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基于SNV校正表面粗糙度影响的光谱共焦位移测量方法研究
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作者 李春艳 付雯雯 +4 位作者 刘继红 李丹琳 武少杰 王泞淋 任凯利 《光子学报》 北大核心 2025年第4期45-55,共11页
为提高光谱共焦位移测量系统的适用性和测量精度,系统分析了样品表面粗糙度对位移测量的影响并提出了误差校正算法模型。首先,介绍了光谱共焦位移测量系统的工作原理,基于光散射理论,利用小斜率近似法推导了粗糙度影响下的样品表面光束... 为提高光谱共焦位移测量系统的适用性和测量精度,系统分析了样品表面粗糙度对位移测量的影响并提出了误差校正算法模型。首先,介绍了光谱共焦位移测量系统的工作原理,基于光散射理论,利用小斜率近似法推导了粗糙度影响下的样品表面光束的反射特性变化,建立了粗糙度对位移测量影响的关系模型。然后,对表面粗糙度引起的峰值波长曲线漂移导致的位移测量误差进行了理论研究和仿真分析,结果表明:表面粗糙度会导致位移测量的精度降低,粗糙度越大,造成的轴向位移偏差越大。为校正粗糙度的影响,提出采用标准正态变量变换法对光谱数据进行校正处理,建立粗糙度误差校正模型,并利用支持向量机算法提高模型的训练效果和分类性能,进一步减小粗糙度的影响。最后,搭建光谱共焦测量系统,对粗糙度分别为10 nm、15 nm、20 nm、25 nm、30 nm、35 nm的碳素钢样块进行测量,测得位移相对标准偏差由1.59%降低为0.12%,验证了校正方法的有效性。本文研究结果对提高系统测量精度及对不同样品的适用性有一定的指导意义。 展开更多
关键词 表面粗糙度 光谱共焦 散射 SVM算法 SNV方法
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基于FE-BI的介质粗糙面上方涂覆目标电磁散射特性研究 被引量:2
2
作者 李科 何红杰 +1 位作者 郭立新 王蕊 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第2期252-256,共5页
采用有限元-边界积分(finite element boundary integral,FE-BI)方法研究了介质粗糙面上方涂覆目标的复合电磁散射特性,推导了一维介质粗糙面上方二维涂覆目标电磁散射的FE-BI公式.在仿真中,采用功能强大的有限元方法模拟涂覆目标内部场... 采用有限元-边界积分(finite element boundary integral,FE-BI)方法研究了介质粗糙面上方涂覆目标的复合电磁散射特性,推导了一维介质粗糙面上方二维涂覆目标电磁散射的FE-BI公式.在仿真中,采用功能强大的有限元方法模拟涂覆目标内部场,对于涂覆目标与粗糙面之间的多重耦合作用则通过边界积分方程方法进行考虑.结合Monte-Carlo方法,数值计算了介质高斯粗糙面上方涂覆圆柱目标的电磁散射,分析了涂层材料介电常数、粗糙面粗糙度以及介质粗糙面介电常数变化对复合模型双站散射系数的影响.数值结果表明,相比于传统矩量法(method of moment,MoM),本文方法虽然在处理理想导体模型时效率略低,但可以处理MoM难以处理的复杂媒质电磁散射问题,且计算精度较高. 展开更多
关键词 有限元-边界元(fe-BI) 混合方法 粗糙面 涂覆目标 复合电磁散射
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粗糙面瞬态近场散射的SARC-TDPO方法 被引量:1
3
作者 田炜 杨鹏举 +1 位作者 赵晔 杜欣悦 《电波科学学报》 CSCD 北大核心 2024年第6期1067-1072,共6页
