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尼莫地平-SOL-SDS三元固体分散体的微流控技术制备及体外评价
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作者 罗永明 郑光艳 +1 位作者 康致超 王立红 《化学与生物工程》 北大核心 2025年第6期52-57,共6页
为改善尼莫地平(NMP)的口服生物利用度,采用微流控技术,以Soluplus(SOL)和十二烷基硫酸钠(SDS)为载体,通过Y型微流控芯片制备了NMP-SOL-SDS三元固体分散体;在分析载体对NMP抑晶作用的基础上,考察了流速比、总流速、NMP浓度对三元固体分... 为改善尼莫地平(NMP)的口服生物利用度,采用微流控技术,以Soluplus(SOL)和十二烷基硫酸钠(SDS)为载体,通过Y型微流控芯片制备了NMP-SOL-SDS三元固体分散体;在分析载体对NMP抑晶作用的基础上,考察了流速比、总流速、NMP浓度对三元固体分散体累积溶出度的影响;利用差示扫描量热仪(DSC)、粉末X-射线衍射仪(PXRD)、扫描电子显微镜(SEM)对三元固体分散体进行了表征,并进行了稳定性研究。结果表明,SOL可显著抑制NMP的结晶行为;药物溶液相与载体溶液相的流速会影响载体供给量和两相混合均匀度,对制备结果有显著影响;三元固体分散体中NMP以无定形态存在,溶出度较NMP原料药大幅提高,且稳定性好。用于制备NMP-SOL-SDS三元固体分散体的微流控技术,工艺简单,可连续生产,尤其适用于多组分固体分散体中药物与载体间不宜长时间液相共混的情况,是一种较理想的固体分散体制备新方法。 展开更多
关键词 尼莫地平 soluplus(sol) 固体分散体 微流控技术 生物利用度
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Sol-gel自蔓燃法控制合成二氧化钛纳米粉体及性能 被引量:13
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作者 燕青芝 宿新泰 +1 位作者 周艳平 葛昌纯 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第1期57-62,共6页
采用化学络合溶胶-凝胶法,结合自蔓燃合成工艺制备了结构可控、分散性良好的 TiO_2纳米粉体.考察了原料组成、凝胶膨胀程度和温度机制对粉体结构、分散性的影响,用漫反射光谱测试了所制备粉体的光吸收性能,结果表明,将原料中氧化... 采用化学络合溶胶-凝胶法,结合自蔓燃合成工艺制备了结构可控、分散性良好的 TiO_2纳米粉体.考察了原料组成、凝胶膨胀程度和温度机制对粉体结构、分散性的影响,用漫反射光谱测试了所制备粉体的光吸收性能,结果表明,将原料中氧化剂与还原剂的摩尔比从2增加到7,在600℃的煅烧温度下可以得到金红石含量在25%~68.2%之间的 TiO_2,这些结构不同的粉体粒度为30nm 左右;凝胶前驱体经过150℃充分膨胀炭化,能有效阻止胶粒间氢键的形成,并且能够防止因毛细管作用而导致的凝胶网络坍塌,从而得到单分散无团聚粉体:提高煅烧温度,金红石含量增多、颗粒粒度增大,800℃时出现团聚体;用该工艺制备的粉体的光吸收范围发生明显红移,与市售金红石型 TiO_2相比,反光率下降10%以上;金红石含量为55.5%的混晶型粉体显示出最好的光吸收性能。 展开更多
关键词 sol—gel自蔓燃 二氧化钛 纳米粉体 控制合成
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锆钛酸铅95/5纳米粉体Sol-Gel法制备与改进 被引量:5
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作者 谢湘华 董亚明 +2 位作者 姚春华 瞿翠凤 董显林 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期81-85,共5页
以醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯为原料,改进溶胶-凝胶法,制备得到锆钛酸铅95/5纳米粉体.改进溶胶-凝胶法省去溶胶加水、凝胶干燥、干凝胶研磨等步骤,采用加热蒸馏溶胶制备凝胶,蒸馏回收溶剂并干燥凝胶,凝胶分段加热处理等方法,简化了加工工... 以醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯为原料,改进溶胶-凝胶法,制备得到锆钛酸铅95/5纳米粉体.改进溶胶-凝胶法省去溶胶加水、凝胶干燥、干凝胶研磨等步骤,采用加热蒸馏溶胶制备凝胶,蒸馏回收溶剂并干燥凝胶,凝胶分段加热处理等方法,简化了加工工艺,大大缩短了合成周期,降低了成本.XRD和TEM分析表明,用改进sol-gel法制备得到的PZT粉体煅烧温度低、晶粒细小、均匀,直径约10nm. 展开更多
关键词 PZT sol—gel 纳米 合成
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溶胶-凝胶(sol-gel)法制作掺铒Al_2O_3薄膜及其光致发光光谱特性测量 被引量:11
