SnO_2纳米薄膜的制备、显微结构及气敏性能 被引量：8

1

作者 赵杰 赵经贵 +3 位作者 高山 霍丽华 王海水 席时权 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期122-125,共4页

以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增... 以SnCl2 ·2H2 O和无水乙醇为原料 ,采用溶胶 凝胶方法制备了SnO2 透明溶胶 ,通过浸渍提拉技术制备了SnO2 纳米薄膜 ;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌。结果表明 ,SnO2 纳米薄膜的球形粒径约 5nm ;随着薄膜沉积层数的增加 ,其电子光谱的吸收呈线性增加 ,膜电阻则逐渐减小并趋于稳定值。薄膜对 1 0 0～ 1 0 0 0 μL/L的乙醇和丙酮都有较好的敏感性和响应 恢复特性 ,对 80 0 μL/L的气体响应和恢复时间分别为 3 0和 60s。 展开更多

关键词 sno2 薄膜 溶胶-凝胶法 气敏性能

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Sol-Gel法制备低阻SnO_2薄膜 被引量：8

2

作者 李爱武 全宝富 +1 位作者 刘凤敏 陈丽华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期645-646,648,共3页

采用sol gel法制备了SnO2 薄膜。研究了不同的实验条件对薄膜阻值的影响。利用XRD、XPS分析了薄膜的晶体结构和晶粒尺寸。利用这种低阻SnO2 薄膜制作的热线型气敏元件对H2

关键词 SOL-GEL法 气敏特性 二氧化锡薄膜 气敏材料

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双染料复合敏化SnO_2纳米多孔膜光电极的研究 被引量：8

3

作者 张莉 杨迈之 +5 位作者 乔学斌 郝彦忠 高恩勤 蔡生民 孟凡顺 田禾 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期1-5,共5页

研究 了五甲川 菁和联吡 啶钌双 染料复合 敏化 Ｓｎ Ｏ２ 纳米 结构 电极 的光 电化 学行 为． 结果表明， 五甲川菁 在５５０ ～７ ００ ｎ ｍ 范围 有强吸 收带，而 联吡啶钌 在４００ ～６ ００ ｎ ｍ 吸光 性好， 它们 在电极表... 研究 了五甲川 菁和联吡 啶钌双 染料复合 敏化 Ｓｎ Ｏ２ 纳米 结构 电极 的光 电化 学行 为． 结果表明， 五甲川菁 在５５０ ～７ ００ ｎ ｍ 范围 有强吸 收带，而 联吡啶钌 在４００ ～６ ００ ｎ ｍ 吸光 性好， 它们 在电极表面的 共吸附使 吸 光 范 围 几 乎 覆 盖 整 个 可 见 和 近红 外 光 区 ． 它 们 的 激 发 态 能级 为 － ０９１ Ｖ（ ｖｓ Ｎ Ｈ Ｅ） 和 － ０６ Ｖ（ ｖｓ Ｎ Ｈ Ｅ） ，都高 于 Ｓｎ Ｏ２ 纳 米粒 子的 导 带位 置， 有利 于它 们 的激 发态 电 子注入 Ｓｎ Ｏ２ 纳米粒 子的导 带，即 各自 吸收不 同波 长范围 的光， 共同产 生阳 极光电 流． 因而 这种双 染料复合敏 化比单一 五甲川 菁染料或 联吡啶钌 敏化效 果有更显 著的 提高， 同时 光电 转化 率得 到明 显改善，最 高单色光 量子转换 效率（ Ｉ Ｐ Ｃ Ｅ） 可达 ６８ ％ 展开更多

关键词 纳米结构 多孔膜电极 光电转换 敏化 二氧化锡

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SnO_2薄膜的溶胶-凝胶制备及气敏性能的研究 被引量：5

4

作者 林殷茵 杨合情 +1 位作者 张良莹 姚熹 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期186-189,共4页

采用非醇盐溶胶－凝胶工艺制得纳米微晶ＳｎＯ２多孔薄膜，该法易于实现ＳｎＯ２与多种添加剂的均匀掺杂。通过调整薄膜的微观结构使薄膜对Ｃ２Ｈ５ＯＨ和ＣＯ在最佳工作温度的灵敏度比调整前分别提高了３倍和１４倍。

