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掺杂CeO2对流延成型制备的氮化铝陶瓷性能的影响
被引量：
2
1
作者
桂如峰
邹阳
+3 位作者
李晨辉
刘江安
贺智勇
史玉升
《化学与生物工程》
CAS
2019年第8期6-11,共6页
以氮化铝(AlN)粉末为原料,掺杂10%~15%的CeO2,采用流延成型工艺制备AlN陶瓷生坯;排胶后在氮气气氛下1775℃保温4h,采用常压烧结制备静电卡盘用AlN陶瓷(体积电阻率为10^11~10^9Ω·cm)。研究了排胶升温速率对生坯的表面形貌以及CeO2...
以氮化铝(AlN)粉末为原料,掺杂10%~15%的CeO2,采用流延成型工艺制备AlN陶瓷生坯;排胶后在氮气气氛下1775℃保温4h,采用常压烧结制备静电卡盘用AlN陶瓷(体积电阻率为10^11~10^9Ω·cm)。研究了排胶升温速率对生坯的表面形貌以及CeO2掺杂量对烧结体的电学与热学性能、微观组织和物相组成的影响。结果表明:在200~450℃之间升温速率为0.2℃·min^-1的条件下排胶后,AlN陶瓷生坯形貌完整、无裂纹和翘曲;在CeO2掺杂量为14%时,AlN陶瓷烧结体可以获得较优的综合性能,致密度96.82%,热导率99W·m^-1·K^-1,体积电阻率4.75×10^10Ω·cm。显微结构分析表明,随着CeO2掺杂量的增加,形成的铈铝酸盐晶间相逐渐由点状分布变为连续分布,有利于导电通路的形成,从而降低AlN陶瓷烧结体体积电阻率。
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关键词
氮化铝
(
aln
)陶瓷
CeO2
掺杂
氧化铈
流延成型
体积电阻率
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职称材料
基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性
被引量：
1
2
作者
耐日嘎
马俊
+4 位作者
王园园
豆亚稳
吕海涛
钱莉荣
李翠平
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第1期6-9,共4页
该文采用有限元法研究了基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性,并分析了4种激励条件下,压电材料厚度变化对ScAlN/6H-SiC结构中声表面波相速度和机电耦合系数的影响,通过改变电极厚度及金属化率再次对机电耦合系数进行优化。结果表明,...
该文采用有限元法研究了基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性,并分析了4种激励条件下,压电材料厚度变化对ScAlN/6H-SiC结构中声表面波相速度和机电耦合系数的影响,通过改变电极厚度及金属化率再次对机电耦合系数进行优化。结果表明,IDT/ScAlN/6H-SiC结构的机电耦合系数可达到5.4%,对应的相速度为6.36 km/s,添加短路金属后,机电耦合系数值和相速度均有所提高,Metal/ScAlN/IDT/6H-SiC结构下优化的机电耦合系数和相速度分别为15.78%和7.33 km/s。
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关键词
声表面波
sc
掺杂
氮化铝
(
aln
)
6H-SIC
相速度
机电耦合系数
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职称材料
题名
掺杂CeO2对流延成型制备的氮化铝陶瓷性能的影响
被引量：
2
1
作者
桂如峰
邹阳
李晨辉
刘江安
贺智勇
史玉升
机构
华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室
中国钢研科技集团有限公司
出处
《化学与生物工程》
CAS
2019年第8期6-11,共6页
基金
国家科技重大专项02专项(2013ZX02104001)
国家自然科学基金面上项目(51372093)
湖北省博士后科技活动项目(0106110094)
文摘
以氮化铝(AlN)粉末为原料,掺杂10%~15%的CeO2,采用流延成型工艺制备AlN陶瓷生坯;排胶后在氮气气氛下1775℃保温4h,采用常压烧结制备静电卡盘用AlN陶瓷(体积电阻率为10^11~10^9Ω·cm)。研究了排胶升温速率对生坯的表面形貌以及CeO2掺杂量对烧结体的电学与热学性能、微观组织和物相组成的影响。结果表明:在200~450℃之间升温速率为0.2℃·min^-1的条件下排胶后,AlN陶瓷生坯形貌完整、无裂纹和翘曲;在CeO2掺杂量为14%时,AlN陶瓷烧结体可以获得较优的综合性能,致密度96.82%,热导率99W·m^-1·K^-1,体积电阻率4.75×10^10Ω·cm。显微结构分析表明,随着CeO2掺杂量的增加,形成的铈铝酸盐晶间相逐渐由点状分布变为连续分布,有利于导电通路的形成,从而降低AlN陶瓷烧结体体积电阻率。
关键词
氮化铝
(
aln
)陶瓷
CeO2
掺杂
氧化铈
流延成型
体积电阻率
Keywords
aluminium nitride(
aln
)ceramics
CeO2 doping
cerium oxide
tape casting
volume resistivity
分类号
TQ174.75 [化学工程—陶瓷工业]
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性
被引量：
1
2
作者
耐日嘎
马俊
王园园
豆亚稳
吕海涛
钱莉荣
李翠平
机构
天津理工大学集成电路科学与工程学院
天津理工大学集成电路科学与工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第1期6-9,共4页
基金
广东省重点领域研发计划基金资助项目(2020B010104002)
天津教委科研计划基金资助项目(2018KJ131)
+1 种基金
天津市科技特派员基金资助项目(19JCTPJC56200)
大学生创新创业基金资助项目(201910060033,202010060137)。
文摘
该文采用有限元法研究了基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性,并分析了4种激励条件下,压电材料厚度变化对ScAlN/6H-SiC结构中声表面波相速度和机电耦合系数的影响,通过改变电极厚度及金属化率再次对机电耦合系数进行优化。结果表明,IDT/ScAlN/6H-SiC结构的机电耦合系数可达到5.4%,对应的相速度为6.36 km/s,添加短路金属后,机电耦合系数值和相速度均有所提高,Metal/ScAlN/IDT/6H-SiC结构下优化的机电耦合系数和相速度分别为15.78%和7.33 km/s。
关键词
声表面波
sc
掺杂
氮化铝
(
aln
)
6H-SIC
相速度
机电耦合系数
Keywords
surface acoustic wave(SAW)
sc
doped
aln
6H-SiC
phase velocity
electromechanical coupling coefficient
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
掺杂CeO2对流延成型制备的氮化铝陶瓷性能的影响
桂如峰
邹阳
李晨辉
刘江安
贺智勇
史玉升
《化学与生物工程》
CAS
2019
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性
耐日嘎
马俊
王园园
豆亚稳
吕海涛
钱莉荣
李翠平
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022
1
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职称材料
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