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作者 李成仁 宋昌烈 +1 位作者 李淑凤 高景生 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1514-1517,共4页
介绍一种用溶胶 凝胶方法制作掺铒Al2 O3薄膜的工艺 实验测量了薄膜样品的光致发光光谱特性 结果表明光致发光光谱的峰值波长为 1.5 36 μm ,半值宽度为 34nm ;同时测量了光致发光光谱的峰值强度与泵浦功率。
关键词 sol—gel法 掺铒Al2O3薄膜 光致发光特性
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Sol-Gel法制备木材功能性改良用SiO_2凝胶 被引量:9
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作者 李坚 邱坚 刘一星 《林业科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期106-111,共6页
以正硅酸乙酯(TEOS)原料,HCl/HF混合酸为水解催化剂,研究应用于木材功能性改良的SiO2凝胶的制备工艺条件。所配制3种反应溶液的TEOS/EtOH/H2O比例分别为FU1=1.00:15.35:7.45,FU2=1.00:5.43:10.10,FU3=1.00:5.47:... 以正硅酸乙酯(TEOS)原料,HCl/HF混合酸为水解催化剂,研究应用于木材功能性改良的SiO2凝胶的制备工艺条件。所配制3种反应溶液的TEOS/EtOH/H2O比例分别为FU1=1.00:15.35:7.45,FU2=1.00:5.43:10.10,FU3=1.00:5.47:5.77,HCl/HF摩尔比分别为0.02/0.01、0.02/0.04和0.02/0.06,可在120min左右得到醇凝胶。将醇凝胶在-21℃条件下陈化1~3d后,在12h内自然升温至室温,24h内置于超临界流体中进行干燥单元操作,可以得到适合木材功能性改良用并具有纳米结构的SiO2气凝胶。 展开更多
关键词 sol—Gel法 SiO2凝胶 纳米结构 木材-SiO2气凝胶复合材 木材功能性改良
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Sol-gel法制备纳米SnO_2气敏材料的研究 被引量:20
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作者 张忠锁 张兴堂 +4 位作者 陈艳辉 田宝丽 程轲 黄亚彬 杜祖亮 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期98-100,共3页
用Sol gel法制备SnO2 纳米粒子 ,并用XRD、紫外吸收光谱和激光Raman光谱进行了表征和分析。XRD实验证实了所制备的粒子具有较理想的纳米尺寸 ,其粒径随热退火温度升高而增大 ;Raman光谱表明 ,低温退火时SnO2 纳米材料的氧缺位较大 ;紫... 用Sol gel法制备SnO2 纳米粒子 ,并用XRD、紫外吸收光谱和激光Raman光谱进行了表征和分析。XRD实验证实了所制备的粒子具有较理想的纳米尺寸 ,其粒径随热退火温度升高而增大 ;Raman光谱表明 ,低温退火时SnO2 纳米材料的氧缺位较大 ;紫外吸收光谱表明退火温度在 30 0~ 5 0 0℃粒径变化很大 ,但光的吸收稳定不变。可望利用这些性质 ,提高SnO2 气敏器件的性能。 展开更多
关键词 sol-GEL法 制备 纳米SNO2 气敏材料 二氧化锡 溶胶-凝胶
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Sol-Gel法合成HAP的结晶特征及其对F^-离子吸附性能研究 被引量:34
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作者 黄志良 刘羽 +2 位作者 王大伟 张术根 陈露军 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期661-666,共6页
用sol-gel法合成了具有纳米级尺寸的HAP;采用XRD,IR,BET比表面积测定,静、动态吸附等方法研究了不同Ca/P摩尔比和煅烧温度合成的HAP的比表面积、结晶度、晶粒尺寸、晶格缺陷度、热稳定性、平衡吸氟量;探... 用sol-gel法合成了具有纳米级尺寸的HAP;采用XRD,IR,BET比表面积测定,静、动态吸附等方法研究了不同Ca/P摩尔比和煅烧温度合成的HAP的比表面积、结晶度、晶粒尺寸、晶格缺陷度、热稳定性、平衡吸氟量;探讨了吸氟机理和行为.结果表明:sol-gel法合成的HAP在常温、常压、不调pH的操作条件下,有较大的吸氟能力,且无二次污染,可作为绿色环境材料. 展开更多
关键词 sol-GEL法 羟基磷灰石 氟离子 阴离子交换吸附 废水处理 结晶特征
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Sol-gel独立前驱单体制备PZT铁电薄膜技术 被引量:5