关键词 薄膜 溶胶-凝胶 气敏材料 纳米微晶 二氧化锡

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用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO_2薄膜的研究 被引量：5

5

作者 秦友兰 王万录 +2 位作者 赵作峰 肖金龙 董玉峰 《广西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2000年第3期16-19,共4页

采用无机试剂 ( Sn Cl4 · 5H2 O)为原料 ,用溶胶 -凝胶 ( Sol-Gel)法制备研制气敏传感器的 Sn O2 薄膜 ,研究了 Sn O2 薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系 ,并且用 XRD对 Sn O2 薄膜进行分析 .结果表明 ,掺杂和热处理温度对薄膜晶... 采用无机试剂 ( Sn Cl4 · 5H2 O)为原料 ,用溶胶 -凝胶 ( Sol-Gel)法制备研制气敏传感器的 Sn O2 薄膜 ,研究了 Sn O2 薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系 ,并且用 XRD对 Sn O2 薄膜进行分析 .结果表明 ,掺杂和热处理温度对薄膜晶粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响 ,进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度 . 展开更多

关键词 XRD 二氧化锡薄膜 溶胶-凝胶法 气敏传感器

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射频溅射法研制SnO_2纳米薄膜 被引量：5

6

作者 刘庆业 蒙冕武 +1 位作者 邓希敏 刘明登 《广西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2001年第4期64-67,共4页

采用射频溅射工艺制得细小均匀的 β-Sn纳米锡膜 ,然后通过氧化处理工艺获得组织非常细小均匀的纳米级二氧化锡薄膜 .X-衍射实验结果表明 Sn和 Sn O2 晶粒尺寸分别约为 6 nm和 5 nm,采用该工艺获得的Sn O2 纳米薄膜结构比较稳定 ,为薄膜... 采用射频溅射工艺制得细小均匀的 β-Sn纳米锡膜 ,然后通过氧化处理工艺获得组织非常细小均匀的纳米级二氧化锡薄膜 .X-衍射实验结果表明 Sn和 Sn O2 晶粒尺寸分别约为 6 nm和 5 nm,采用该工艺获得的Sn O2 纳米薄膜结构比较稳定 ,为薄膜型 Sn O2 展开更多

关键词 射频溅射 sno2 二氧化锡薄膜 纳米材料 制备工艺

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SnO_2气敏薄膜在SnO_2/Fe_2O_3双层结构中成核及生长过程的模拟 被引量：3

7

作者 赵永生 阎大卫 +3 位作者 康昌鹤 马晓翠 邹慧珠 杜国同 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期271-273,共3页

用ＳＥＭ对ＳｎＯ２／Ｆｅ２Ｏ３样品的断面结构进行了观察研究，发现ＳｎＯ２是在Ｆｅ２Ｏ３柱状结构的间隙中开始生长的，据此提出了双层膜结构生长热力学模型，由模型推出的结论与实验结果吻合。计算结果表明，ＳｎＯ２在Ｆｅ２Ｏ３... 用ＳＥＭ对ＳｎＯ２／Ｆｅ２Ｏ３样品的断面结构进行了观察研究，发现ＳｎＯ２是在Ｆｅ２Ｏ３柱状结构的间隙中开始生长的，据此提出了双层膜结构生长热力学模型，由模型推出的结论与实验结果吻合。计算结果表明，ＳｎＯ２在Ｆｅ２Ｏ３薄膜的间隙中生长速度很快，而后逐渐变慢，达到稳定沉积速率，在这种沉积速率下形成ＳｎＯ２的柱状结构。ＳｎＯ２膜的这种沉积方式使得Ｆｅ２Ｏ３与其接触面积很大，两者结合十分牢固。 展开更多

关键词 气敏薄膜 双层结构 理论模拟 二氧化锡 成核

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溶胶-凝胶法制备SnO_2气敏薄膜的研究 被引量：5

8

作者 刘威 曹立礼 《中山大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期56-59,共4页

以SnCl2 ·2H2 O及乙醇为原料 ,利用溶胶 -凝胶法制备SnO2 纳米薄膜 .探讨了制膜的工艺条件 ,用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质 ,同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与... 以SnCl2 ·2H2 O及乙醇为原料 ,利用溶胶 -凝胶法制备SnO2 纳米薄膜 .探讨了制膜的工艺条件 ,用XRD、SEM、TEM、AES以及XPS等研究了所得薄膜的结构性质 ,同时考察了薄膜的晶相结构、晶粒尺寸、表面形貌以及薄膜中元素的化学状态与热处理条件之间的相互关系 . 展开更多

