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基于工位自控制的全自动单片清洗设备的软件设计: 1; 作者高建利《电子工业专用设备》 2015年第1期39-42,共4页; 为了更好的控制全自动单片清洗设备,通过研究设备的结构和运行流程,提出了一种基于工位自控制的方法实现设备自动运行的软件设计,使各工位并行运行,提高了运行效率。; 关键词半导体设备自控制单片清洗软件设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于工位自控制的全自动单片清洗设备的软件设计	高建利	《电子工业专用设备》	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料

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