液态防护膜的制备及性能研究

1

作者 李艳 韩笋 许程 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第6期1078-1088,共11页

为了优化光学薄膜的防护性能,延长使用寿命,本文创新性地采用液态防护膜以保护光学薄膜,制备了三种不同的液态防护膜,包括纯物质防护膜、混合液态防护膜和胶体防护膜。探究三种液态防护膜的透过率、激光损伤阈值(LIDT)和自修复性能,并... 为了优化光学薄膜的防护性能,延长使用寿命,本文创新性地采用液态防护膜以保护光学薄膜,制备了三种不同的液态防护膜,包括纯物质防护膜、混合液态防护膜和胶体防护膜。探究三种液态防护膜的透过率、激光损伤阈值(LIDT)和自修复性能,并对液态防护膜的防护效果进行研究。结果表明,三种液态防护膜中胶体防护膜性能最为优异,其中SiO_(2)胶体透过率达91.8%,LIDT达34.2 J/cm^(2)。基于液体可流动的特性,三种液态防护膜都具有一定的自修复性能,能够重复多次地抵御高能激光辐照。在激光辐照下,SiO_(2)胶体防护膜的损伤面积小,自修复时间最短。经过激光损伤阈值测试后发现,装配液态防护膜后的光学薄膜具有更优异的防护效果。 展开更多

关键词 液态防护膜 透过率 激光损伤阈值 sio2胶体 自修复 激光辐照

在线阅读 下载PDF 职称材料

SAXS测定二氧化硅胶体粒子结构 被引量：6

2

作者 李志宏 巩雁军 +4 位作者 蒲敏 吴东 孙予罕 赵辉 董宝中 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第3期252-256,共5页

本文考察了正硅酸乙酯(TEOS)在碱性催化条件下通过水解和缩聚而制得的二氧化硅胶体的小角X-射线散射(SAXS)特征,通过散射数据对Porod负偏离的分析和校正,测定了胶体粒子的几何结构,包括胶团尺度分布、胶核尺度分布及平均界面层厚度,这... 本文考察了正硅酸乙酯(TEOS)在碱性催化条件下通过水解和缩聚而制得的二氧化硅胶体的小角X-射线散射(SAXS)特征,通过散射数据对Porod负偏离的分析和校正,测定了胶体粒子的几何结构,包括胶团尺度分布、胶核尺度分布及平均界面层厚度,这有助于认识胶体的物理化学特征。 展开更多

关键词 SAXS Porod负偏离 二氧化硅胶体 胶体粒子几何结构

在线阅读 下载PDF 职称材料

光子晶体用二氧化硅胶体球的改性制备及其自组装 被引量：6

3

作者 刘立营 王秀峰 +1 位作者 章春香 程冰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1953-1955,1958,共4页

采用一步法制备了表面接枝甲基丙烯酰氧基三甲氧基硅烷(MPS)的单分散SiO2胶体球,并通过垂直沉积法在40℃、60%相对湿度下组装出有序性较好的密排结构的SiO2光子晶体。傅立叶红外光谱(FT-IR)和X射线光电子能谱(XPS)结果证明SiO2胶体球表... 采用一步法制备了表面接枝甲基丙烯酰氧基三甲氧基硅烷(MPS)的单分散SiO2胶体球,并通过垂直沉积法在40℃、60%相对湿度下组装出有序性较好的密排结构的SiO2光子晶体。傅立叶红外光谱(FT-IR)和X射线光电子能谱(XPS)结果证明SiO2胶体球表面接枝上了MPS;扫描电子显微镜(SEM)结果表明改性后SiO2胶体球平均粒径为284nm,单分散性较高,平均标准偏差<5%;制备出的光子晶体是面心立方(fcc)紧密堆积结构;吸收光谱表明,所制备的光子晶体在(111)方向具有光子晶体的带隙特性,带隙中心波长为646nm。 展开更多

关键词 光子晶体 二氧化硅胶体球 改性 一步法

在线阅读 下载PDF 职称材料

铜CMP中工艺参数对抛光速率的影响 被引量：8

4

作者 王胜利 袁育杰 刘玉岭 《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期113-114,119,共3页

