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溶胶-凝胶SiO_(2)减反膜的制备与光学性能研究 被引量：2
1
作者 沈斌 张旭 +2 位作者 熊怀 李海元 谢兴龙 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期525-530,共6页
碱催化溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜具有优异的光学性能及抗激光损伤性能,是高功率激光装置中的重要组成部分,但其与光学元件之间的结合强度低,使得膜层易发生接触破坏。本研究以“神光II”高功率激光装置溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜为基... 碱催化溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜具有优异的光学性能及抗激光损伤性能,是高功率激光装置中的重要组成部分,但其与光学元件之间的结合强度低,使得膜层易发生接触破坏。本研究以“神光II”高功率激光装置溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜为基础,通过提拉法在其表层涂覆致密的SiO_(2)薄层后得到机械强度提升的双层SiO_(2)减反膜(SiO_(2)-MTES),并与常用的单层氨固化SiO_(2)减反膜(SiO_(2)-HMDS)进行相关应用性能的综合比较。结果表明,涂覆SiO_(2)-MTES的熔石英在约800 nm处的峰值透过率大于99.6%,运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该双层SiO_(2)减反膜的零几率激光损伤阈值为51.9 J/cm^(2)(1064 nm,9.1 ns),与涂覆SiO_(2)-HMDS的性能相当。同时,SiO_(2)-MTES膜层与水的接触角达到117.3°,且在相对湿度大于90%的高湿环境中膜层的透过率较稳定。多次擦拭实验结果表明SiO_(2)-MTES的耐摩擦机械强度明显优于SiO_(2)-HMDS,有效提升了膜层与光学元件之间的结合强度。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 减反膜 sio_(2) 机械强度
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壳聚糖@SiO_(2)纳米纤维气凝胶的制备及水体抗菌性能研究
2
作者 李雪梅 赵梓政 +3 位作者 郭勤 徐明超 王照伟 黄西妹 《水处理技术》 北大核心 2025年第2期85-91,共7页
近年来,因环境的污染导致水体富营养化严重,水中的细菌和病毒的泛滥对人类的健康和社会的经济产生了巨大威胁。因此,对于水体抗菌材料的研究引起了人们的广泛关注。本文制备了一种可用于水体抗菌领域的材料。首先使用静电纺丝法制备SiO_... 近年来,因环境的污染导致水体富营养化严重,水中的细菌和病毒的泛滥对人类的健康和社会的经济产生了巨大威胁。因此,对于水体抗菌材料的研究引起了人们的广泛关注。本文制备了一种可用于水体抗菌领域的材料。首先使用静电纺丝法制备SiO_(2)纳米纤维膜,将壳聚糖加入到SiO_(2)纳米纤维气凝胶的前驱体中,再通过冷冻干燥法制备了壳聚糖@SiO_(2)纳米纤维气凝胶。最后将壳聚糖@SiO_(2)纳米纤维气凝胶与不同的过滤材料相结合,制成了水体抗菌滤芯。通过FT-IR、SEM、EDS分析来对壳聚糖@SiO_(2)纳米纤维气凝胶进行表征分析,并考察了获得的水体滤芯的抗菌效果。结果表明1 000 mg/mL的壳聚糖@SiO_(2)纳米纤维气凝胶细胞活性仍能保持在90.0%左右,而且壳聚糖@SiO_(2)纳米纤维气凝胶对大肠杆菌和金黄色葡萄球菌的抗菌率可达到99.9%,显示出优异的抗菌活性。该研究为新型水体抗菌材料的开发提供了有益的探索方向,并为水体抗菌领域的应用奠定了基础。 展开更多
关键词 水体抗菌 壳聚糖 气凝胶 sio_(2)纳米纤维膜
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溶胶-凝胶法制备SiO_2/ZrO_2无机复合膜的研究 被引量：7
