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EScribe:一种动态路由的Topic发布订阅系统
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作者 高胜 李国徽 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2012年第4期673-678,共6页
Scribe是一种经典的基于Topic的发布订阅系统,它通过分布式组播树将Event分发给订阅者.Scribe需要定期维护组播树,因此造成了大量冗余的Event传递和高昂的维护代价.提出一种基于Scribe的增强型Topic发布订阅系统,简称EScribe.EScribe利... Scribe是一种经典的基于Topic的发布订阅系统,它通过分布式组播树将Event分发给订阅者.Scribe需要定期维护组播树,因此造成了大量冗余的Event传递和高昂的维护代价.提出一种基于Scribe的增强型Topic发布订阅系统,简称EScribe.EScribe利用布隆过滤器存储Pastry叶子节点的订阅信息,动态地调整下一跳路由.节点维护子树的间隔时间随着节点在组播树中的层次增大而加长.实验结果表明,EScribe大幅减小了冗余Event传递的数量和组播树规模,也明显减小了Event分发和组播树维护的代价. 展开更多
关键词 Topic发布订阅系统 信息分发服务 scribe 组播树 布隆过滤器 动态路由
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碳化硅晶圆片划片切割方法综述
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作者 刘夫 周玉彪 +2 位作者 颜思源 程其仁 张屹 《激光与红外》 北大核心 2025年第5期643-650,共8页
第三代半导体材料碳化硅因其具有大禁带宽度、高导热性和化学稳定性强等优良性能,以其为衬底材料制作的功率器件具有广阔的应用前景和重要的战略意义。晶圆划片是碳化硅功率器件制造流程中的重要工艺环节,该工序目前仍以传统的金刚石刀... 第三代半导体材料碳化硅因其具有大禁带宽度、高导热性和化学稳定性强等优良性能,以其为衬底材料制作的功率器件具有广阔的应用前景和重要的战略意义。晶圆划片是碳化硅功率器件制造流程中的重要工艺环节,该工序目前仍以传统的金刚石刀轮划片方法为主,然而,碳化硅的高硬脆性给传统加工技术带来了极大地挑战,带来了高加工成本、低良品率等问题,因此亟需一种更优的划片技术来应对上述挑战。本文系统综述了碳化硅晶圆国内外现有的划片方法,介绍了刀轮划片、激光烧蚀、激光热裂解、水导激光切割、水射流辅助激光切割与激光内部改质切割的原理与进展,对比分析了几种划片方法的优缺点,并对碳化硅晶圆切割技术的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 碳化硅 划片切割 激光技术 激光内部改质切割
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耐热刻痕取向硅钢去应力退火工艺及其在立体卷铁心中的模拟研究
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作者 赵自鹏 胡卓超 张一航 《热加工工艺》 北大核心 2025年第7期56-60,共5页
基于耐热刻痕取向硅钢生产立体卷铁心的制造过程和退火工艺,研究了去应力退火制度对耐热刻痕取向硅钢磁性能的影响,并构建了退火炉内铁心的仿真计算模型。结果表明,耐热刻痕取向硅钢退火温度在750℃以上且保温时长不低于60 min可有效消... 基于耐热刻痕取向硅钢生产立体卷铁心的制造过程和退火工艺,研究了去应力退火制度对耐热刻痕取向硅钢磁性能的影响,并构建了退火炉内铁心的仿真计算模型。结果表明,耐热刻痕取向硅钢退火温度在750℃以上且保温时长不低于60 min可有效消除卷制产生的内应力;去应力退火过程中,升温和降温阶段铁心各处存在显著的温度差异,一定时长的保温段可减小温度差异,保持铁心内部受热均匀性;使用模拟计算的方法,可以准确预报铁心各处温度的变化。 展开更多
关键词 立体卷铁心 耐热刻痕 取向硅钢 去应力退火 计算
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双磨粒划擦2D SiC_(f)/SiC复合材料实验