为了提高铜布线化学机械抛光效果，对其抛光工艺进行了研究。采用二氧化硅胶体碱性抛光液对铜布线进行抛光，讨论了抛光压力、温度、氧化剂含量、 流量等对抛光速率的影响。结果表明。不降低表面质量，在抛光压力为0.15MPa时，抛光片的... 为了提高铜布线化学机械抛光效果，对其抛光工艺进行了研究。采用二氧化硅胶体碱性抛光液对铜布线进行抛光，讨论了抛光压力、温度、氧化剂含量、 流量等对抛光速率的影响。结果表明。不降低表面质量，在抛光压力为0.15MPa时，抛光片的抛光效果和抛光速率达到最佳；在20—30℃时，能较好地平衡化学作用与机械作用；抛光液流量在200mL／min时，既节约了生产成本又能提高效率；当氧化剂体积分数在2％-3％时，抛光液既保持了较好的稳定性，又能保证氧化能力，从而提高抛光速率。 展开更多

关键词 铜 化学机械抛光 抛光速率 二氧化硅胶体

在线阅读 下载PDF 职称材料

SiO_2/Au核壳结构纳米粒子的制备及表征 被引量：5

5

作者 胡永红 容建华 +1 位作者 刘应亮 满石清 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1672-1676,共5页

通过以金纳米粒子为表面晶种和壳生长的方法制备了金纳米壳包覆二氧化硅的复合纳米粒子。采用TEM和UV-Vis对复合粒子进行了表征和研究,结果表明所得到的复合粒子粒径均匀、金纳米壳光滑完整,且壳厚度可通过反应物的用量来控制。当核半... 通过以金纳米粒子为表面晶种和壳生长的方法制备了金纳米壳包覆二氧化硅的复合纳米粒子。采用TEM和UV-Vis对复合粒子进行了表征和研究,结果表明所得到的复合粒子粒径均匀、金纳米壳光滑完整,且壳厚度可通过反应物的用量来控制。当核半径与壳厚度之比在4到13之间变化时,复合粒子的光学共振峰在可见光区到近红外光区范围内可发生大于500nm波长的移动。 展开更多

关键词 sio2胶体粒子 AU纳米粒子 sio2/Au核壳粒子 等离子体共振吸收

在线阅读 下载PDF 职称材料

SiO_2胶体晶体的自组装结构及其带隙特征 被引量：3

6

作者 赵荻 汪晨怿 钱达兴 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期119-123,128,共6页

光子晶体是一种具有光子带隙的新型功能材料。利用垂直沉积自组装法制成SiO2胶体晶体,并利用扫描电子显微镜和紫外分光度计对胶体晶体的显微形貌和光学特征进行了研究。结果表明,利用垂直沉积法自组装得到的SiO2胶体晶体具有面心立方结... 光子晶体是一种具有光子带隙的新型功能材料。利用垂直沉积自组装法制成SiO2胶体晶体,并利用扫描电子显微镜和紫外分光度计对胶体晶体的显微形貌和光学特征进行了研究。结果表明,利用垂直沉积法自组装得到的SiO2胶体晶体具有面心立方结构;在可见光波段,胶体晶体在<111>面方向存在光子带隙。 展开更多

关键词 垂直沉积法 sio2胶体微球 胶体晶体

在线阅读 下载PDF 职称材料

垂直沉积法制备SiO_2胶体晶体及其光子带隙特性 被引量：2

7

作者 方俊 王秀峰 程冰 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1151-1154,共4页

采用stober法在乙醇介质中合成S iO2微球,将制得的样品在30℃下用双氧水浸泡处理48 h。扫描电子显微镜(SEM)测定结果表明,样品平均粒径为292 nm,平均标准偏差小于5%。傅里叶红外光谱(FTIR)测定表明,经双氧水浸泡处理后,S iO2微球表面的... 采用stober法在乙醇介质中合成S iO2微球,将制得的样品在30℃下用双氧水浸泡处理48 h。扫描电子显微镜(SEM)测定结果表明,样品平均粒径为292 nm,平均标准偏差小于5%。傅里叶红外光谱(FTIR)测定表明,经双氧水浸泡处理后,S iO2微球表面的羟基数目增多。Zeta电位和标准氢氧化钠滴定测试结果显示,经双氧水浸泡处理后,S iO2微球在水溶液中的Zeta电位从-55.72 mV提高到-63.26 mV,表面电荷密度从0.19 uC/cm2提高到0.28 uC/cm2。用垂直沉积法制备出有序性较好的密排结构的S iO2胶体晶体。在SEM下,观察到这种胶体晶体是面心立方(fcc)密排结构,其(111)晶面平行于基底。透射光谱表明,所制备的胶体晶体在(111)方向具有光子晶体的带隙性质。 展开更多