3
作者 张克铮 邱春阳 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期251-254,共4页
以硅酸乙酯和氧氯化锆为先驱体,用乙醇为溶剂,采用溶胶——凝胶法于室温下在Al2O3基体上制备了ZrO2/SiO2无机复合膜.重点考察了涂膜温度、ZrOCl2摩尔百分含量、溶胶浓度及添加剂对膜性能的影响.结果表明:在较高的温度下涂膜可以提高膜... 以硅酸乙酯和氧氯化锆为先驱体,用乙醇为溶剂,采用溶胶——凝胶法于室温下在Al2O3基体上制备了ZrO2/SiO2无机复合膜.重点考察了涂膜温度、ZrOCl2摩尔百分含量、溶胶浓度及添加剂对膜性能的影响.结果表明:在较高的温度下涂膜可以提高膜的性能;ZrOCl2的存在对渗透比的影响不大,但能够提高溶胶的交联度,从而提高制膜效率,同时也有利于渗透通量的提高;采用浓溶胶和稀溶胶结合的方式涂膜不但可以提高制膜效率,还可以提高膜的性能.添加剂TEABr能够均化膜孔径,提高膜的性能. 展开更多
关键词 溶胶——凝胶法 zro2/sio2 渗透比 渗透通量 无机复合膜
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溶胶-凝胶法制备Al_2O_3-SiO_2-ZrO_2薄膜工艺参数探讨 被引量：1
4
作者 董旭娟 同帜 +2 位作者 崔双科 胡敏盾 邹力 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期44-48,共5页
用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜,研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜质量的影响.通过黏度测试、热重分析、X射线衍射分析(XRD)及原子力显微镜分析(AFM)等测试方法对溶胶的稳定性、复合膜的热稳定性、晶相组成及表面形貌等进行分析... 用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜,研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜质量的影响.通过黏度测试、热重分析、X射线衍射分析(XRD)及原子力显微镜分析(AFM)等测试方法对溶胶的稳定性、复合膜的热稳定性、晶相组成及表面形貌等进行分析.结果表明,当Al2O3∶SiO2∶ZrO2(mol/mol/mol)=1∶2∶0.5时,制得的溶胶粘度适中为3.22mPa·s、透明稳定,且干凝胶无开裂;以0.5℃/min的升温速率升至600℃焙烧2h,并在75℃和240℃附近以0.25℃/min的速率缓慢升温且适当保温后,可得外观透明、性能稳定的Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜,并且薄膜呈致密性、表面平整、结构均匀、无裂纹. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 Al2O3-sio2-zro2复合薄膜 膜层开裂 溶胶稳定性
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SiO_2气凝胶柔性保温隔热薄膜 被引量：17
5
作者 倪星元 程银兵 +4 位作者 马建华 吴广明 周斌 沈军 王珏 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期725-727,共3页
　由SiO2气凝胶、聚酰亚胺和镀铝层(SiO2/PI/Al)组成的柔性多层薄膜具有很好的保温隔热特性和广泛的应用前景。采用溶胶 凝胶方法制备的SiO2气凝胶具有很高的气孔率和很低的体积密度,尝试了在溶胶 凝胶过程中先酸性后碱性的二步法催化,... 　由SiO2气凝胶、聚酰亚胺和镀铝层(SiO2/PI/Al)组成的柔性多层薄膜具有很好的保温隔热特性和广泛的应用前景。采用溶胶 凝胶方法制备的SiO2气凝胶具有很高的气孔率和很低的体积密度,尝试了在溶胶 凝胶过程中先酸性后碱性的二步法催化,使孔洞率提高到97%,体积密度降低为50kg/m3,成为优秀的保温隔热的主体材料。选择柔性耐温隔热的聚酰亚胺作为骨架材料,并用真空蒸发镀制上金属铝膜与多孔SiO2气凝胶复合成保温隔热薄膜。当薄膜叠加到10层时其保温隔热效果可提高5倍。 展开更多