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作者 郭晋竹 刘瑶 +1 位作者 王优哲 王栋 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2025年第2期153-162,共10页
为揭示2D SiC_(f)/SiC复合材料的磨削去除机理和磨粒间的耦合作用,在纤维编织表面(woven surface,WS)和叠加表面(stacking surface,SS)上,进行WS0、WS45和SS0、SS90方向的双磨粒划擦实验,观察划痕表面形貌,并测量划擦力。结果表明:横向... 为揭示2D SiC_(f)/SiC复合材料的磨削去除机理和磨粒间的耦合作用,在纤维编织表面(woven surface,WS)和叠加表面(stacking surface,SS)上,进行WS0、WS45和SS0、SS90方向的双磨粒划擦实验,观察划痕表面形貌,并测量划擦力。结果表明:横向纤维主要为剪切、拉伸和弯曲断裂;法向纤维以剪切去除为主,边缘伴随有少量的弯曲去除;纵向纤维的去除以拉伸(切入点)和弯曲(切出点)断裂为主,伴随有大量的纤维剥离;基体的去除形式有裂纹扩展、延性划痕、粉末化去除和脆性剥离。划擦力大小顺序为F_(SS0)>F_(WS45)>F_(SS90)>F_(WS0),在SS0时大量的基体被粉末化去除而消耗较多的能量,WS0时主要是横向纤维和纵向纤维的去除。与单颗磨粒实验对比,去除相同体积的材料,双磨粒的法向划擦力合力小于单颗磨粒划擦的法向划擦力合力,第1颗磨粒划擦后在表面形成的损伤导致第2颗磨粒去除相同体积材料时需要的能量降低,磨粒之间表现出较强的耦合关系,使2D SiC_(f)/SiC复合材料磨削力降低的同时获得更好的表面质量。 展开更多
关键词 双磨粒划擦 SiC_(f)/SiC复合材料 纤维取向 划擦力 表面形貌
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基于空程和方向的船体装配线划线路径优化
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作者 申燚 戴现令 +2 位作者 袁明新 李解 蒋为钰 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期2406-2418,共13页
为解决复杂船体装配线划线路径优化时精度低和收敛速度慢的问题,进而提高数控划线枪的作业效率,提出了基于空程和方向的船体装配线划线路径的调参免疫优化。首先以装配线的划线顺序和划线方向建立目标函数;然后借鉴凸透镜虚实成像原理... 为解决复杂船体装配线划线路径优化时精度低和收敛速度慢的问题,进而提高数控划线枪的作业效率,提出了基于空程和方向的船体装配线划线路径的调参免疫优化。首先以装配线的划线顺序和划线方向建立目标函数;然后借鉴凸透镜虚实成像原理设计了新免疫优化算法,基于进化代数和种群浓度自适应调节交叉和变异概率,并引入疫苗操作实现了船体装配线划线路径求解;最后基于马尔科夫链理论证明了免疫优化算法的收敛性。六组高维函数测试结果表明,与遗传算法、免疫遗传算法和自适应改进遗传算法相比,所提算法实现了100%寻优,且最小收敛代数、平均收敛代数、迭代代数标准差分别平均减少了29.63%、28.96%和18.33%。四种船体结构的装配线划线路径优化测试结果表明,相比起其他三种算法,所提算法的路径规划性能最佳,其最小值和平均值分别平均减少了1.38%和2.39%,平均收敛代数和迭代代数标准差分别平均减少了17.19%和13.08%,从而进一步验证了船体装配线划线路径调参免疫优化的有效性和优越性。 展开更多
关键词 船体装配线 划线路径 空走行程 虚实成像 免疫优化
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面向晶圆划刻的兆声辅助激光加工实验研究 被引量:1
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作者 翟科 王一帆 +3 位作者 杨子昊 田恩宝 薛寒 杜立群 《电加工与模具》 北大核心 2024年第4期50-54,60,共6页