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作者 陈祝 杨邦朝 +1 位作者 杨成韬 张树人 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期417-419,422,共4页
 采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体,sol gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜。研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PTSandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性...  采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体,sol gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜。研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PTSandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性能的影响。 展开更多
关键词 PZT sol—gel法 前驱单体 铁电薄膜
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纳米掺铁二氧化钛的sol-gel法制备与表征(Ⅰ)热重红外联用分析掺铁二氧化钛凝胶的热分解和晶化特性 被引量:20
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作者 岳林海 刘清 +1 位作者 徐铸德 水淼 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2000年第6期933-938,共6页
本文通过热分析、红外联用和 X射线衍射分析了不同煅烧温度下的纳米掺铁二氧化钛样品,研究了 sol-gel方法制备的纯二氧化钛和掺铁二氧化钛干凝胶的热分解和晶化过程。结果表明,干凝胶有较为明显的两个阶段的热分解。在实验条件下得到... 本文通过热分析、红外联用和 X射线衍射分析了不同煅烧温度下的纳米掺铁二氧化钛样品,研究了 sol-gel方法制备的纯二氧化钛和掺铁二氧化钛干凝胶的热分解和晶化过程。结果表明,干凝胶有较为明显的两个阶段的热分解。在实验条件下得到的二氧化钛干凝胶粉为无定形,无定形二氧化钛加热晶化过程是一个持续的过程,没有明显的晶化温度。 展开更多
关键词 sol-GEL 热分析 晶粒度 掺铁二氧化钛 纳米材料
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Sol-Gel法合成TiO_2纳米粉末和薄膜 被引量:57
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作者 包定华 顾豪爽 +1 位作者 邝安祥 黄桂玉 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期453-458,共6页
用Sol-Gel法成功地合成了TiO_2纳米粉末和薄膜.研究了工艺参数如热处理温度,保温时间等因素对材料结构和物性的影响,粉末的平均粒径为3~100nm,比表面积为17~251m ̄2/g,其在室温至750℃之间经历无... 用Sol-Gel法成功地合成了TiO_2纳米粉末和薄膜.研究了工艺参数如热处理温度,保温时间等因素对材料结构和物性的影响,粉末的平均粒径为3~100nm,比表面积为17~251m ̄2/g,其在室温至750℃之间经历无定形态→锐钛矿→锐钛矿与金红石共存→金红石的相交;以石英玻璃和单晶硅为基片,采用勺胶法获得了沿(101)择优取向的金红石薄膜,研究表明,薄膜经锐钛矿转变为金红石的转变温度固基片不同而异,但比凝胶粉末的转变温度高. 展开更多
关键词 二氧化钛陶瓷 sol-Gel工艺 纳米粉末 薄膜
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Sol-Gel法制备Bi_4Ti_3O_(12)薄膜及其性能研究 被引量:3
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作者 郭冬云 李美亚 +5 位作者 裴玲 于本方 吴庚柱 王耘波 杨斌 于军 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第6期683-685,共3页
