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扫描探针显微镜单管式扫描器结构误差的研究 被引量:3
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作者 刘安伟 胡小唐 张国雄 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期45-48,共4页
单管式扫描器的结构误差是影响扫描探针显微镜测量精度的主要误差因素之一。本文对单管式扫描器的结构误差,主要包括交叉耦合误差、非正交误差以及扫描器形状误差,进行了实验和理论研究,并提出了一些相应的补偿措施。
关键词 扫描探针显微镜 单管式扫描器 结构误差
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STM管式扫描器交叉耦合及非正交误差的研究 被引量:1
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作者 刘安伟 陈峰 +2 位作者 胡小唐 张国雄 李彤 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 1999年第2期133-136,共4页
由于扫描隧道显微镜(STM)管式扫描器自身结构的不完善,在运动过程中会产生一定的结构误差,交叉耦合误差和非正交误差是其中两项重要的误差.本文对这两项误差进行了定量的理论分析,得到了相应的误差公式及误差曲线,并通过实验... 由于扫描隧道显微镜(STM)管式扫描器自身结构的不完善,在运动过程中会产生一定的结构误差,交叉耦合误差和非正交误差是其中两项重要的误差.本文对这两项误差进行了定量的理论分析,得到了相应的误差公式及误差曲线,并通过实验验证了理论推导结果的正确性.最后,根据对误差产生原因的研究,文中还提出了一些相应的误差补偿措施. 展开更多
关键词 管式扫描器 交叉耦合误差 非正交误差 STM
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