针对晶圆划刻中激光加工易产生重铸层且得到的沟槽深宽比小等问题,提出了兆声辅助激光加工方法,对激光烧蚀与兆声振动理论进行分析,并利用响应面分析法对加工参数进行优化。结果表明,兆声波能够将烧蚀产生的液相材料和熔融碎屑击出烧蚀... 针对晶圆划刻中激光加工易产生重铸层且得到的沟槽深宽比小等问题,提出了兆声辅助激光加工方法,对激光烧蚀与兆声振动理论进行分析,并利用响应面分析法对加工参数进行优化。结果表明,兆声波能够将烧蚀产生的液相材料和熔融碎屑击出烧蚀区,从而减小重铸层面积,改善晶圆的表面形貌;附加兆声辅助后,沟槽划刻后晶圆表面重铸层面积减小约25%,烧蚀深宽比由2.65增加到3.82。基于上述研究,在晶圆表面划刻得到了形貌良好的网格结构,证明此方法能有效改善晶圆划刻的表面形貌,减少重铸层的产生,提高晶圆划刻的效率与精度。 展开更多
关键词 激光加工 兆声振动 响应面分析 晶圆划刻
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取向硅钢细化磁畴技术研究进展 被引量:3
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作者 王丽娜 何承绪 李萧 《热加工工艺》 北大核心 2024年第2期6-11,共6页
细化磁畴技术是取向硅钢生产过程中重要的技术手段之一,可有效降低带材损耗。介绍了取向硅钢损耗的影响因素、细化磁畴降低铁损的原理,同时对两种类型细化磁畴技术的原理和研究现状进行了综述。非耐热型细化磁畴技术相对成熟稳定,已实... 细化磁畴技术是取向硅钢生产过程中重要的技术手段之一,可有效降低带材损耗。介绍了取向硅钢损耗的影响因素、细化磁畴降低铁损的原理,同时对两种类型细化磁畴技术的原理和研究现状进行了综述。非耐热型细化磁畴技术相对成熟稳定,已实现工业应用。耐热型细化磁畴技术目前被少数企业所垄断,国内仅宝钢掌握大功率激光刻痕细化磁畴技术,而其他耐热型细化磁畴技术更多处于实验室研发阶段,无法应用于工业生产。在能源结构调整、电工装备要求不断提升的背景下,对耐热型取向硅钢提出了更多的需求,未来耐热型细化磁畴技术将成为取向硅钢细化磁畴技术的一个重点研究方向。 展开更多
关键词 取向硅钢 细化磁畴 激光刻痕 机械刻痕 铁损
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“依口代笔”与“依稿代笔”:清代清水江契约的代笔方式 被引量:1
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作者 瞿见 《思想战线》 CSSCI 北大核心 2024年第1期83-97,共15页
传统契约文书的研究随新材料的大量刊布而不断发展,但契约研究的一个基础性问题,即这些契约是如何制作的,尚缺乏充分讨论。在多数契约均为“代笔”的情况下,上述问题的重点在于考察契约的代笔方式为何。就此,清水江契约中的“依口代笔... 传统契约文书的研究随新材料的大量刊布而不断发展,但契约研究的一个基础性问题,即这些契约是如何制作的,尚缺乏充分讨论。在多数契约均为“代笔”的情况下,上述问题的重点在于考察契约的代笔方式为何。就此,清水江契约中的“依口代笔”与“依稿代笔”可以成为分析的关键:相较于旧说,前者并非指“依口录词”,而应被理解为“依议写契”;后者亦非“照词抄誊”,而是指依契约议定而完成草稿誊正。据此,代笔写契的性质不应是“听写”或“誊写/抄写”,而是具备主体表达可能的“书写”,代笔人的角色因而也远非“打字员”而已。在此意义上,契约并非完全是“记录”,而有可能是被“书写”的,关于其性质的理解或应从事实记载转变为一种“说法”或“叙述”。 展开更多
关键词 契约 代笔 清水江文书 书写
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基于P2P的MMOG兴趣域内多播改进算法 被引量:1
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作者 王岩 李照奎 石祥滨 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期247-249,共3页
针对SCRIBE在解决基于P2P的巨量多玩家网络游戏兴趣域内多播时,产生的多播效率低、游戏状态数据同步性差问题,提出一种SCRIBE改进多播算法,该算法考虑P2P网络中终端节点在带宽和计算能力上的异构性,同时保证同一组中节点具有共同的兴趣... 针对SCRIBE在解决基于P2P的巨量多玩家网络游戏兴趣域内多播时,产生的多播效率低、游戏状态数据同步性差问题,提出一种SCRIBE改进多播算法,该算法考虑P2P网络中终端节点在带宽和计算能力上的异构性,同时保证同一组中节点具有共同的兴趣。仿真结果表明,该算法能够在较大程度上减小消息冗余和降低多播延迟,提高游戏状态数据的同步性。 展开更多