针对全波方法处理微粗糙度表面瞬态近场散射时,面临计算量巨大的问题,提出了一种半解析递归卷积(semianalytical recursive convolution, SARC)结合时域物理光学(time-domain physical optics, TDPO)的混合方法。将计算任务分解为粗糙... 针对全波方法处理微粗糙度表面瞬态近场散射时,面临计算量巨大的问题,提出了一种半解析递归卷积(semianalytical recursive convolution, SARC)结合时域物理光学(time-domain physical optics, TDPO)的混合方法。将计算任务分解为粗糙面等效源的TDPO求解和等效源瞬态近场辐射的时域惠更斯原理分析,为提高等效源与时域格林函数卷积计算效率,基于数字信号处理思想,给出了适用于瞬态近场辐射分析的SARC方案,即先利用Prony方法将时域格林函数近似为指数函数之和,再利用SARC解决粗糙面等效源近场辐射的步进式计算。运用SARC-TDPO混合方法计算了Pierson-Moscowitz海谱(PM谱)海面的瞬态散射近场,并与传统时域有限差分(finite-difference time-domain, FDTD)方法进行了对比验证,结果表明该混合方法不但能保证计算精度,还可大大提高计算效率,而且近场点相对粗糙面越远,效率优势越明显。 展开更多
关键词 瞬态近场散射 粗糙面 时域物理光学(TDPO)法 半解析递归卷积(SARC)方案
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介质粗糙面与组合目标宽带电磁散射特性研究
4
作者 朱小敏 于泽文 《现代电子技术》 北大核心 2024年第9期177-181,共5页
文中对介质粗糙面和组合目标的宽带复合电磁散射特性进行研究,通过数值计算得到了复合散射系数频率响应曲线。分析结果显示,后向复合散射系数在宽频带范围内随着频率的变化而产生振荡,粗糙面的高度均方根、介电常数、组合目标尺度、目... 文中对介质粗糙面和组合目标的宽带复合电磁散射特性进行研究,通过数值计算得到了复合散射系数频率响应曲线。分析结果显示,后向复合散射系数在宽频带范围内随着频率的变化而产生振荡,粗糙面的高度均方根、介电常数、组合目标尺度、目标介电常数等因素对复合散射系数有显著的影响,且影响规律较为复杂。相比之下,粗糙面的相关长度对复合散射系数的影响较为微弱。当目标是理想导体时,频率响应曲线近似呈现出准周期性的振荡形态。 展开更多
关键词 介质粗糙面 组合目标 宽带复合散射 时域有限差分方法 电磁散射特性 频率响应曲线
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三类新型随机粗糙面模型的快速散射特性分析 被引量:7
5
作者 李昌泽 童创明 +2 位作者 齐立辉 武光辉 王安 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第6期1093-1101,共9页
基于表面粗糙度对雷达目标电磁散射特性的影响,为真实地模拟实际自然场境,提出了三类粗糙环境中表面粗糙度不同的新型分区域复合随机粗糙面模型.采用在同一粗糙面上使用不同均方根高度和相关长度的方法进行建模,替代了传统的单一谱函数... 基于表面粗糙度对雷达目标电磁散射特性的影响,为真实地模拟实际自然场境,提出了三类粗糙环境中表面粗糙度不同的新型分区域复合随机粗糙面模型.采用在同一粗糙面上使用不同均方根高度和相关长度的方法进行建模,替代了传统的单一谱函数模型.应用稀疏矩阵平面迭代/规范网格法快速计算了此三类新型随机粗糙面模型的电磁散射特性,重点分析了不同表面粗糙度模型对于环境电磁散射特性的影响,为研究、分析和探测符合实际自然环境的地形、地貌提供了理论依据. 展开更多
关键词 随机粗糙面模型 稀疏矩阵平面迭代法 规范网格法 电磁散射
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用角相关函数识别随机粗糙面上散射目标的有限元解法 被引量:4
6
作者 金亚秋 李刚 《电波科学学报》 EI CSCD 1998年第3期227-231,共5页
研究随机粗糙面上有散射目标时散射场求解的有限元数值方法.并提出用散射场角相关函数在非记忆线上的增强,来识别粗糙面上散射目标的存在。给出了随机粗糙面上无散射目标和有散射目标时散射场角相关函数的特征性变化。
关键词 粗糙面散射 角相关函数 有限元法
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分层粗糙面的电磁散射研究 被引量:6
7
作者 王蕊 郭立新 刘晓勇 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2010年第10期2098-2102,共5页
