_2复合梁谐振式压力传感器结构设计与分析	李新薛阳李春风	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	SiO_2/(Si_3N_4+BN)透波材料表面涂层的防潮性能和透波性能研究	李俊生张长瑞王思青曹峰王衍飞	《涂料工业》 CAS CSCD	2007	11	在线阅读下载PDF 职称材料
4	CaCl_2熔盐中电解高钛渣/SiO_2复合阴极制备Ti_5Si_3的研究	况文浩华一新徐存英李坚李艳张臻高小兵	《有色金属（冶炼部分）》 CAS 北大核心	2017	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	混杂填料增强PA6复合材料摩擦磨损性能	张静路琴	《塑料》 CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料