关键词 对等网络 兴趣域 scribe算法 应用层多播
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激光刻痕对取向硅钢铁损和磁畴的影响规律研究 被引量:11
10
作者 杨富尧 古凌云 +3 位作者 马光 陈新 任宇 薛志勇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期2160-2165,2170,共7页
激光刻痕是一种降低取向硅钢片铁损的有效方法。选取激光功率、扫描速度、激光频率、刻痕间距作为工艺变量,对取向硅钢片进行刻痕实验,并利用磁性能测试系统和磁畴观测仪研究了不同工艺参数对激光刻痕后取向硅钢铁损和磁畴的改善效果。... 激光刻痕是一种降低取向硅钢片铁损的有效方法。选取激光功率、扫描速度、激光频率、刻痕间距作为工艺变量,对取向硅钢片进行刻痕实验,并利用磁性能测试系统和磁畴观测仪研究了不同工艺参数对激光刻痕后取向硅钢铁损和磁畴的改善效果。结果表明,取向硅钢片的平均铁损降低率随激光功率和刻痕间距增大而先增大后减小,随激光频率和扫描速度增大而减小。经不同工艺参数刻痕后,硅钢片的磁畴宽度均有所减小,且磁畴宽度的变化规律与铁损降低率的变化规律相吻合。优化了取向硅钢片的激光刻痕工艺参数,利用此工艺刻痕后,取向硅钢片的平均铁损降低率达8%。 展开更多
关键词 取向硅钢 激光刻痕 铁损 细化磁畴
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河南两地市小麦白粉病菌的分子鉴定和进化分析 被引量:18
11
作者 张怡 张佩佩 +4 位作者 马晓萌 傅露露 乔月娥 陈佩佩 李成伟 《华北农学报》 CSCD 北大核心 2012年第1期189-192,共4页
通过对河南省周口市和商丘市小麦白粉病菌进行分子鉴定及分析,以期为小麦白粉病菌的防治和系统进化奠定基础。对小麦白粉病菌进行了扫描电镜的显微形态观察、核糖体DNA转录间隔区(ITS)序列测定及进化树分析。结果显示:周口和商丘的小麦... 通过对河南省周口市和商丘市小麦白粉病菌进行分子鉴定及分析,以期为小麦白粉病菌的防治和系统进化奠定基础。对小麦白粉病菌进行了扫描电镜的显微形态观察、核糖体DNA转录间隔区(ITS)序列测定及进化树分析。结果显示:周口和商丘的小麦白粉病菌均属于禾本科布氏白粉菌;系统进化发现,商丘的小麦白粉病菌与地域相距较远的英国、法国、美国的小麦白粉病菌的同源性极高,而与地域很近的周口小麦白粉病菌同源性却不高,推测小麦白粉病菌的进化可能与其自身的小种进化有关。 展开更多
关键词 小麦白粉病菌 系统进化 扫描电镜 DNA转录间隔区 进化树
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取向硅钢细化磁畴技术的研究现状及展望 被引量:10
12
作者 杨富尧 古凌云 +3 位作者 何承绪 程灵 马光 陈新 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第21期36-40,共5页
细化磁畴技术可有效降低变压器用取向硅钢的铁损。综述了国内外取向硅钢细化磁畴技术的原理及研究现状,评价了目前机械加工法、等离子喷射法、放电处理法、超声波法以及激光刻痕法等细化磁畴技术存在的技术优缺点,并对未来细化磁畴技术... 细化磁畴技术可有效降低变压器用取向硅钢的铁损。综述了国内外取向硅钢细化磁畴技术的原理及研究现状,评价了目前机械加工法、等离子喷射法、放电处理法、超声波法以及激光刻痕法等细化磁畴技术存在的技术优缺点,并对未来细化磁畴技术的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 取向硅钢 细化磁畴 激光刻痕 铁损
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球刻痕法对高磁感取向硅钢磁性的影响 被引量:9
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作者 王浩 李长生 +1 位作者 蔡般 Nkwachukwa Chukwuchekwa 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1571-1574,共4页