关键词 sio2 气凝胶 柔性多层薄膜 保温隔热 溶胶-凝胶 气孔率 体积密度
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丝素/纳米SiO_2凝胶共混膜的制备及性能测试 被引量：9
6
作者 徐水 张胡静 +4 位作者 李雯静 傅蕾 李圣春 侯春春 朱勇 《蚕业科学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期82-87,共6页
为了改善丝素膜作为医用材料的物理性能,以丝素和纳米SiO2为基材,乙醇为溶剂,制备不同质量比的丝素/纳米SiO2凝胶共混膜。对丝素/纳米SiO2凝胶共混膜的微观形态与结构进行表征:共混膜表面呈凹凸状,横截面为多层次的网络状结构,丝素蛋白... 为了改善丝素膜作为医用材料的物理性能,以丝素和纳米SiO2为基材,乙醇为溶剂,制备不同质量比的丝素/纳米SiO2凝胶共混膜。对丝素/纳米SiO2凝胶共混膜的微观形态与结构进行表征:共混膜表面呈凹凸状,横截面为多层次的网络状结构,丝素蛋白分子主要为β-折叠结构。对不同质量比丝素/纳米SiO2凝胶共混膜的物理性能进行测试:当丝素与纳米SiO2共混质量比为80∶5时,共混膜的断裂强度最大,为94.86 MPa;当共混质量比为80∶3时,共混膜的断裂伸长率最大,为55.20%;共混膜的溶胀度和热水溶失率与纳米SiO2含量成反比,而透气性随着纳米SiO2含量的增加呈先上升后下降的趋势。测试结果表明,在天然高分子材料丝素溶液中加入具有补强增韧功能的纳米SiO2制备的共混膜,更接近优良人工皮肤材料的物理性能特征,丝素与纳米SiO2的共混质量比以80∶3和80∶5为宜。 展开更多
关键词 丝素 纳米sio2凝胶 共混膜 物理性能
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常压制备SiO_2气凝胶薄膜 被引量：8
7
作者 马建华 孟祥建 +4 位作者 孙兰 王根水 林铁 石富文 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期465-468,共4页
采用溶胶—凝胶工艺在常压下制备了SiO2气凝胶薄膜,并用傅里叶红外光谱仪(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、椭偏光谱仪等表征了薄膜的结构和性能.研究结果表明,气凝胶薄膜的折射率低达1.067,对应孔洞率为87.7%,密度为0.269×103kg·... 采用溶胶—凝胶工艺在常压下制备了SiO2气凝胶薄膜,并用傅里叶红外光谱仪(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、椭偏光谱仪等表征了薄膜的结构和性能.研究结果表明,气凝胶薄膜的折射率低达1.067,对应孔洞率为87.7%,密度为0.269×103kg·m-3,热导率为0.020W·m-1·K-1(300K)时,介电常数为1.52.这些优异性能的获得,主要归因于酸/碱两步催化、溶剂替换以及胶粒表面硅烷化等三个过程. 展开更多
关键词 sio2气凝胶 制备 薄膜 硅烷化 溶剂 凝胶工艺 压制 椭偏光谱 傅里叶红外光谱 结构和性能
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不同后处理方法对溶胶-凝胶SiO_2膜层抗污染能力的影响 被引量：5
8
作者 赵松楠 晏良宏 +5 位作者 吕海兵 章春来 王海军 王韬 袁晓东 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期240-244,共5页
以正硅酸乙酯作为前驱体,利用碱催化方式制备了SiO2溶胶,采用提拉法在K9基片上镀制SiO2单层薄膜,分别用热处理、紫外辐射处理、氨水加六甲基二硅胺烷气氛处理和酸碱复合膜4种后处理法对膜层进行处理,采用分光光度计、红外光谱、扫描探... 以正硅酸乙酯作为前驱体,利用碱催化方式制备了SiO2溶胶,采用提拉法在K9基片上镀制SiO2单层薄膜,分别用热处理、紫外辐射处理、氨水加六甲基二硅胺烷气氛处理和酸碱复合膜4种后处理法对膜层进行处理,采用分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪、椭偏仪等分析了薄膜的特性,通过真空环境加速污染实验对处理前后的膜层进行抗污染能力对比,结果表明:在碱性SiO2膜层上加镀一层酸性SiO2膜的复合膜层整体透过率仍保持在99%以上,疏水角达到128°,膜层真空抗污染能力大大加强。 展开更多