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi4Ti3O12(BTO)铁电薄膜,利用X-射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其晶格结构和表面形貌进行了表征,制备的BTO薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构和表面平整致密。对700℃退火的BTO... 采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Bi4Ti3O12(BTO)铁电薄膜,利用X-射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其晶格结构和表面形貌进行了表征,制备的BTO薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构和表面平整致密。对700℃退火的BTO薄膜进行了铁电性能和疲劳特性测试,在测试电压为6 V时,剩余极化值2Pr约为12.5μC/cm2,矫顽电场2Ec约为116.7 kV/cm;经1×109次极化反转后,剩余极化值下降了24%,对其疲劳机理进行了探讨。 展开更多
关键词 Bi4Ti3O12薄膜 溶胶-凝胶(sol—Gel)法 铁电性能 疲劳性能
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Sol-Gel法制备ZnO压敏陶瓷及其电性 被引量:30
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作者 刘素琴 黄可龙 +1 位作者 宋志方 彭斌 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期376-380,共5页
采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备ZnO电压敏陶瓷粉体.探讨其制备的最佳工艺条件:以 Zn(NO3)2与 NaOH为反应前驱物制取胶体, Zn2+浓度控制在 0.5mol·L-1以上, pH值7.5左右,预烧温... 采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备ZnO电压敏陶瓷粉体.探讨其制备的最佳工艺条件:以 Zn(NO3)2与 NaOH为反应前驱物制取胶体, Zn2+浓度控制在 0.5mol·L-1以上, pH值7.5左右,预烧温度300℃,陶瓷烧结温度1200℃;制得的压敏电阻的非线性系数α=28;研究了稀土La2O3掺杂对该陶瓷电性的影响:低浓度掺杂时,可提高压敏电压,高浓度掺杂时;不呈现压敏特性;对粉体进行了X射线衍射和透射电镜分析,预烧后得到五元掺杂的ZnO粉体粒形呈球状,属六方晶系,粒径分布窄,约为40~80nm. 展开更多
关键词 ZnO陶瓷 sol-GEL法 压敏电阻
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TiO_2的微波辐射Sol-Gel法制备及其光催化性能 被引量:8
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作者 夏启斌 李忠 +2 位作者 奚红霞 徐科峰 肖静 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期92-96,共5页
采用微波辐射Sol Gel法在石英砂表面制备负载型TiO2 光催化剂 ,考察不同加热方式 ,微波功率以及微波加热温度对溶胶质量的影响 ,微波加热反应制备的溶胶粒子平均粒径小于常规加热反应制备得到的溶胶粒子 ,微波加热反应适宜条件是微波功... 采用微波辐射Sol Gel法在石英砂表面制备负载型TiO2 光催化剂 ,考察不同加热方式 ,微波功率以及微波加热温度对溶胶质量的影响 ,微波加热反应制备的溶胶粒子平均粒径小于常规加热反应制备得到的溶胶粒子 ,微波加热反应适宜条件是微波功率6 0 0W ,反应温度为 90℃ .以苯酚为光催化降解研究对象 ,考察了两种方式制备的负载型TiO2 光催化剂的催化性能 ,实验结果表明微波辐射Sol Gol法制备的负载型TiO2 光催化剂光催化性能也优于常规Sol Gel法制备的负载型TiO2 光催化剂 . 展开更多
关键词 二氧化钛 微波 sol-GEL法 光催化
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SOL-GEL法制备钛酸锶钡(BST)粉体 被引量:6
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作者 李桂英 余萍 +3 位作者 莫言 周媛媛 王欢 肖定全 《化学研究与应用》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期819-820,共2页