试验研究了球刻痕法对高磁感取向硅钢的铁损、矫顽力、相对磁导率、巴克豪森噪声等磁学性能的影响.研究结果表明:经过球刻痕处理后,高磁感取向硅钢的铁损明显降低,矫顽力下降,8 mm球刻痕过后铁损值与矫顽力分别下降16.2%和14.7%,且铁损... 试验研究了球刻痕法对高磁感取向硅钢的铁损、矫顽力、相对磁导率、巴克豪森噪声等磁学性能的影响.研究结果表明:经过球刻痕处理后,高磁感取向硅钢的铁损明显降低,矫顽力下降,8 mm球刻痕过后铁损值与矫顽力分别下降16.2%和14.7%,且铁损和矫顽力均随刻痕间距降低而减少.刻痕后的高磁感取向硅钢磁导率在高磁感应强度下明显上升,刻痕后巴克豪森噪声值明显降低,经过对比分析确定8 mm为球刻痕的最佳刻痕间距.从磁畴观察、细化磁畴的原理等方面解释了细化磁畴对高磁感取向硅钢性能的影响原因. 展开更多
关键词 球刻痕 高磁感取向硅钢 铁损 巴克豪森噪声 矫顽力 磁导率
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液位实时自动跟踪测量系统 被引量:10
14
作者 徐驰 孙长库 +1 位作者 王鹏 贾伟广 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1506-1510,共5页
针对传统液位测量方法的精度低、速度慢、测量范围受限制等问题,设计了一套基于视觉图像处理的高精度、快速的液位自动测量系统,它适用于测量范围大、液位变化速度快的实时液位测量。该系统以CCD摄像机采集的液位和钢尺图像为基础,通过... 针对传统液位测量方法的精度低、速度慢、测量范围受限制等问题,设计了一套基于视觉图像处理的高精度、快速的液位自动测量系统,它适用于测量范围大、液位变化速度快的实时液位测量。该系统以CCD摄像机采集的液位和钢尺图像为基础,通过钢尺刻度识别、钢尺刻线及液位识别三大识别模块完成液位高度测量,根据液位高度反馈控制电机带动CCD相机跟随液位实现实时自动跟踪测量。为了提高算法的识别速度,增强算法的鲁棒性,该系统采用了NCC(Normalized Cross Corre-lation)模板匹配数字识别方法,在刻线识别和液位识别过程中充分利用了图像的灰度特征和钢尺的结构特征完成识别。实验结果表明该测量系统的算法有着较高的鲁棒性以及较快的测量速度,可以完成精度在0.1mm以内的液位测量,可以被应用于精度要求高的液位测量场合。 展开更多
关键词 图像处理 液位实时测量 钢尺刻度识别 钢尺刻线识别 模板匹配
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玉柄形器名“瓒”说——辅证内史亳同与《尚书·顾命》“同瑁”问题 被引量:41
15
作者 李小燕 井中伟 《考古与文物》 CSSCI 北大核心 2012年第3期34-53,共20页
玉柄形器是夏至西周时期中原地区比较常见的具有某种宗教祭祀色彩的重要礼器。根据考古学、古文字学和历史文献学资料,玉柄形器应定名为"瓒",它是三代祼祭用玉之一,将鬯酒灌注于玉瓒美食,贡献给祖先神灵歆享,应是祼祭的核心内... 玉柄形器是夏至西周时期中原地区比较常见的具有某种宗教祭祀色彩的重要礼器。根据考古学、古文字学和历史文献学资料,玉柄形器应定名为"瓒",它是三代祼祭用玉之一,将鬯酒灌注于玉瓒美食,贡献给祖先神灵歆享,应是祼祭的核心内容,也是"祼"字的本义。 展开更多
关键词 玉柄形器 裸礼 内史亳同
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涂层耐中性盐雾试验的划线方法及试验后的评定 被引量:7
16
作者 曹晓东 张平 季小沛 《涂料工业》 CAS CSCD 2007年第11期61-62,69,共3页
介绍了涂层试板耐中性盐雾试验中关于划线的几种形式、划线方法以及试验后的评定方法,并对这些方法进行了讨论。
关键词 涂层 划线 中性盐雾试验 评定
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空间用三结砷化镓太阳电池激光划片技术研究 被引量:3
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作者 仇恒抗 苏宝法 +2 位作者 池卫英 陆剑峰 贾巍 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期1297-1301,共5页