关键词 溶胶-凝胶法 传感器 二氧化锡 气敏薄膜

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化学汽相沉积法制SnO_2掺杂薄膜及其气敏特性的机理研究 被引量：2

9

作者 冯金垣 杨日福 柳林 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第4期14-16,共3页

】文中探讨用汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜的不同工艺。研究ＳｎＯ２掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性，测试掺５％Ａｇ的ＳｎＯ２薄膜在不同比例乙醇气体气敏作用下表面电阻气敏特性曲线。结果表明，汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜工... 】文中探讨用汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜的不同工艺。研究ＳｎＯ２掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性，测试掺５％Ａｇ的ＳｎＯ２薄膜在不同比例乙醇气体气敏作用下表面电阻气敏特性曲线。结果表明，汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜工艺重复性好，灵敏度高，可用于制造新型的“气敏—光透过性”型气敏传感器。 展开更多

关键词 二氧化锡 薄膜 掺要 气敏特性 CVD 气敏传感器

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SnO_2膜导电玻璃性能的研究 被引量：5

10

作者 朱月秀 王德苗 《材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期72-74,共3页

采用喷镀法制备SnO2 膜导电玻璃 ,研究了膜厚、基底温度对薄膜电阻和透光率的影响。用SEM、XPS和XRD分析了SnO2 膜的形貌与导电性能 ,并研究了其透光性、反射性及热稳定性。结果表明 :SnO2 膜是多晶结构氧空位导电的N型半导体 ,在可见... 采用喷镀法制备SnO2 膜导电玻璃 ,研究了膜厚、基底温度对薄膜电阻和透光率的影响。用SEM、XPS和XRD分析了SnO2 膜的形貌与导电性能 ,并研究了其透光性、反射性及热稳定性。结果表明 :SnO2 膜是多晶结构氧空位导电的N型半导体 ,在可见光范围内透光率达 展开更多

关键词 sno2膜 谱图分析 透光率 热稳定性 导电玻璃 喷镀法 二氧化锡膜

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SnO_2/SiO_2双层薄膜的湿敏特性 被引量：3

11

作者 贾维国 季秉厚 赵显武 《传感器技术》 CSCD 1998年第4期22-23,26,共3页

本实验是在单晶硅片上热生长一层ＳｉＯ２，然后用真空淀积的方法获得一层超微粒ＳｎＯ２薄膜，通过对ＳｎＯ２／ＳｉＯ２薄膜电阻与相对湿度关系的测试，发现阻湿的线性特性和灵敏度明显优于ＳｎＯ２薄膜和ＳｉＯ２薄膜，测湿范围明显... 本实验是在单晶硅片上热生长一层ＳｉＯ２，然后用真空淀积的方法获得一层超微粒ＳｎＯ２薄膜，通过对ＳｎＯ２／ＳｉＯ２薄膜电阻与相对湿度关系的测试，发现阻湿的线性特性和灵敏度明显优于ＳｎＯ２薄膜和ＳｉＯ２薄膜，测湿范围明显展宽。 展开更多

关键词 二氧化锡 二氧化硅 薄膜 湿敏

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氨处理溶胶——凝胶SnO_2薄膜特性研究 被引量：2

12

作者 刘小林 梁培辉 张伟清 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2001年第2期3-6,共4页

采用溶胶 凝胶 (Sol Gel)法制备SnO2 薄膜 ,通过对薄膜的不同处理方式 (热处理、氨处理和未处理 )所获得的SnO2 薄膜的比较 ,研究了氨处理SnO2 薄膜的结构、抗机械损坏能力、光学及电学特性。实验结果表明氨处理溶胶 凝胶SnO2 薄膜不... 采用溶胶 凝胶 (Sol Gel)法制备SnO2 薄膜 ,通过对薄膜的不同处理方式 (热处理、氨处理和未处理 )所获得的SnO2 薄膜的比较 ,研究了氨处理SnO2 薄膜的结构、抗机械损坏能力、光学及电学特性。实验结果表明氨处理溶胶 凝胶SnO2 薄膜不仅具有较好的抗机械损坏能力 。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶工艺 氨处理 二氧化锡薄膜 特性