关键词 溶胶凝胶 sio2 加速污染 化学膜 膜层后处理
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溶胶-凝胶法制备TiO2-SiO2多层增透膜 被引量：7
9
作者 王永强 胡晓云 +3 位作者 苗仲海 周引穗 黄亚娜 马一平 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1165-1168,共4页
在酸催化体系中以钛酸丁酯为前驱体制得TiO2溶胶，以正硅酸乙酯（TEOS）为前驱体制得SiO2溶胶，采用提拉法在普通载玻片上镀膜．辅助MASS膜系设计软件进行模拟计算，得到了透射比为99％的膜片．根据理论模拟结果，实验采用交叉镀膜，制... 在酸催化体系中以钛酸丁酯为前驱体制得TiO2溶胶，以正硅酸乙酯（TEOS）为前驱体制得SiO2溶胶，采用提拉法在普通载玻片上镀膜．辅助MASS膜系设计软件进行模拟计算，得到了透射比为99％的膜片．根据理论模拟结果，实验采用交叉镀膜，制备出了宽带增透TiO2-SiO2多层膜．用紫外可见分光光度计测量了样品的透射光谱．实验发现，样品具有明显的宽带增透效果：在400～700nm波段，当光线垂直入射时，增透5．5％左右；45°角入射时，可增透10％． 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 增透膜 膜系设计 透射光谱 TiO2-sio2多层膜
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溶胶-凝胶法制备SiO_2-TiO_2纳米复合薄膜紫外光处理的研究 被引量：10
10
作者 马建华 吴广明 +1 位作者 沈军 王珏 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期1174-1180,共7页
采用溶胶－凝胶技术，结合二步水解法分别在单晶硅片、石英玻璃和Ｋｇ玻璃上制备ＳiＯ2、ＴiＯ2纳米复合薄膜，采用高压汞灯对其进行紫外光处理，分别用ＡＦＭ、椭偏仪、ＦＴＩＲ、ＵＶ－Ｖis分光光度计以及ＸＲＤ对凝胶膜紫外光处理前... 采用溶胶－凝胶技术，结合二步水解法分别在单晶硅片、石英玻璃和Ｋｇ玻璃上制备ＳiＯ2、ＴiＯ2纳米复合薄膜，采用高压汞灯对其进行紫外光处理，分别用ＡＦＭ、椭偏仪、ＦＴＩＲ、ＵＶ－Ｖis分光光度计以及ＸＲＤ对凝胶膜紫外光处理前后的光学性能和结构进行研究，并与传统的热处理进行比较与分析．研究表明，紫外光处理是实现凝胶膜低温致密化的有效方法之一，其致密化的机理不同于传统的热处理，主要是通过紫外高能光子诱导复合薄膜网络结构的原子中的电子激发，导致原子化学键的断裂，进而产生结构重组而致密化． 展开更多
关键词 sio2 TIO2 纳米复合薄膜 溶胶-凝胶法 紫外光处理 致密化 二氧化硅 二氧化钛
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溶胶—凝胶ZrO_2陶瓷薄膜早期干燥过程研究 被引量：5
11
作者 郭亚丽 张建华 +2 位作者 毕进子 李敏 张勤俭 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期59-61,共3页
采用无机盐先驱体 ,通过溶胶—凝胶法制备了ZrO2 溶胶 ,并对溶胶膜的早期干燥过程进行了研究。结果表明 :ZrO2 溶胶薄膜的早期干燥过程存在着两个恒速干燥期 ,第一恒速干燥期的干燥速度明显高于第二恒速干燥期 ;此外 ,在早期干燥过程中 ... 采用无机盐先驱体 ,通过溶胶—凝胶法制备了ZrO2 溶胶 ,并对溶胶膜的早期干燥过程进行了研究。结果表明 :ZrO2 溶胶薄膜的早期干燥过程存在着两个恒速干燥期 ,第一恒速干燥期的干燥速度明显高于第二恒速干燥期 ;此外 ,在早期干燥过程中 ,随着温度的升高 ,薄膜失重率急剧增加。为了获得质量理想的薄膜 。 展开更多