基于矩量法(method of moment,MOM)及基尔霍夫近似(Kirchhoff approximation,KA)研究了分层粗糙面的电磁散射问题。首先,利用经典MOM求解了上层粗糙面的总场,包括直接入射场及由其激发的直接散射场。然后,将锥形入射波引入到传统KA中,... 基于矩量法(method of moment,MOM)及基尔霍夫近似(Kirchhoff approximation,KA)研究了分层粗糙面的电磁散射问题。首先,利用经典MOM求解了上层粗糙面的总场,包括直接入射场及由其激发的直接散射场。然后,将锥形入射波引入到传统KA中,利用其求解了分层粗糙面的透射场。数值计算并讨论了粗糙面高度起伏均方根、相关长度及分层粗糙面间距等参数对分层高斯粗糙面双站散射系数的影响。 展开更多
关键词 电磁波散射 分层介质 矩量法 透射电磁波 粗糙面
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一维带限Weierstrass分形分层介质粗糙面电磁散射研究 被引量:7
8
作者 任新成 郭立新 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期322-330,共9页
运用微扰法研究了平面波入射分层介质粗糙面的电磁散射,推出了不同极化状态下的双站散射系数公式.采用一维带限Weierstrass分形粗糙面来模拟实际分层介质粗糙面,结合其功率谱导出了平面波入射时的双站散射系数计算公式.通过数值计算得到... 运用微扰法研究了平面波入射分层介质粗糙面的电磁散射,推出了不同极化状态下的双站散射系数公式.采用一维带限Weierstrass分形粗糙面来模拟实际分层介质粗糙面,结合其功率谱导出了平面波入射时的双站散射系数计算公式.通过数值计算得到了HH极化下双站散射系数随散射角的变化曲线,讨论了分维、空间基频、标度区间、底层介质介电常数、中间介质介电常数和厚度、粗糙面高度起伏均方根及入射波频率对双站散射系数的影响,得到了平面波入射一维带限Weierstrass分形分层介质粗糙面散射系数的分形特征、基本特征、分区特征和随频率变化的特征. 展开更多
关键词 电磁波散射 分形 粗糙面 分层介质 微扰法 双站散射系数
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表面粗糙度R_a和光学散射特征值S_n关系的研究 被引量:7
9
作者 王世华 周肇飞 《成都科技大学学报》 EI CAS CSCD 1996年第6期1-4,11,共5页
本文以光散射法测量磨削表面粗糙度为例,研究光散射法光学特征值Sn和表面粗糙度主要参数Ra的对应关系;特别是针对研磨表面建立的Ra-Sn关系曲线图,在较大的测量范围内(Ra从0.010μm-0.066μm),Ra和Sn... 本文以光散射法测量磨削表面粗糙度为例,研究光散射法光学特征值Sn和表面粗糙度主要参数Ra的对应关系;特别是针对研磨表面建立的Ra-Sn关系曲线图,在较大的测量范围内(Ra从0.010μm-0.066μm),Ra和Sn存在较好的线性对应关系,表明光散射非接触测量表面粗糙度更适合对较光滑表面的粗糙度进行无接触、快速检测。 展开更多
关键词 光散射法 表面粗糙度 光学特征值 测量
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高斯粗糙表面低掠入射散射特性研究 被引量:8
10
作者 黄泽贵 童创明 胡国平 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第2期482-485,共4页
该文针对传统解析法不能有效求解低掠入射下粗糙表面散射特性的问题,提出了一种高阶解析法,该算法基于表面散射场的高阶分量和表面轮廓函数的高阶Taylor级数展开。利用该算法,定量比较了同极化的高、低阶散射系数,讨论了低掠入射下不同... 该文针对传统解析法不能有效求解低掠入射下粗糙表面散射特性的问题,提出了一种高阶解析法,该算法基于表面散射场的高阶分量和表面轮廓函数的高阶Taylor级数展开。利用该算法,定量比较了同极化的高、低阶散射系数,讨论了低掠入射下不同粗糙度的散射特性,分析了低掠入射下高阶微扰法和高阶基尔霍夫法求解高斯粗糙面的修正效应,得出了高阶解析法可以很好求解低掠入射问题的结论。最后,还研究了同极化散射指数与掠入射角幂函数的拟合问题,修正了极化散射指数的经典表达式。 展开更多