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三甲川菁染料敏化SnO_2纳米结构电极的光电化学 被引量：1

13

作者 张莉 杨迈之 +5 位作者 乔学斌 郝彦忠 高恩勤 蔡生民 孟凡顺 田禾 《北京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期160-166,共7页

研究了三甲川菁敏化ＳｎＯ２ 纳米结构电极的光电化学行为。结果表明，三甲川菁染料电子激发态能级位置能与ＳｎＯ２ 纳米粒子导带边位置相匹配，从而使用该染料敏化可以显著地提高ＳｎＯ２ 纳米结构电极的光电流，使ＳｎＯ２ 纳米结构... 研究了三甲川菁敏化ＳｎＯ２ 纳米结构电极的光电化学行为。结果表明，三甲川菁染料电子激发态能级位置能与ＳｎＯ２ 纳米粒子导带边位置相匹配，从而使用该染料敏化可以显著地提高ＳｎＯ２ 纳米结构电极的光电流，使ＳｎＯ２ 纳米结构电极吸收波长红移至可见光区和近红外区，光电转换效率得到明显改善，ＩＰＣＥ值最高可达２８－９ ％ 。 展开更多

关键词 敏化 光电化学 三甲川菁 二氧化锡 纳米结构电极

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二维SnO_2∶TiO_2混合物薄膜在氨蒸汽中的气敏透射光谱及分析 被引量：1

14

作者 郑顺镟 罗群标 郭斯淦 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期8-10,共3页

本文研究二维ＳｎＯ２∶ＴｉＯ２混合物薄膜在氨蒸汽中的气敏透射光谱，发现它在低浓度时透过率下降，高浓度时透过率上升。作者考虑了水蒸汽对薄膜透射光谱的影响，对这个现象给予理论解释。

关键词 混合物 薄膜 二氧化镉 二氧化钛 气敏效应

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超声喷雾法制备SnO_2:F薄膜及其性能研究 被引量：10

15

作者 施卫 李琦 《西安理工大学学报》 CAS 1998年第1期56-60,共5页

用超声喷雾热解淀积技术制备了ＳｎＯ２Ｆ透明导电薄膜，其电阻率达４×１０－４Ωｃｍ，可见光透过率达９１％。研究了衬底温度、Ｆ／Ｓｎ比例对ＳｎＯ２Ｆ薄膜光电特性的影响。ＸＲＤ分析及ＳＥＭ观察表明，ＳｎＯ２Ｆ薄膜为多晶... 用超声喷雾热解淀积技术制备了ＳｎＯ２Ｆ透明导电薄膜，其电阻率达４×１０－４Ωｃｍ，可见光透过率达９１％。研究了衬底温度、Ｆ／Ｓｎ比例对ＳｎＯ２Ｆ薄膜光电特性的影响。ＸＲＤ分析及ＳＥＭ观察表明，ＳｎＯ２Ｆ薄膜为多晶结构，平均粒径约５０ｎｍ。对超声雾化及淀积原理进行了分析，由于溶液的超声雾化微粒均匀性好，载气流量与溶液雾化微粒线度无关，使得超声雾化热解淀积工艺控制相对容易，热解反应类型大多为化学气相淀积，所制备薄膜的均匀性和重复性良好。 展开更多

关键词 薄膜 超声雾化 热解淀积 二氧化锡 氟

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SnO_2∶Fe_2O_3混合薄膜的制备及其在丙酮蒸汽中的反射光谱 被引量：1

16

作者 郑顺镟 庄中禄 郭斯淦 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第6期365-368,共4页

以ＳｎＣｌ４·５Ｈ２Ｏ，ＦｅＣｌ３·６Ｈ２Ｏ及无水乙醇为主要原料，采用溶胶凝胶法制备了ＳｎＯ２∶Ｆｅ２Ｏ３混合薄膜，测量并研究了其在可见光区附近的丙酮气敏反射光谱。