关键词 zro2 陶瓷薄膜 早期干燥 溶胶凝胶法 失重率
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耐高温ZrO_2/SiO_2复合气凝胶的制备及表征 被引量：4
12
作者 邹文兵 沈军 +5 位作者 祖国庆 邹丽萍 吴宇 关大勇 张蓉艳 姚献东 《南京工业大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2016年第2期42-46,共5页
以锆酸四丁酯为锆源,采用溶胶-凝胶法结合化学液相沉积(CLD),即在凝胶老化过程中用部分水解的锆酸四丁酯和正硅酸四乙酯进行液相修饰,经过乙醇超临界干燥(SCFD)制备耐高温ZrO_2/SiO_2块体复合气凝胶。采用透射电子显微镜(TEM)、傅里叶... 以锆酸四丁酯为锆源,采用溶胶-凝胶法结合化学液相沉积(CLD),即在凝胶老化过程中用部分水解的锆酸四丁酯和正硅酸四乙酯进行液相修饰,经过乙醇超临界干燥(SCFD)制备耐高温ZrO_2/SiO_2块体复合气凝胶。采用透射电子显微镜(TEM)、傅里叶红外光谱仪(FT-IR)、X线衍射仪(XRD)、N_2吸附分析仪等仪器表征了ZrO_2/SiO_2复合气凝胶的形貌、表面基团、晶相和孔结构,着重研究其耐热性能。结果表明:制备的ZrO_2/SiO_2复合气凝胶具有优秀的耐温性能,1 000℃处理2 h后,仍为四方相,线收缩率仅为12%,比表面积高达186 m2/g。 展开更多
关键词 zro2/sio2复合气凝胶 溶胶-凝胶法 化学液相沉积 耐高温
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采用HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅 被引量：4
13
作者 谢永军 赵福华 +2 位作者 魏伟 赵小侠 赵卫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期133-135,共3页
采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采... 采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅. 展开更多
关键词 信息光学 HfO2/sio2溶胶-凝胶 光栅 光敏
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大气常压等离子射流清洗溶胶-凝胶SiO_2膜表面油脂污染物 被引量：6
14
作者 刘昊 苗心向 +7 位作者 杨科 吕海兵 邹睿 周国瑞 程晓峰 严鸿维 袁晓东 贾宝申 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期112-117,共6页
采用大气常压等离子射流技术对溶胶-凝胶SiO2膜表面的油脂污染物进行清洗。利用分光光度计、扫描电子显微镜、红外光谱仪对溶胶-凝胶SiO2膜透过率、表面形貌、化学结构进行表征,并分析清洗前后溶胶-凝胶SiO2膜的激光损伤阈值变化。损伤... 采用大气常压等离子射流技术对溶胶-凝胶SiO2膜表面的油脂污染物进行清洗。利用分光光度计、扫描电子显微镜、红外光谱仪对溶胶-凝胶SiO2膜透过率、表面形貌、化学结构进行表征,并分析清洗前后溶胶-凝胶SiO2膜的激光损伤阈值变化。损伤阈值测试表明,1064nm波长的激光损伤阈值由污染后的16.08J/cm2上升到24.41J/cm2,与污染前24.72J/cm2的损伤阈值相当。同时还获取清洗的最佳时间为10s。清洗前后,溶胶-凝胶SiO2膜保持完好,且未产生新的有机污染物。研究结果表明:大气常压等离子射流技术可对溶胶-凝胶SiO2膜表面的油脂污染物进行有效地清洗,从而提高溶胶-凝胶SiO2膜的透过率和激光损伤阈值,为高功率激光装置的稳定运行提供保障。 展开更多
关键词 大气常压等离子射流 溶胶-凝胶sio2膜 高功率激光真空系统 油脂污染物 激光损伤阈值
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溶胶-凝胶SiO2酸性膜与碱性膜的激光损伤行为 被引量：4
15
