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自混合干涉微位移传感器
被引量：
12
1
作者
王鸣
聂守平
+1 位作者
李明
李达成
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期428-431,共4页
有许多测量微位移的光干涉方法 ,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统 ,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件。提出用激光自混合干涉术测量微位移 ,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法 ,用快速傅立叶变换(FFT)相位...
有许多测量微位移的光干涉方法 ,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统 ,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件。提出用激光自混合干涉术测量微位移 ,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法 ,用快速傅立叶变换(FFT)相位探测技术分析自混合干涉信号 ,可提高相位测量精度。提出的传感器可以用于亚微米级位移的测量和控制 ,并给出了
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关键词
自混合干涉
信号
光学元器件
FFT
微位移
快速傅立叶变换
相位测量
传感器
紧凑
测量系统
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职称材料
大量程纳米级垂直扫描系统研究
被引量：
6
2
作者
王淑珍
王生怀
谢铁邦
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期387-390,476,共5页
研究开发了一种大量程纳米级垂直扫描系统,该系统采用粗/精两级驱动,粗驱动子系统由滑动导轨、直流无刷电机、精密丝杠组成,精驱动子系统由平行平板柔性铰链和压电陶瓷组成。对平行平板柔性铰链进行了力学分析,并推导计算了其固有频率...
研究开发了一种大量程纳米级垂直扫描系统,该系统采用粗/精两级驱动,粗驱动子系统由滑动导轨、直流无刷电机、精密丝杠组成,精驱动子系统由平行平板柔性铰链和压电陶瓷组成。对平行平板柔性铰链进行了力学分析,并推导计算了其固有频率。该垂直扫描系统的粗位移和精位移由同一套激光干涉位移计量系统计量。该垂直扫描系统运动范围为0～40mm,运动分辨率为5nm。
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关键词
垂直扫描系统
粗/精两级驱动
柔性铰链
激光干涉位移计量
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职称材料
题名
自混合干涉微位移传感器
被引量：
12
1
作者
王鸣
聂守平
李明
李达成
机构
南京师范大学物理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验室
清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期428-431,共4页
基金
国家自然科学基金
江苏省自然科学基金资助项目
文摘
有许多测量微位移的光干涉方法 ,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统 ,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件。提出用激光自混合干涉术测量微位移 ,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法 ,用快速傅立叶变换(FFT)相位探测技术分析自混合干涉信号 ,可提高相位测量精度。提出的传感器可以用于亚微米级位移的测量和控制 ,并给出了
关键词
自混合干涉
信号
光学元器件
FFT
微位移
快速傅立叶变换
相位测量
传感器
紧凑
测量系统
Keywords
self-mixing interference displacement measurement pzt actuator
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TN248 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
大量程纳米级垂直扫描系统研究
被引量：
6
2
作者
王淑珍
王生怀
谢铁邦
机构
华中科技大学
洛阳理工学院
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期387-390,476,共5页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(2008AA042409)
文摘
研究开发了一种大量程纳米级垂直扫描系统,该系统采用粗/精两级驱动,粗驱动子系统由滑动导轨、直流无刷电机、精密丝杠组成,精驱动子系统由平行平板柔性铰链和压电陶瓷组成。对平行平板柔性铰链进行了力学分析,并推导计算了其固有频率。该垂直扫描系统的粗位移和精位移由同一套激光干涉位移计量系统计量。该垂直扫描系统运动范围为0～40mm,运动分辨率为5nm。
关键词
垂直扫描系统
粗/精两级驱动
柔性铰链
激光干涉位移计量
Keywords
vertical scanning system
coarse/fine dual-stage
actuator
flexure hinge
laser
interference
displacement
measur
ing
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
自混合干涉微位移传感器
王鸣
聂守平
李明
李达成
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
12
在线阅读
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职称材料
2
大量程纳米级垂直扫描系统研究
王淑珍
王生怀
谢铁邦
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
6
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职称材料
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