关键词 粗糙表面 低掠入射 散射系数 极化指数 高阶微扰法 高阶基尔霍夫近似
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考虑曲率修正效应时粗糙面电磁散射的微扰法 被引量:2
11
作者 郭立新 吴振森 +1 位作者 姚纪欢 张延冬 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期328-331,共4页
本文在分析传统粗糙面电磁散射微扰法的基础上 ,给出了一种新的考虑曲率修正效应的微扰法 ,解决了传统微扰法计算掠入射散射时的误差问题 .文中同时采用传统微扰法和考虑曲率修正效应的微扰法对实际粗糙面的后向散射截面做了计算 ,并与... 本文在分析传统粗糙面电磁散射微扰法的基础上 ,给出了一种新的考虑曲率修正效应的微扰法 ,解决了传统微扰法计算掠入射散射时的误差问题 .文中同时采用传统微扰法和考虑曲率修正效应的微扰法对实际粗糙面的后向散射截面做了计算 ,并与有关实验测量结果做了比较 ,结果表明无论是中、小角度入射 ,还是掠入射 。 展开更多
关键词 曲率效应 粗糙面 电磁散射 微扰法
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一维带限Weierstrass分形粗糙面透射波散射系数特征研究 被引量:9
12
作者 任新成 郭立新 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期590-595,共6页
采用一维归一化带限Weierstrass函数模拟一维分形粗糙面,根据微扰法研究了粗糙面下方介质2中的电磁散射,结合分形粗糙面的自相关函数和功率谱导出了不同极化状态下一维带限Weierstrass分形粗糙面透射波散射系数计算公式.通过数值计算得... 采用一维归一化带限Weierstrass函数模拟一维分形粗糙面,根据微扰法研究了粗糙面下方介质2中的电磁散射,结合分形粗糙面的自相关函数和功率谱导出了不同极化状态下一维带限Weierstrass分形粗糙面透射波散射系数计算公式.通过数值计算得出了不同极化状态下一维带限Weierstrass分形粗糙面透射系数的分形特征、基本特征、分区特征和随频率变化特征.结果表明分维、粗糙面高度起伏均方根和入射波频率对分形粗糙面透射波散射系数有显著影响,在其他条件不变的情况下,分维越大、粗糙面高度起伏均方根越大、入射波频率越大,透射系数就越大. 展开更多
关键词 电磁散射 一维带限Weierstrass分形粗糙面 微扰法 透射系数
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粗糙面与导弹目标复合电磁散射仿真计算 被引量:2
13
作者 李西敏 童创明 李晶晶 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2014年第4期61-65,共5页
提出了一种求解粗糙面和三维目标复合电磁散射问题的通用仿真方法。将描述粗糙面上电磁波反射的基尔霍夫-赫姆霍兹方程与目标表面的电场积分方程相结合,得到新型的混合方程,进而采用矩量法求解,通过数值算例验证了该方法的精度和效率。... 提出了一种求解粗糙面和三维目标复合电磁散射问题的通用仿真方法。将描述粗糙面上电磁波反射的基尔霍夫-赫姆霍兹方程与目标表面的电场积分方程相结合,得到新型的混合方程,进而采用矩量法求解,通过数值算例验证了该方法的精度和效率。采用此方法研究了两种典型导弹目标与粗糙面的复合散射特性,分析计算结果可得:粗糙面粗糙度参数对复合散射特性有着重要的影响作用。 展开更多
关键词 复合电磁散射 粗糙面 导弹目标 矩量法
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介质粗糙面上目标后向散射的高效混合算法 被引量:5
14
作者 张晓燕 盛新庆 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期460-463,487,共5页