作者 郭袁俊 祖小涛 +5 位作者 蒋晓东 袁晓东 赵松楠 徐世珍 王毕艺 田东斌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期939-942,共4页
采用溶胶-凝胶技术分别在K9基片上镀制了光学厚度相近的单层SiO2酸性膜和碱性膜。测试了两类薄膜的激光损伤阈值;分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜、扫描电镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形... 采用溶胶-凝胶技术分别在K9基片上镀制了光学厚度相近的单层SiO2酸性膜和碱性膜。测试了两类薄膜的激光损伤阈值;分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜、扫描电镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明:相对于碱性膜,酸性膜有更大的热吸收和更小的孔隙率,因此其激光损伤阈值较小;两类薄膜不同的损伤形貌与薄膜的热吸收系数与微观结构有关。 展开更多
关键词 激光损伤阈值 溶胶-凝胶 sio2薄膜 热吸收 孔隙率 损伤形貌
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溶胶凝胶制备纳米多孔SiO_2光学增透薄膜耐磨特性强化研究 被引量：6
16
作者 吴广明 沈军 +2 位作者 王珏 周斌 倪星元 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2002年第4期374-379,共6页
在溶胶 凝胶基础上 ,采用碱 /酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔SiO2 薄膜 ,并将该薄膜在空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理。使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性。... 在溶胶 凝胶基础上 ,采用碱 /酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔SiO2 薄膜 ,并将该薄膜在空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理。使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性。实验结果表明 :采用碱 /酸两步催化法能够明显提高纳米多孔SiO2 光学增透薄膜的力学特性 ,混合气体中的热处理又使其力学性能得到进一步改善。薄膜耐磨等力学性能增强归因于SiO2 颗粒间更多的化学键合。在力学性能增强的同时 ,薄膜折射率仍保持约 1 2 4的较低值 ,光学增透效果良好 ,透射率≥ 99 5 %。 展开更多
关键词 制备 纳米多孔sio2 光学增透薄膜 耐磨特性 强化 溶胶-凝胶技术 二氧化硅 性能 形貌
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杂质对溶胶-凝胶SiO_2薄膜激光损伤的影响 被引量：4
17
作者 章春来 李熙斌 +3 位作者 吕海兵 袁晓东 王治国 祖小涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1267-1271,共5页
采用溶胶-凝胶法制备了含有吸收性杂质和非吸收性杂质的SiO2增透膜,采用波长为1 064 nm的激光对其进行了小光斑激光预处理,对比研究了预处理前后的激光损伤差异,研究表明:激光预处理对于洁净的SiO2薄膜影响不大;含10μm SiO2颗粒杂质的... 采用溶胶-凝胶法制备了含有吸收性杂质和非吸收性杂质的SiO2增透膜,采用波长为1 064 nm的激光对其进行了小光斑激光预处理,对比研究了预处理前后的激光损伤差异,研究表明:激光预处理对于洁净的SiO2薄膜影响不大;含10μm SiO2颗粒杂质的样品微透镜效应很明显,容易成为损伤起始的种子,激光预处理后情况有所改善;含有CeO2颗粒杂质的样品表现出了很强的吸收性质,损伤阈值降低到不足洁净样品的一半。所有样品激光预处理后损伤形貌未发生变化,透光率峰值均有约50 nm的蓝移。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 sio2增透膜 激光预处理 激光辐照损伤