Ba1-xSrxTiO3(BST)powders were fabricated by sol-gel process by using strontium carbonate for the substitution of strontium acetate.Barium acetate,strontium carbonate and titanium-tetrabutoxide were used as raw mater... Ba1-xSrxTiO3(BST)powders were fabricated by sol-gel process by using strontium carbonate for the substitution of strontium acetate.Barium acetate,strontium carbonate and titanium-tetrabutoxide were used as raw materials.The BST gel was studied by thermal analysis techniques,the physical structure of the BST powders was measured by XRD and the grain size was measured.The results showed that the powders possess a single perovskite phase after 700℃ and the ideal powder size even after 800℃ calcining.This indicated that the powder can be used for BST ceramics and the fabrication of the sol-gel derived BST can be carried out well by using carbonate as the starting materials. 展开更多
关键词 sol-GEL法 制备 钛酸锶钡 粉体材料 Ba1-XSrxTi03 溶胶-凝胶法
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Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜 被引量:6
15
作者 侯识华 宋世庚 +2 位作者 郑应智 马远新 郑毓峰 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2002年第1期107-112,共6页
介绍了Sol-Gel法,并对近年来Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的有关研究进行了分析和总结,详细介绍了Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的各种原料及工艺流程.
关键词 sol-GEL法 PLZT 铁电薄膜 钛酸盐 制备 工艺流程 原料
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多孔氧化铝模板结合sol-gel旋转涂敷法制备PZT纳米管 被引量:6
16
作者 宋晔 蒋龙飞 +4 位作者 戚卫星 路超 朱绪飞 杭启明 朱信华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1605-1609,共5页
利用溶胶-凝胶旋转涂敷法在通孔的多孔阳极氧化铝(PAA)模板中制备了锆钛酸铅(PZT)纳米管,研究了溶胶浓度对样品形貌的影响。利用SEM和TEM观察了纳米管阵列和单根纳米管的形貌,采用XRD和EDS图谱分析了纳米管的相结构和化学元素组成。结... 利用溶胶-凝胶旋转涂敷法在通孔的多孔阳极氧化铝(PAA)模板中制备了锆钛酸铅(PZT)纳米管,研究了溶胶浓度对样品形貌的影响。利用SEM和TEM观察了纳米管阵列和单根纳米管的形貌,采用XRD和EDS图谱分析了纳米管的相结构和化学元素组成。结果表明合成的PZT纳米管结晶良好,具有钙钛矿结构(属于四方晶系);纳米管具有较高的韧性但表面较粗糙,直径和管壁厚度分别约为75和7nm,直径与原始PAA模板的孔径相吻合。在一定范围内调节PZT溶胶的浓度(0.1~0.4mol/L),均能在PAA模板的孔洞中形成PZT多晶纳米管,且组成PZT纳米管的晶粒随着溶胶浓度的增加而变大。 展开更多
关键词 氧化铝模板 sol-GEL法 PZT 纳米管 制备
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PHBV/Sol-gel Bioglass多孔材料在模拟生理溶液中的化学反应研究 被引量:11
17
作者 郑裕东 王迎军 +2 位作者 陈晓峰 任耀彬 吴刚 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期1325-1328,共4页
3-羟基丁酸 -co-3-羟基戊酸共聚物 (PHBV) /生物活性玻璃 (SGBG)是一种用于骨和软骨组织工程支架的新型多孔复合材料 ,本文探讨了 PHBV/ SGBG在模拟生理溶液中的一系列化学反应 ,以及多孔材料在模拟生理溶液中浸泡后的成分和结构变化 .... 3-羟基丁酸 -co-3-羟基戊酸共聚物 (PHBV) /生物活性玻璃 (SGBG)是一种用于骨和软骨组织工程支架的新型多孔复合材料 ,本文探讨了 PHBV/ SGBG在模拟生理溶液中的一系列化学反应 ,以及多孔材料在模拟生理溶液中浸泡后的成分和结构变化 .研究结果表明 ,在 SBF溶液中浸泡后 ,SGBG与 SBF溶液的离子交换反应和 PHBV的降解反应使 SBF溶液的离子浓度发生变化 ,并在 PHBV/ SGBG表面形成了结晶态类骨碳酸羟基磷灰石 . 展开更多
