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直流反应溅射沉积Al_2O_3薄膜及其在SS-AlN金属陶瓷太阳吸收涂层的应用被引量：3: 1; 作者池华敬郭帅 +3 位作者熊凯王双陈革章其初《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期385-389,共5页; 在沉积不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳吸收集热管的磁控溅射三靶镀膜机上,安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,实现反应溅射Al2O3稳定反馈控制。采用国产直流电源在Al靶表面处于过渡态下,成功制备了吸收几乎为零的Al2O3薄膜。溅射功率... 展开更多; 关键词太阳吸收涂层 ss-aln金属陶瓷反应溅射迟滞曲线闭环控制 AL2O3薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层传热研究: 2; 作者庞旭明杨晶歆周剑秋《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期19-26,共8页; 在太阳能热利用中,太阳能集热器的传热性能至关重要。主要综述了太阳能光谱选择性吸收涂层有效导热系数的理论预测方法、材料制备方法以及实验测量导热系数的方法。对比了多种方法,简要分析了各种方法的优缺点,强调了界面接触热阻在复... 展开更多; 关键词金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层有效导热系数界面热阻; 在线阅读下载PDF 职称材料

M-AlN太阳选择性吸收涂层的研制被引量：14: 3; 作者谢光明于凤勤《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期15-18,共4页; 为提高在高温条件下选择性吸收涂层的性能 ,采用金属粒子注入介质基体中形成的金属陶瓷 ( cermet)作吸收材料 ,制成金属陶瓷复合薄膜 ,它具有优良的光学性能和热稳定性。根据对金属陶瓷膜系的光学性能进行理论计算的结果 ,采用磁控多靶... 展开更多; 关键词金属陶瓷膜系共溅射太阳能选择性吸收涂层; 在线阅读下载PDF 职称材料

闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜: 4; 作者池华敬郭帅 +3 位作者熊凯王双陈革章其初《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1136-1140,共5页; 在原磁控溅射三靶镀膜机上安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,替代原有的级差法控制流量计改变反应气体流量的方法,实现反应溅射AlN反馈控制。该控制单元由UPC03型控制器和PCV03型压电陶瓷阀组成。控制器实时采集直流电源的Al靶电压信号... 展开更多; 关键词反应溅射迟滞曲线闭环控制 ALN薄膜 ss-aln金属陶瓷太阳吸收涂层; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名直流反应溅射沉积Al_2O_3薄膜及其在SS-AlN金属陶瓷太阳吸收涂层的应用被引量：3: 1; 作者池华敬郭帅熊凯王双陈革章其初; 机构皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期385-389,共5页; 文摘在沉积不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳吸收集热管的磁控溅射三靶镀膜机上,安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,实现反应溅射Al2O3稳定反馈控制。采用国产直流电源在Al靶表面处于过渡态下,成功制备了吸收几乎为零的Al2O3薄膜。溅射功率在14kW时,反应溅射沉积Al2O3的靶电压波动可长时间稳定控制在±3 V范围内,沉积速率为5.4 nm/(min·kW),约为Al靶在无反应气体溅射下沉积Al薄膜速率的74%。采用Al2O3代替AlN作为减反射层,应用到SS-AlN太阳选择性吸收涂层中,进一步提高了复合膜的太阳光学性能,太阳吸收比由AlN作为减反射层的0.956提高到0.965,红外发射比不变,仍为0.044。; 关键词太阳吸收涂层 ss-aln金属陶瓷反应溅射迟滞曲线闭环控制 AL2O3薄膜; Keywords Solar absorbing coatings, ss-aln cermet, Reactive sputtering, Hysteresis, Close-loop control, A1203 thinfilms; 分类号 TK513.3 [动力工程及工程热物理—热能工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层传热研究: 2; 作者庞旭明杨晶歆周剑秋; 机构南京工业大学机械与动力工程学院南京工业大学能源学院; 出处《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期19-26,共8页; 基金国家自然科学基金(51502133) 江苏省自然科学基金(BK20140945); 文摘在太阳能热利用中,太阳能集热器的传热性能至关重要。