以计算介质粗糙面上目标后向散射为目的,提出一种高效的混合计算方法.该方法在单独处理粗糙面与目标方面与传统混合法一致,即使用基尔霍夫近似法(KA)处理粗糙面区域,使用矩量法(MoM)并结合多层快速多极子技术处理目标区域.实验结果表明... 以计算介质粗糙面上目标后向散射为目的,提出一种高效的混合计算方法.该方法在单独处理粗糙面与目标方面与传统混合法一致,即使用基尔霍夫近似法(KA)处理粗糙面区域,使用矩量法(MoM)并结合多层快速多极子技术处理目标区域.实验结果表明,所提出的混合法与传统方法不同的是,根据大尺度光滑型介质粗糙面镜向散射最强的特点,在计算耦合场时只在粗糙面上截取一块区域进行计算,从而极大地减少了耦合场计算中所用内存与时间. 展开更多
关键词 电磁散射 介质粗糙面上目标 混合法 多层快速多极子
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SMFSIA/CAG快速计算二维分形粗糙面的电磁散射特性 被引量:3
15
作者 闫沛文 童创明 姬伟杰 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2009年第9期2117-2120,共4页
应用稀疏矩阵平面迭代/规范网格法(sparse-matrix flat-surface iterative approach and canonical grid method,SMFSIA/CAG)快速计算了二维分形粗糙面的电磁散射特性。在SMFSIA/CAG中,基于迭代法的原理,通过加快迭代收敛速度和加速矩... 应用稀疏矩阵平面迭代/规范网格法(sparse-matrix flat-surface iterative approach and canonical grid method,SMFSIA/CAG)快速计算了二维分形粗糙面的电磁散射特性。在SMFSIA/CAG中,基于迭代法的原理,通过加快迭代收敛速度和加速矩阵向量积两个方面对该算法进行了改进,推导了关于平面展开的高阶泰勒级数展开公式,并对近场相关距离和泰勒级数展开阶数对算法效率的影响进行了分析。SMFSIA/CAG的应用降低了计算量,实现了对二维分形粗糙面电磁散射特性快速、准确地仿真计算。 展开更多
关键词 二维分形粗糙面 稀疏矩阵平面迭代法 规范网格法 电磁散射特性
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分形随机粗糙表面的电磁散射研究 被引量:1
16
作者 逯贵祯 林金才 周平 《通信学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第1期111-116,共6页
本文利用数值方法研究分形随机粗糙表面的电磁散射问题。 应用矩量法研究分形随机粗糙表面的电磁散射可以使我们获得较为精确的数值结果。但是,对于表面散射,应用矩量法时,表面未知变量的数目非常大,即使对于一维表面也需要几千个未知... 本文利用数值方法研究分形随机粗糙表面的电磁散射问题。 应用矩量法研究分形随机粗糙表面的电磁散射可以使我们获得较为精确的数值结果。但是,对于表面散射,应用矩量法时,表面未知变量的数目非常大,即使对于一维表面也需要几千个未知变量。当我们求解矩阵方程时,计算机对求解的问题有几个限制,一个是内存的限制,一个是速度的限制。为了克服内存的限制,发展了许多迭代数值算法。本文发展了一种新的数值迭代方法.利用这一方法,我们对分形随机粗糙表面的电磁散射问题进行了研究, 并与矩阵反演方法进行了比较.所得结果表明,这种新的迭代法具有很好的收敛性。 展开更多
关键词 分形随机粗糙表面 电磁散射 粗糙表面 迭代算法 矩量法 收敛性
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电介质粗糙表面光散射特性 被引量:1
17
作者 江舒 来建成 +2 位作者 李振华 卞保民 陆建 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期380-383,共4页
为了研究电介质随机表面散射特性的物理产生机制,采用基于Kirchhoff近似的Monte-Carlo方法进行了数值计算,得到了一组不同粗糙程度的电介质随机表面在s线偏振光入射时的散射光强度空间分布。所有表面自相关长度相同。结果表明,随均方根... 为了研究电介质随机表面散射特性的物理产生机制,采用基于Kirchhoff近似的Monte-Carlo方法进行了数值计算,得到了一组不同粗糙程度的电介质随机表面在s线偏振光入射时的散射光强度空间分布。所有表面自相关长度相同。结果表明,随均方根高度的增加,散射光强度空间分布呈现峰值衰减、展宽和向后向移动的特征。对这些散射特征进行分析可知,这些散射特征产生的主要因素是本地面元的斜率分布和本地反射率,它们共同影响了散射光强度分布曲线的轮廓特征。这一结果对其它情形下的粗糙表面散射特征产生机制的研究有一定参考价值。 展开更多
