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TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜的制备及其结构和性能分析
被引量：
3
1
作者
董磊
刘广庆
+3 位作者
孙延东
龚杰
刘孟寅
李德军
《天津师范大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2010年第1期29-32,共4页
利用超高真空离子束辅助沉积(IBAD)系统,在225℃条件下,制备一系列TiB2/Si3N4纳米多层膜,通过X射线衍射(XRD)仪、表面轮廓仪、原子力显微镜(AFM)和纳米力学测试系统分析该体系合成中调制比对多层膜结构和机械性能的影响.结果表明:一定...
利用超高真空离子束辅助沉积(IBAD)系统,在225℃条件下,制备一系列TiB2/Si3N4纳米多层膜,通过X射线衍射(XRD)仪、表面轮廓仪、原子力显微镜(AFM)和纳米力学测试系统分析该体系合成中调制比对多层膜结构和机械性能的影响.结果表明:一定条件下制备的多层膜其纳米硬度值高于两种个体材料混合相的硬度值;当调制比为15∶1,调制周期为(13±1)nm时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力、弹性模量和膜基结合性能均达到最佳.多层膜机械性能的明显改善与其多层结构和多晶结构存在直接联系.实验证明通过选择合适的个体层材料、厚度以及调制比等条件,制备具有高硬度、低应力和良好膜基结合力的纳米多层膜是可以实现的.
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关键词
离子束辅助沉积
TiB
2
/si
3
n
4
纳米多
层
膜
调制比
硬度
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职称材料
用于微机电系统的SiO_2/Si_3N_4驻极体的制备及电荷稳定性
被引量：
2
2
作者
肖慧明
温中泉
+1 位作者
张锦文
陈钢进
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期1297-1299,1303,共4页
驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键。用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极...
驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键。用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极体,探讨了器件加工工艺及存储环境对双层膜驻极体电荷稳定性的影响。结果表明,电晕充电后SiO2/Si3N4双层膜的电荷存储稳定性明显优于SiO2单层膜;传统的电晕注极方法仅适用于大面积驻极体的制备,但对微米量级的材料表面不适用;微器件制备的工艺流程对驻极体电荷稳定性有显著影响,但存储环境对热极化驻极体电荷稳定性的影响很小。
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关键词
驻极体
微型发电机
sio
2
/si
3
n
4双
层
膜
电荷稳定性
微器件加工
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职称材料
实现组件PID合格的工艺研究
3
作者
李吉
魏红军
+2 位作者
严金梅
张进臣
王尚鑫
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期774-776,共3页
主要研究了用在管式PECVD沉积SiO_2-Si_3N_4叠层钝化膜对电池片效率及组件PID的影响。叠层钝化膜可以通过管式PECVD工艺一次性完成。沉积SiO_2-Si_3N_4叠层膜与常规Si_3N_4膜进行对比,电池片效率可以提升0.07%,其中短路电流和开路电压...
主要研究了用在管式PECVD沉积SiO_2-Si_3N_4叠层钝化膜对电池片效率及组件PID的影响。叠层钝化膜可以通过管式PECVD工艺一次性完成。沉积SiO_2-Si_3N_4叠层膜与常规Si_3N_4膜进行对比,电池片效率可以提升0.07%,其中短路电流和开路电压提升明显。沉积SiO_2-Si_3N_4叠层膜电池的组件可以实现PID合格。
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关键词
管式PECVD
sio2/si3n4叠层膜
PID
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职称材料
题名
TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜的制备及其结构和性能分析
被引量：
3
1
作者
董磊
刘广庆
孙延东
龚杰
刘孟寅
李德军
机构
天津师范大学物理与电子信息学院
出处
《天津师范大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2010年第1期29-32,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50872094)
天津市科技计划国际合作资助项目(07ZCGHHZ01500)
天津市应用基础及前沿技术研究计划重点项目(2010)
文摘
利用超高真空离子束辅助沉积(IBAD)系统,在225℃条件下,制备一系列TiB2/Si3N4纳米多层膜,通过X射线衍射(XRD)仪、表面轮廓仪、原子力显微镜(AFM)和纳米力学测试系统分析该体系合成中调制比对多层膜结构和机械性能的影响.结果表明:一定条件下制备的多层膜其纳米硬度值高于两种个体材料混合相的硬度值;当调制比为15∶1,调制周期为(13±1)nm时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力、弹性模量和膜基结合性能均达到最佳.多层膜机械性能的明显改善与其多层结构和多晶结构存在直接联系.实验证明通过选择合适的个体层材料、厚度以及调制比等条件,制备具有高硬度、低应力和良好膜基结合力的纳米多层膜是可以实现的.
关键词
离子束辅助沉积
TiB
2
/si
3
n
4
纳米多
层
膜
调制比
硬度
Keywords
IBAD
TiB
2
/si
3
n
4
n
a
n
o-multilayers
modulatio
n
ratio
hard
n
ess
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
用于微机电系统的SiO_2/Si_3N_4驻极体的制备及电荷稳定性
被引量：
2
2
作者
肖慧明
温中泉
张锦文
陈钢进
机构
浙江科技学院功能材料研究所
重庆大学微系统研究中心
北京大学微电子学研究院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期1297-1299,1303,共4页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA404280)
国家自然科学基金资助项目(90406024)
同济大学波与材料微结构重点实验室基金资助项目(2006TJWML001)
文摘
驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键。用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极体,探讨了器件加工工艺及存储环境对双层膜驻极体电荷稳定性的影响。结果表明,电晕充电后SiO2/Si3N4双层膜的电荷存储稳定性明显优于SiO2单层膜;传统的电晕注极方法仅适用于大面积驻极体的制备,但对微米量级的材料表面不适用;微器件制备的工艺流程对驻极体电荷稳定性有显著影响,但存储环境对热极化驻极体电荷稳定性的影响很小。
关键词
驻极体
微型发电机
sio
2
/si
3
n
4双
层
膜
电荷稳定性
微器件加工
Keywords
electret
micro-ge
n
erator
sio
2
/si
3
n
4 double layer film
charge stability
micro-machi
n
i
n
g ma
n
ufacture
分类号
TM930.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
TN603.5 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
实现组件PID合格的工艺研究
3
作者
李吉
魏红军
严金梅
张进臣
王尚鑫
机构
晶澳太阳能有限公司
出处
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期774-776,共3页
文摘
主要研究了用在管式PECVD沉积SiO_2-Si_3N_4叠层钝化膜对电池片效率及组件PID的影响。叠层钝化膜可以通过管式PECVD工艺一次性完成。沉积SiO_2-Si_3N_4叠层膜与常规Si_3N_4膜进行对比,电池片效率可以提升0.07%,其中短路电流和开路电压提升明显。沉积SiO_2-Si_3N_4叠层膜电池的组件可以实现PID合格。
关键词
管式PECVD
sio2/si3n4叠层膜
PID
Keywords
tubular PECVD
sio
2
-
si
3
n
4 film
PID
分类号
TM914 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜的制备及其结构和性能分析
董磊
刘广庆
孙延东
龚杰
刘孟寅
李德军
《天津师范大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2010
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
用于微机电系统的SiO_2/Si_3N_4驻极体的制备及电荷稳定性
肖慧明
温中泉
张锦文
陈钢进
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
实现组件PID合格的工艺研究
李吉
魏红军
严金梅
张进臣
王尚鑫
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
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