主要综述了太阳能光谱选择性吸收涂层有效导热系数的理论预测方法、材料制备方法以及实验测量导热系数的方法。对比了多种方法,简要分析了各种方法的优缺点,强调了界面接触热阻在复合材料导热中的重要性。最后将理论、制备、实验三者结合,对未来的发展趋势做出了展望。; 关键词金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层有效导热系数界面热阻; Keywords cermet, solar selective absorbing coating, effective thermal conductivity, interface resistance; 分类号 TK124 [动力工程及工程热物理—工程热物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名M-AlN太阳选择性吸收涂层的研制被引量：14: 3; 作者谢光明于凤勤; 机构北京市太阳能研究所; 出处《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期15-18,共4页; 文摘为提高在高温条件下选择性吸收涂层的性能 ,采用金属粒子注入介质基体中形成的金属陶瓷 ( cermet)作吸收材料 ,制成金属陶瓷复合薄膜 ,它具有优良的光学性能和热稳定性。根据对金属陶瓷膜系的光学性能进行理论计算的结果 ,采用磁控多靶反应共溅射的方法对膜系进行反演寻优工艺实验。实验结果表明 ,优化后的涂层吸收率 α>0 .9,发射率 ε( 35 3K) <0 .1。当温度高于 35 0℃时性能稳定 ,吸收率α变化不大 ,而发射率ε不超过 0 .1。与多层渐变吸收涂层相比 ,金属陶瓷选择性吸收涂层具有膜系结构简单、高温条件下性能稳定、发射率较低等优点。该涂层适用于低倍聚光真空管集热器。; 关键词金属陶瓷膜系共溅射太阳能选择性吸收涂层; Keywords cermet,metal volume fraction,layers,co sputtering; 分类号 TK515 [动力工程及工程热物理—热能工程] TK513.5 [动力工程及工程热物理—热能工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜: 4; 作者池华敬郭帅熊凯王双陈革章其初; 机构皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心; 出处《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1136-1140,共5页; 文摘在原磁控溅射三靶镀膜机上安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,替代原有的级差法控制流量计改变反应气体流量的方法,实现反应溅射AlN反馈控制。该控制单元由UPC03型控制器和PCV03型压电陶瓷阀组成。控制器实时采集直流电源的Al靶电压信号,与设定电压进行比较计算处理,输出电压控制信号至压电陶瓷阀,调节输出N2流量,实现Al靶电压稳定控制。在靶表面处于过渡态下,成功制备了吸收几乎为零的AlN薄膜。溅射功率14kW,反应溅射沉积AlN的靶电压波动可长时间稳定控制在±2V范围内,沉积速率高达4.5nm/(min·kW),约为Al靶在无反应气体溅射下沉积Al薄膜速率的80%。溅射沉积的AlN薄膜作为减反射层应用到SS-AlN太阳选择性吸收涂层中,使得太阳吸收比高达0.956。; 关键词反应溅射迟滞曲线闭环控制 ALN薄膜 ss-aln金属陶瓷太阳吸收涂层; Keywords reactive sputtering hysteresis close-loop absorbing coatings as 0. 956. control AlN thin films ss-aln cermet solar; 分类号 TB7 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	直流反应溅射沉积Al_2O_3薄膜及其在SS-AlN金属陶瓷太阳吸收涂层的应用	池华敬郭帅熊凯王双陈革章其初	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层传热研究	庞旭明杨晶歆周剑秋	《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	M-AlN太阳选择性吸收涂层的研制	谢光明于凤勤	《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2000	14	在线阅读下载PDF 职称材料
4	闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜	池华敬郭帅熊凯王双陈革章其初	《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	0	在线阅读下载PDF 职称材料