以空间用三结砷化镓太阳电池激光划片为研究对象,对激光光源、功率、脉冲频率、划片速度等参数进行试验研究。研究结果表明:选用功率4 W、频率120 k Hz的355 nm紫外激光光源,采用50 mm/s的切割速度,对三结砷化镓太阳电池有良好的划片效... 以空间用三结砷化镓太阳电池激光划片为研究对象,对激光光源、功率、脉冲频率、划片速度等参数进行试验研究。研究结果表明:选用功率4 W、频率120 k Hz的355 nm紫外激光光源,采用50 mm/s的切割速度,对三结砷化镓太阳电池有良好的划片效果,切割宽度约14μm、深度约195μm,为激光切割技术用于三结砷化镓太阳电池的批量生产提供可能。 展开更多
关键词 三结砷化镓 太阳电池 激光划片 工程应用
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PI衬底n-i-p结构非晶硅薄膜太阳能电池的制备 被引量:2
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作者 李旺 刘石勇 +4 位作者 刘路 王仕鹏 黄海燕 牛新伟 陆川 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2350-2353,2358,共5页
利用传统硅薄膜太阳能电池生产设备、以硬质玻璃为载板,在低透光率的聚酰亚胺(PI)衬底上制备了n-i-p结构的单结非晶硅(a-Si)薄膜太阳能电池组件,并通过掩膜绝缘和激光划分绝缘组合的方式在同一块PI衬底上实现了多节电池串联一体的结构... 利用传统硅薄膜太阳能电池生产设备、以硬质玻璃为载板,在低透光率的聚酰亚胺(PI)衬底上制备了n-i-p结构的单结非晶硅(a-Si)薄膜太阳能电池组件,并通过掩膜绝缘和激光划分绝缘组合的方式在同一块PI衬底上实现了多节电池串联一体的结构。封装后电池组件的有效发电面积的转化效率达到5.13%,电池的转化效率还存在较大的提升空间。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 n-i-p结构 激光划分绝缘 掩盖分割 非晶硅薄膜 太阳能电池
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脉冲绿激光划切蓝宝石基片的工艺参量研究 被引量:2
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作者 谢小柱 高勋银 +2 位作者 陈蔚芳 魏昕 胡伟 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期632-637,共6页
为了提高划切蓝宝石的成品率和划切效率,研究了脉冲绿激光(波长532nm)的偏振性、脉冲激光能量、激光焦点位置、扫描速率、扫描次数等工艺参量对蓝宝石基片划切质量的影响。结果表明,脉冲绿激光划切蓝宝石基片时,扫描方向平行于入射面线... 为了提高划切蓝宝石的成品率和划切效率,研究了脉冲绿激光(波长532nm)的偏振性、脉冲激光能量、激光焦点位置、扫描速率、扫描次数等工艺参量对蓝宝石基片划切质量的影响。结果表明,脉冲绿激光划切蓝宝石基片时,扫描方向平行于入射面线偏振方向,焦点位置为负离焦50μm,可以获得良好的微划槽;脉冲激光能量增加,划槽深度和宽度增加;扫描速率增加,切槽深度减小,划槽宽度先增加后减小;扫描次数增加,划槽深度和宽度增加。这些结果对合理选择激光划切蓝宝石基片工艺参量以获得较好质量的刻槽有一定帮助。 展开更多
关键词 激光技术 激光划切 蓝宝石 532NM激光 工艺参量研究
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声光调Q Nd:YAG激光对硅划片的研究 被引量:3
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作者 齐军 王昆林 +1 位作者 梁绵长 朱允明 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期45-48,共4页
研究了利用调QNdYAG激光对硅片的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与工艺参数之间的关系。还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,推导了激光束使材料发生熔化和汽化时的能量密度阈值。
关键词 激光划片 硅片 能量密度阈值
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