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溶胶-凝胶SiO_2在变色薄膜中的应用 被引量：3
18
作者 倪星元 吕俊霞 +2 位作者 邓忠生 沈军 王珏 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期435-436,439,共3页
变色薄膜是一种非常有用的光学产品。用溶胶 凝胶SiO2 作为变色薄膜中的介质层 (Cr/SiO2 /Al)能明显提高产品的质量和生产效率。本文介绍了溶胶 凝胶SiO2 薄膜的制作方法 ,提出了用酸性催化控制SiO2 溶胶过程 ;用网线辊涂布的方法形... 变色薄膜是一种非常有用的光学产品。用溶胶 凝胶SiO2 作为变色薄膜中的介质层 (Cr/SiO2 /Al)能明显提高产品的质量和生产效率。本文介绍了溶胶 凝胶SiO2 薄膜的制作方法 ,提出了用酸性催化控制SiO2 溶胶过程 ;用网线辊涂布的方法形成薄膜 ,连同烘烤后处理完成SiO2 凝胶过程。文章还对SiO2 展开更多
关键词 薄膜 溶胶-凝胶 sio2 变色薄膜
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溶胶—凝胶法制备SiO_2气凝胶薄膜溶胶粘度的研究 被引量：4
19
作者 王娟 张长瑞 冯坚 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期30-34,共5页
用低介电常数介质薄膜代替传统的SiO2薄膜是减小ULSI中互连延迟、串扰和能耗的有效方法。SiO2气凝胶薄膜因具有低介电常数、低密度、高热稳定性等性能而成为ULSI中金属间介质的理想材料。以正硅酸乙酯为原料,采用酸/碱两步溶胶—凝胶法... 用低介电常数介质薄膜代替传统的SiO2薄膜是减小ULSI中互连延迟、串扰和能耗的有效方法。SiO2气凝胶薄膜因具有低介电常数、低密度、高热稳定性等性能而成为ULSI中金属间介质的理想材料。以正硅酸乙酯为原料,采用酸/碱两步溶胶—凝胶法结合匀胶和超临界干燥等工艺在硅片上成功制备了SiO2气凝胶薄膜。研究了不同配比的SiO2溶胶粘度随时间的变化;确定了适于匀胶的溶胶的粘度范围为9～15mPa·s;发现溶胶粘度在9～15mPa·s的时间随溶剂异丙醇(IPA)用量的增加和NH4OH的减少而延长。 展开更多
关键词 sio2 气凝胶薄膜 粘度 溶胶-凝胶 低介电常数
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SiO_2改性ZrO_2气凝胶高温稳定性 被引量：4
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作者 李晓雷 王庆浦 +2 位作者 季惠明 孙晓红 何健 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期65-68,共4页
以ZrOCl2·8H2O为锆源,以环氧丙烷(PO)为凝胶促进剂制备ZrO2凝胶,将ZrO2凝胶置于正硅酸乙酯乙醇溶液中老化,再结合高温超临界干燥工艺制备了SiO2改性ZrO2气凝胶。通过对比ZrO2气凝胶和SiO2改性ZrO2气凝胶高温结构转变讨论了SiO2改性... 以ZrOCl2·8H2O为锆源,以环氧丙烷(PO)为凝胶促进剂制备ZrO2凝胶,将ZrO2凝胶置于正硅酸乙酯乙醇溶液中老化,再结合高温超临界干燥工艺制备了SiO2改性ZrO2气凝胶。通过对比ZrO2气凝胶和SiO2改性ZrO2气凝胶高温结构转变讨论了SiO2改性对ZrO2气凝胶高温结构的影响。采用FT-IR、XRD、SEM和TEM等分析手段对样品进行高温结构表征。结果表明:采用正硅酸乙酯乙醇溶液老化ZrO2凝胶后,在ZrO2凝胶粒子表面形成了一层SiO2包裹层,这层SiO2包裹层显著抑制了ZrO2的扩散、成核和生长过程,高温稳定性得以显著提高。 展开更多
关键词 zro2气凝胶 sio2 超临界干燥 高温稳定性
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