关键词 PHBV/sol-gelBioglass 多孔材料 模拟生理溶液 化学反应 3-羟基丁酸-co-3-羟基戊酸共聚物 生物活性玻璃 软骨组织 生物材料
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Sol-Gel法制备ZnO∶Al透明导电薄膜 被引量:17
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作者 吕敏峰 崔作林 张志焜 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期224-227,共4页
采用Sol Gel工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向性、高可见光透过率以及高电导率的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜。利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征。研究结果表明 :所制备的薄膜为纤锌矿型结构 ,表面平整、致密。通过标准... 采用Sol Gel工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向性、高可见光透过率以及高电导率的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜。利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征。研究结果表明 :所制备的薄膜为纤锌矿型结构 ,表面平整、致密。通过标准四探针法及UVS透射光谱详细研究了Al3+ 离子掺杂的ZnO薄膜的电学与光学性能。实验发现 ,当Al3+ 离子掺杂浓度为 0 8%时 ,前处理温度为 40 0℃ ,退火温度为 5 5 0℃ ,真空退火温度为 5 5 0℃时 ,薄膜具有较好的导电性 ,电阻率为 3 0 3× 10 - 3Ω·cm ,其在可见光区的透过率超过 80 %。 展开更多
关键词 sol-GEL法 制备 透明导电薄膜 氧化锌 溶胶-凝胶法 铝离子掺杂 性能
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Sol-Gel法制备NASICON材料及表征 被引量:5
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作者 张爽 全宝富 +3 位作者 赵志勇 邹永存 何月华 陈丽华 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期1356-1359,共4页
采用溶胶 -凝胶 (Sol-gel)法制得了固体电解质 NASICON材料 .用 X射线衍射、红外光谱、拉曼光谱、核磁共振等方法对材料的结构、组成进行了分析 ,并对材料的电导率进行测量 ,证明材料具有快离子导电特性 .通过对不同烧结温度下材料性质... 采用溶胶 -凝胶 (Sol-gel)法制得了固体电解质 NASICON材料 .用 X射线衍射、红外光谱、拉曼光谱、核磁共振等方法对材料的结构、组成进行了分析 ,并对材料的电导率进行测量 ,证明材料具有快离子导电特性 .通过对不同烧结温度下材料性质进行比较 ,发现 90 0℃烧结温度下得到的材料具有更好的晶相结构和电导率 . 展开更多
关键词 sol-GEL法 制备 NASICON材料 表征 CO2传感器 固体电解质 X射线衍射分析
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TiO_2薄膜的Sol-gel制备及结构分析 被引量:10
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作者 包定华 顾豪爽 +1 位作者 黄桂玉 邝安祥 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第6期528-531,共4页
以正钛酸丁酯、无水乙醇和冰醋酸为原料,采用Sol-gel工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了TiO_2薄膜,薄膜表面均匀、致密,无裂纹。研究表明,随热处理温度的提高,薄膜经锐钛矿转变为金红石结构,其转变温... 以正钛酸丁酯、无水乙醇和冰醋酸为原料,采用Sol-gel工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了TiO_2薄膜,薄膜表面均匀、致密,无裂纹。研究表明,随热处理温度的提高,薄膜经锐钛矿转变为金红石结构,其转变温度因衬底不同而异,但比凝度粉末的转变温度高。金红石结构的TiO_2薄膜具有一定的择优取向性,其品位大小为0.05~0.15μm. 展开更多
关键词 薄膜 sol-gel工艺 制备结构 二氧化钛
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