关键词 光子晶体 带隙 胶体晶体 垂直沉积法 sio2微球 表面电荷密度

在线阅读 下载PDF 职称材料

高比表面积三维有序大孔炭材料的合成与表征 被引量：1

8

作者 杨卫亚 沈智奇 +1 位作者 凌凤香 孙万付 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期104-107,共4页

将粒径为540nm的SiO2胶体微球通过自然沉积组装为胶体晶体模板,以葡萄糖的水溶液为前体填充模板间隙,高温炭化后,以HF溶液溶去模板,得到三维有序大孔炭材料。根据SEM检测,大孔以六方有序的方式排列,其孔径及孔径收缩率分别为510nm和5.6... 将粒径为540nm的SiO2胶体微球通过自然沉积组装为胶体晶体模板,以葡萄糖的水溶液为前体填充模板间隙,高温炭化后,以HF溶液溶去模板,得到三维有序大孔炭材料。根据SEM检测,大孔以六方有序的方式排列,其孔径及孔径收缩率分别为510nm和5.6%。大孔之间由小窗口连通,构成内部三维交联的大孔网络。低温N2吸附测试表明,大孔孔壁上存在2～10nm为主的中孔孔隙,同时由于前体的表面复制作用,使样品BET比表面积达到948m2/g。XRD表征显示,所制备的3DOM材料由无序石墨结构的炭质组成。 展开更多

关键词 二氧化硅 胶晶模板 三维有序大孔 炭材料

在线阅读 下载PDF 职称材料

纳米氧化硅在玻璃基片表面亚纳米级抛光中的应用 被引量：4

9

作者 雷红 张鹏珍 卢海参 《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期31-34,共4页

为满足先进电子产品对玻璃基片表面超光滑的要求,制备了一种纳米氧化硅抛光液,并研究了氧化硅粒子大小、抛光时间等参数对玻璃基片抛光后表面粗糙度、材料去除速率的影响。ZYGO形貌仪表明,采用纳米氧化硅抛光液,可以使玻璃表面粗糙度达... 为满足先进电子产品对玻璃基片表面超光滑的要求,制备了一种纳米氧化硅抛光液,并研究了氧化硅粒子大小、抛光时间等参数对玻璃基片抛光后表面粗糙度、材料去除速率的影响。ZYGO形貌仪表明,采用纳米氧化硅抛光液,可以使玻璃表面粗糙度达到0.5 nm左右。AFM表明,抛光后的玻璃基片表面超光滑且无划痕等微观缺陷。 展开更多

关键词 纳米氧化硅抛光液 玻璃基片 亚纳米级粗糙度 平面化

在线阅读 下载PDF 职称材料

单分散SiO_2微球的合成及胶体晶体的生长 被引量：1

10

作者 闫晓红 陈福义 +1 位作者 于子龙 介万奇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1926-1928,共3页

对传统的"St ber-Fink"合成SiO2微球的工艺进行了改进,运用"籽晶生长法"合成了单分散SiO2微球,该法可以准确地控制微球尺寸,提高微球的球形度。采用垂直沉积法制备了胶体晶体,并对样品的结构和光学性能进行了表征... 对传统的"St ber-Fink"合成SiO2微球的工艺进行了改进,运用"籽晶生长法"合成了单分散SiO2微球,该法可以准确地控制微球尺寸,提高微球的球形度。采用垂直沉积法制备了胶体晶体,并对样品的结构和光学性能进行了表征。研究了微球尺寸对垂直沉积SiO2胶体晶体光子带隙的影响,结果表明,通过控制微球粒径,可调节光子晶体的带隙位置。 展开更多

