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β-BBO基ZrO_2/SiO_2倍频增透膜的结构和成分对光学性能的影响
1
作者
陈长琦
鲁嘉
+3 位作者
方应翠
王君
李万福
周瑞
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期413-417,430,共6页
利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(-βBaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜,其在波长532 nm和1064 nm处反射率小于0.35%和透射率高...
利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(-βBaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜,其在波长532 nm和1064 nm处反射率小于0.35%和透射率高于90%,与软件设计膜系得到的理论值相一致。研究结果表明薄膜的填隙密度越高,致密度越好,其光学性能也越好。
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关键词
ZrO
2
/
sio
2
非规整倍频
增透膜
光学性能
电子束蒸发
离子束辅助沉积技术
真空退火
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职称材料
杂质对溶胶-凝胶SiO_2薄膜激光损伤的影响
被引量：
4
2
作者
章春来
李熙斌
+3 位作者
吕海兵
袁晓东
王治国
祖小涛
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期1267-1271,共5页
采用溶胶-凝胶法制备了含有吸收性杂质和非吸收性杂质的SiO2增透膜,采用波长为1 064 nm的激光对其进行了小光斑激光预处理,对比研究了预处理前后的激光损伤差异,研究表明:激光预处理对于洁净的SiO2薄膜影响不大;含10μm SiO2颗粒杂质的...
采用溶胶-凝胶法制备了含有吸收性杂质和非吸收性杂质的SiO2增透膜,采用波长为1 064 nm的激光对其进行了小光斑激光预处理,对比研究了预处理前后的激光损伤差异,研究表明:激光预处理对于洁净的SiO2薄膜影响不大;含10μm SiO2颗粒杂质的样品微透镜效应很明显,容易成为损伤起始的种子,激光预处理后情况有所改善;含有CeO2颗粒杂质的样品表现出了很强的吸收性质,损伤阈值降低到不足洁净样品的一半。所有样品激光预处理后损伤形貌未发生变化,透光率峰值均有约50 nm的蓝移。
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关键词
溶胶-凝胶
sio2增透膜
激光预处理
激光辐照损伤
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职称材料
题名
β-BBO基ZrO_2/SiO_2倍频增透膜的结构和成分对光学性能的影响
1
作者
陈长琦
鲁嘉
方应翠
王君
李万福
周瑞
机构
合肥工业大学
合肥普乐光技术有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期413-417,430,共6页
文摘
利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(-βBaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非规整倍频增透膜,其在波长532 nm和1064 nm处反射率小于0.35%和透射率高于90%,与软件设计膜系得到的理论值相一致。研究结果表明薄膜的填隙密度越高,致密度越好,其光学性能也越好。
关键词
ZrO
2
/
sio
2
非规整倍频
增透膜
光学性能
电子束蒸发
离子束辅助沉积技术
真空退火
Keywords
ZrO
2
/
sio
2
second harmonics anti-reflection films, Optical property, E-beam evaporation, Assistance ionbeam depisition technology, Vacuum anneal
分类号
TB321 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484.41 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
杂质对溶胶-凝胶SiO_2薄膜激光损伤的影响
被引量：
4
2
作者
章春来
李熙斌
吕海兵
袁晓东
王治国
祖小涛
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
电子科技大学物理电子学院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期1267-1271,共5页
基金
国家高技术发展计划项目
中央高校基本科研业务费专项资金项目(ZYGX2009X007)
文摘
采用溶胶-凝胶法制备了含有吸收性杂质和非吸收性杂质的SiO2增透膜,采用波长为1 064 nm的激光对其进行了小光斑激光预处理,对比研究了预处理前后的激光损伤差异,研究表明:激光预处理对于洁净的SiO2薄膜影响不大;含10μm SiO2颗粒杂质的样品微透镜效应很明显,容易成为损伤起始的种子,激光预处理后情况有所改善;含有CeO2颗粒杂质的样品表现出了很强的吸收性质,损伤阈值降低到不足洁净样品的一半。所有样品激光预处理后损伤形貌未发生变化,透光率峰值均有约50 nm的蓝移。
关键词
溶胶-凝胶
sio2增透膜
激光预处理
激光辐照损伤
Keywords
sol-gel
sio
2
anti-reflective films
laser preconditioning
laser-induced damage
分类号
TN24 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
β-BBO基ZrO_2/SiO_2倍频增透膜的结构和成分对光学性能的影响
陈长琦
鲁嘉
方应翠
王君
李万福
周瑞
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
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职称材料
2
杂质对溶胶-凝胶SiO_2薄膜激光损伤的影响
章春来
李熙斌
吕海兵
袁晓东
王治国
祖小涛
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
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职称材料
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