关键词 散射 粗糙表面 基尔霍夫近似 蒙特卡洛方法 电介质
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刻蚀波导粗糙面散射的矩量法数值分析 被引量:3
18
作者 宋军 何赛灵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1312-1315,共4页
用矩量法对刻蚀波导粗糙面的散射特性做出了精确的数值分析 基于MonteCarlo方法建立高斯粗糙面数学模型 ,证明矩量法在分析刻蚀波导散射问题时 ,是可以应用于不同起伏高度、不同入射角的一种精确而高效的数值方法 对不同起伏高度的两... 用矩量法对刻蚀波导粗糙面的散射特性做出了精确的数值分析 基于MonteCarlo方法建立高斯粗糙面数学模型 ,证明矩量法在分析刻蚀波导散射问题时 ,是可以应用于不同起伏高度、不同入射角的一种精确而高效的数值方法 对不同起伏高度的两种偏振态 ,分别在小角度入射和大角度入射两种情况的随机散射特性应用矩量法做出了分析 并以基于二氧化硅波导的EDG器件为例 。 展开更多
关键词 粗糙面 散射 矩量法 Moilte CARLO方法 平面波导 刻蚀衍射光栅(EDG)
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复合目标电磁散射的高效混合计算方法 被引量:4
19
作者 张晓燕 盛新庆 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2011年第4期717-723,共7页
传统混合法在计算目标与粗糙面的耦合场时,需要耗费大量内存与时间。以计算复合目标后向电磁散射为目的,提出一种更为高效的混合计算方法。该混合法在单独处理粗糙面与目标方面与传统混合法一致,即使用基尔霍夫近似法(Kirchhoff approac... 传统混合法在计算目标与粗糙面的耦合场时,需要耗费大量内存与时间。以计算复合目标后向电磁散射为目的,提出一种更为高效的混合计算方法。该混合法在单独处理粗糙面与目标方面与传统混合法一致,即使用基尔霍夫近似法(Kirchhoff approach,KA)处理粗糙面区域;使用矩量法(method of moment,MoM)并结合多层快速多极子(multilevel fast multipole algorithm,MLFMA)技术处理目标区域。与传统混合法所不同的是:根据大尺度粗糙面镜向散射最强的特点,只在粗糙面上截取一块很小的区域进行耦合场计算,从而极大减少内存与时间。大量数值实验表明,该方法在保证较高精度的同时,效率要远高于传统混合法。 展开更多
关键词 电磁散射 复合目标 混合法 多层快速多极子
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求解电大尺寸目标与地海面复合散射的SBR-IEM混合算法 被引量:1
20
作者 李雅萍 齐萌 +1 位作者 李西敏 苗海 《海军工程大学学报》 CAS 北大核心 2016年第4期85-91,共7页
提出了一种研究大范围地海面背景与电大尺寸目标复合电磁散射的新型混合算法。该算法首先将地海面划分为大尺寸粗糙面元,采用基于快速射线寻迹技术的改进射线追踪(SBR)方法计算目标面元和粗糙面元上产生的相干散射分量;然后,结合积分方... 提出了一种研究大范围地海面背景与电大尺寸目标复合电磁散射的新型混合算法。该算法首先将地海面划分为大尺寸粗糙面元,采用基于快速射线寻迹技术的改进射线追踪(SBR)方法计算目标面元和粗糙面元上产生的相干散射分量;然后,结合积分方程解(IEM)计算粗糙面元上产生的非相干散射分量;最后,通过实例计算,并与KA-MoM结果进行了对比分析,结果表明:改进SBR-IEM混合算法具有较高的计算效率,节省大量存储空间和运算时间。 展开更多
关键词 复合电磁散射 粗糙面 射线追踪法 积分方程解 混合算法
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