关键词 sio2微球 胶体晶体 垂直沉积

在线阅读 下载PDF 职称材料

聚苯乙烯胶晶模板法制备三维有序大孔SiO_2材料 被引量：10

11

作者 杨卫亚 郑经堂 +2 位作者 谭树成 张艳姝 赵玉翠 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期181-184,共4页

以聚苯乙烯微球(polystyrenemicrosphere)自然沉积形成的胶体晶体作模板,将以正硅酸甲酯制备的SiO2溶胶填充到模板间隙中,原位形成凝胶,最后通过焙烧除去模板,得到三维有序大孔SiO2。通过SEM检测,观察到六方和四方2种有序的大孔排列方... 以聚苯乙烯微球(polystyrenemicrosphere)自然沉积形成的胶体晶体作模板,将以正硅酸甲酯制备的SiO2溶胶填充到模板间隙中,原位形成凝胶,最后通过焙烧除去模板,得到三维有序大孔SiO2。通过SEM检测,观察到六方和四方2种有序的大孔排列方式。大孔孔径及孔径收缩率分别为240nm和19%。2种排列中,大孔之间由小窗口连通,构成三维有序大孔结构。XRD显示,制备的3DOM材料由无定形SiO2组成。 展开更多

关键词 聚苯乙烯微球 胶晶模板 三维有序大孔 二氧化硅

在线阅读 下载PDF 职称材料

SiO_2涂层对多孔氮化物陶瓷材料性能影响初探 被引量：6

12

作者 刘建 李伶 +1 位作者 张伟儒 潘伟 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2004年第6期38-40,共3页

采用硅溶胶+石英粉体在多孔氮化物陶瓷材料表面形成一层致密的过渡层,初步研究了过渡层对多孔 氮化物陶瓷材料部分性能的影响。

关键词 陶瓷材料 sio2涂层 氮化物 硅溶胶 粉体 多孔 性能影响 部分性 初步研究 初探

在线阅读 下载PDF 职称材料

双尺寸胶体晶体的制备及其结构表征 被引量：3

13

作者 伍媛婷 王秀峰 +1 位作者 李二元 谢利民 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期42-46,共5页

采用垂直沉积法制备了双尺寸胶体晶体结构,并实现多种双尺寸SiO2胶体晶体结构的自组装。通过场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对胶体晶体的结构及排列方式进行测试分析。对双尺寸胶体晶体的生长过程进行探讨,研究大小胶体球的粒径比及体积... 采用垂直沉积法制备了双尺寸胶体晶体结构,并实现多种双尺寸SiO2胶体晶体结构的自组装。通过场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对胶体晶体的结构及排列方式进行测试分析。对双尺寸胶体晶体的生长过程进行探讨,研究大小胶体球的粒径比及体积比对结构的影响规律。研究结果表明大小球粒径比过小时,双尺寸胶体晶体排列结构有序性差。增大大胶体球的粒径时,合成相同双尺寸胶体晶体结构所对应的大小胶体球体积比增大。 展开更多

关键词 胶体晶体 双尺寸 二氧化硅微球 自组装

在线阅读 下载PDF 职称材料

改性二氧化硅微球的制备及其光子晶体自组装 被引量：1

14

作者 刘立营 王秀峰 +1 位作者 吴艳霞 章春香 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1217-1220,1229,共5页

为提高SiO2微球的表面电荷密度,通过改进Stber法,引入金属Na,合成SiO2微球,并采用垂直沉积法制备出光子晶体。通过Zeta电位粒度仪、带EDS能谱仪的场发射、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见-近红外光谱仪对其电学性能、显微形貌和光学性... 为提高SiO2微球的表面电荷密度,通过改进Stber法,引入金属Na,合成SiO2微球,并采用垂直沉积法制备出光子晶体。通过Zeta电位粒度仪、带EDS能谱仪的场发射、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见-近红外光谱仪对其电学性能、显微形貌和光学性能进行测试分析。Zeta电位测试结果显示改性SiO2微球的Zeta电位平均提高13.44mV;EDS能谱分析表明微球中含有钠元素;SEM照片表明样品平均粒径为318nm,平均标准偏差小于5%,所得光子晶体为面心立方密排结构;吸收光谱表明在692nm处具有光子晶体带隙。 展开更多