关键词 溶胶-凝胶法 气敏反射光谱 半导体薄膜技术

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SnO_2非晶薄膜的敏感特性及其机理研究

17

作者 王雅静 戴国瑞 +1 位作者 姜月顺 李铁津 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第11期11-13,42,共4页

用ＰＥＣＶＤ方法制备了ＳｎＯ２超微粒非晶薄膜，对薄膜进行敏感特性测拭结果表明此薄膜只对乙醇敏感，通过ＳｎＯ２薄膜的真空系统的电阻测定和ＳｎＯ２表面光电子能谱分析，发现乙醇是与ＳｎＯ２薄膜上吸附的Ｏ－起作用，即ＳｎＯ２... 用ＰＥＣＶＤ方法制备了ＳｎＯ２超微粒非晶薄膜，对薄膜进行敏感特性测拭结果表明此薄膜只对乙醇敏感，通过ＳｎＯ２薄膜的真空系统的电阻测定和ＳｎＯ２表面光电子能谱分析，发现乙醇是与ＳｎＯ２薄膜上吸附的Ｏ－起作用，即ＳｎＯ２薄膜表面的Ｏ－的存在，乙醇才能使ＳｎＯ２薄膜的电阻有明显变化。 展开更多

关键词 传感器 二氧化锡 非晶薄膜 敏感特性 气体传感器

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Sol-Gel法制备SnO_2纳米晶薄膜 被引量：8

18

作者 向思清 索辉 +4 位作者 阮圣平 朱玉梅 刘冰冰 全宝富 徐宝琨 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第B05期72-73,共2页

以Sn(OH) 4 水合胶体为原料 ,采用简单的旋转涂覆与烧结工艺在Si片上成功制备出了表面形貌平整、光亮的SnO2 纳米晶薄膜 ,为该种材料制作实用的气敏元件打下了很好的基础。

关键词 SOL-GEL法 纳米晶薄膜 sno2 制备

全文增补中

溶胶凝胶法制备SnO_2:Sb膜的光学电学性能 被引量：6

19

作者 史金涛 赵高凌 +1 位作者 杜丕一 韩高荣 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期5-9,共5页

以金属无机盐SnCl2 ·2H2 O和SbCl3 为原料 ,用溶胶凝胶浸渍法制备掺锑SnO2 透明导电薄膜 ,并对其电学参数(如方块电阻、霍尔迁移率、载流子浓度和类型 )和光学参数 (如透射反射率、光学能隙 )进行测试分析。XPS分析确定薄膜中掺杂... 以金属无机盐SnCl2 ·2H2 O和SbCl3 为原料 ,用溶胶凝胶浸渍法制备掺锑SnO2 透明导电薄膜 ,并对其电学参数(如方块电阻、霍尔迁移率、载流子浓度和类型 )和光学参数 (如透射反射率、光学能隙 )进行测试分析。XPS分析确定薄膜中掺杂锑离子主要以Sb5+ 形式存在。薄膜的方块电阻最低可达 85Ω/□ ,霍尔迁移率在 2 .5～ 3.6cm2 V-1s-1,膜厚约1μm时可见光透射率约为 85 % ,反射率低于 15 %。 展开更多

关键词 溶胶凝胶 sno2:Sb 透明导电膜

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弱磁场对SnO_2薄膜性能的影响 被引量：3

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作者 刘洪祥 魏合林 +1 位作者 刘艳红 刘祖黎 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期603-605,共3页

利用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术制备了SnO2 薄膜。实验中通过改变磁镜场的磁镜比和磁场大小 ,研究了弱磁场对SnO2 薄膜方块电阻及电阻分布的影响。实验结果表明 ,随着磁镜比和磁场强度的增加 ,SnO2 薄膜的方块电阻在降低 ,... 利用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术制备了SnO2 薄膜。实验中通过改变磁镜场的磁镜比和磁场大小 ,研究了弱磁场对SnO2 薄膜方块电阻及电阻分布的影响。实验结果表明 ,随着磁镜比和磁场强度的增加 ,SnO2 薄膜的方块电阻在降低 ,且电阻分布变得比较均匀 ;但是 ,当磁镜比超过 5 .5时 ,SnO2 展开更多

关键词 PECVD 磁镜场 性能 气敏传感器 二氧化锡薄膜

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