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用于Si基RCE光电探测器SOR衬底的研制
1
作者
李成
杨沁清
等
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
2000年第Z01期365-368,共4页
随着波分复用技术的发展，共振腔增强（RCE）探测器由于具有波长选择特性和高和量子效率得到重视和发展。本文报道了采用智能剥离和溶胶－凝胶方法研制出一种可用于Si基RCE光电探测器SOR衬底。得到表面是单晶Si膜且具有高反向率的Si基...
随着波分复用技术的发展，共振腔增强（RCE）探测器由于具有波长选择特性和高和量子效率得到重视和发展。本文报道了采用智能剥离和溶胶－凝胶方法研制出一种可用于Si基RCE光电探测器SOR衬底。得到表面是单晶Si膜且具有高反向率的Si基片。设计和模拟了基于该衬底的SiGeRCE光电探测器，结果表明该结构可以大幅度提高Si基探测器的量子效率。
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关键词
共振腔光电探测器
计算机模拟
溶胶-凝胶方法
硅基
sor衬底
锗化硅
量子效率
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职称材料
题名
用于Si基RCE光电探测器SOR衬底的研制
1
作者
李成
杨沁清
等
机构
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
2000年第Z01期365-368,共4页
文摘
随着波分复用技术的发展，共振腔增强（RCE）探测器由于具有波长选择特性和高和量子效率得到重视和发展。本文报道了采用智能剥离和溶胶－凝胶方法研制出一种可用于Si基RCE光电探测器SOR衬底。得到表面是单晶Si膜且具有高反向率的Si基片。设计和模拟了基于该衬底的SiGeRCE光电探测器，结果表明该结构可以大幅度提高Si基探测器的量子效率。
关键词
共振腔光电探测器
计算机模拟
溶胶-凝胶方法
硅基
sor衬底
锗化硅
量子效率
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
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1
用于Si基RCE光电探测器SOR衬底的研制
李成
杨沁清
等
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
2000
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