关键词 光子晶体 胶体晶体 二氧化硅微球 改性

在线阅读 下载PDF 职称材料

组装胶体晶体用单分散二氧化硅颗粒的制备 被引量：6

15

作者 方俊 王秀峰 +1 位作者 程冰 杨万莉 《无机盐工业》 CAS 北大核心 2007年第3期37-39,共3页

采用Stober法合成二氧化硅颗粒。通过X射线衍射(XRD)、傅里叶红外光谱(FT-IR)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对其结构和形貌进行分析。结果表明样品为非晶态固体颗粒,平均粒径为463 nm,单分散性较高,平均标准偏差小于5%,表... 采用Stober法合成二氧化硅颗粒。通过X射线衍射(XRD)、傅里叶红外光谱(FT-IR)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对其结构和形貌进行分析。结果表明样品为非晶态固体颗粒,平均粒径为463 nm,单分散性较高,平均标准偏差小于5%,表面非常平整光滑。通过垂直沉积法在40℃和60%相对湿度下制备出有序性较好的密排结构的二氧化硅胶体晶体膜。在电子显微镜下,观察到这种胶体晶体是面心立方(FCC)密排结构,(111)晶面平行于基底。透射光谱表明,所制备的胶体晶体在(111)方向具有光子晶体的带隙性质。 展开更多

关键词 二氧化硅 单分散颗粒 Stober法 光子晶体 胶体晶体

在线阅读 下载PDF 职称材料

前驱体对合成3DOM SiO_2材料微观结构的影响 被引量：2

16

作者 李石 赵东风 +3 位作者 郑经堂 薛建良 孙慧 刘伟 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期865-868,共4页

以自然沉积的聚苯乙烯(PS)胶体晶体为模板,分别以正硅酸乙酯(TEOS)的醇盐溶液和溶胶溶液为前驱体对PS模板进行填充,通过煅烧除去模板,得到了三维有序大孔(3DOM)SiO2材料。由SEM照片观察发现,当以TEOS的醇盐溶液为前驱体时,获得的3DOM S... 以自然沉积的聚苯乙烯(PS)胶体晶体为模板,分别以正硅酸乙酯(TEOS)的醇盐溶液和溶胶溶液为前驱体对PS模板进行填充,通过煅烧除去模板,得到了三维有序大孔(3DOM)SiO2材料。由SEM照片观察发现,当以TEOS的醇盐溶液为前驱体时,获得的3DOM SiO2结构不易控制,缺陷较多。而以TEOS的溶胶溶液为前驱体时获得的3DOM SiO2结构良好,孔径大小均匀,排列整齐,可以看成是PS模板的逆复制,说明前驱体溶液的选择对3DOMSiO2材料的微观结构有显著的影响。XRD分析显示,制备的3DOM SiO2孔壁为无定形结构。 展开更多

关键词 胶体晶体 前驱体 三维有序大孔材料 二氧化硅

在线阅读 下载PDF 职称材料

胶体晶体模板法制备三维有序排列的大孔SiO_2材料 被引量：11

17

作者 杨卫亚 郑经堂 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1324-1327,共4页

将粒径为480 nm的聚苯乙烯微球离心组装为胶体晶体模板,以正硅酸乙酯为硅源配制SiO2溶胶并填充到模板间隙,原位形成凝胶,最后通过焙烧去除模板,得到三维有序大孔(3DOM)SiO2。通过SEM检测,大孔以六方有序的方式排列,其孔径及孔径收缩率... 将粒径为480 nm的聚苯乙烯微球离心组装为胶体晶体模板,以正硅酸乙酯为硅源配制SiO2溶胶并填充到模板间隙,原位形成凝胶,最后通过焙烧去除模板,得到三维有序大孔(3DOM)SiO2。通过SEM检测,大孔以六方有序的方式排列,其孔径及孔径收缩率分别为360 nm和25%。大孔之间由小窗口连通,构成内部三维交联的大孔网络。低温N2吸附测试表明,大孔孔壁上存在中孔孔隙,其中在3～4 nm有一集中的孔分布。XRD显示,制备的3DOM材料由无定形SiO2组成。 展开更多

关键词 聚苯乙烯微球 胶晶模板 三维有序大孔 二氧化硅

在线阅读 下载PDF 职称材料

胶体电解质胶凝时间的调控

18

作者 孙小祥 赵剑曦 《电池》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期31-34,共4页

从制备工艺的选择、胶凝剂的含量、温度和混合胶配方等4个角度,调控胶体电解质的胶凝时间。胶/酸混合工艺能制得长胶凝时间的胶体电解质,分散粒径越小,胶凝时间越长。在现有抽真空灌胶条件下,气相二氧化硅的含量须小于3.5%。降低温度能... 从制备工艺的选择、胶凝剂的含量、温度和混合胶配方等4个角度,调控胶体电解质的胶凝时间。胶/酸混合工艺能制得长胶凝时间的胶体电解质,分散粒径越小,胶凝时间越长。在现有抽真空灌胶条件下,气相二氧化硅的含量须小于3.5%。降低温度能延长胶凝时间,要求制备过程中对硫酸进行预冷和减小混合时硫酸的浓度,以降低稀释热。采用气相二氧化硅与硅溶胶混合制成的混合胶配方能延长胶凝时间,并提高电池的性能。 展开更多

关键词 气相二氧化硅(F-sio2) 胶体电解质 胶凝时间 铅酸电池

在线阅读 下载PDF 职称材料

SiO_2杂化胶体球的显微结构和光谱特性研究

19

作者 黄昌清 田维坚 冯桂兰 《科学技术与工程》 2009年第14期3950-3953,3959,共5页

以正硅酸乙酯为原料,制得了稀土配合物Eu(TTFA)3掺杂的SiO2杂化胶体球,采用透射电子显微镜、傅立叶变换红外光谱仪和荧光分光光度计对其显微结构和光谱特性进行了详细的研究。结果表明,SiO2杂化胶体球具有光滑的表面,平均直径约为210nm... 以正硅酸乙酯为原料,制得了稀土配合物Eu(TTFA)3掺杂的SiO2杂化胶体球,采用透射电子显微镜、傅立叶变换红外光谱仪和荧光分光光度计对其显微结构和光谱特性进行了详细的研究。结果表明,SiO2杂化胶体球具有光滑的表面,平均直径约为210nm,尺寸多分散性为4.8%,主要是由四元硅氧烷环骨架结构组成。荧光光谱分析表明,Eu(TTFA)3掺杂的SiO2杂化胶体球具有Eu3+离子典型的荧光光谱特性,同时SiO2基体的存在对Eu3+离子的荧光特性具有一定的影响。 展开更多

关键词 Eu(TTFA)3 sio2杂化胶体球 光谱特性 单分散性

在线阅读 下载PDF 职称材料

溶胶-凝胶法制备Al_2O_3-SiO_2-ZrO_2薄膜工艺参数探讨 被引量：1

20

作者 董旭娟 同帜 +2 位作者 崔双科 胡敏盾 邹力 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期44-48,共5页

用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜,研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜质量的影响.通过黏度测试、热重分析、X射线衍射分析(XRD)及原子力显微镜分析(AFM)等测试方法对溶胶的稳定性、复合膜的热稳定性、晶相组成及表面形貌等进行分析... 用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜,研究溶胶成分和烧结工艺对薄膜质量的影响.通过黏度测试、热重分析、X射线衍射分析(XRD)及原子力显微镜分析(AFM)等测试方法对溶胶的稳定性、复合膜的热稳定性、晶相组成及表面形貌等进行分析.结果表明,当Al2O3∶SiO2∶ZrO2(mol/mol/mol)=1∶2∶0.5时,制得的溶胶粘度适中为3.22mPa·s、透明稳定,且干凝胶无开裂;以0.5℃/min的升温速率升至600℃焙烧2h,并在75℃和240℃附近以0.25℃/min的速率缓慢升温且适当保温后,可得外观透明、性能稳定的Al2O3-SiO2-ZrO2复合薄膜,并且薄膜呈致密性、表面平整、结构均匀、无裂纹. 展开更多

关键词 溶胶-凝胶法 Al2O3-sio2-ZrO2复合薄膜 膜层开裂 溶胶稳定性

在线阅读 下载PDF 职称材料