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光发射谱对CrTiAlN涂层性能的影响
被引量：
2
1
作者
刘云超
罗艳艳
+1 位作者
朱雪飞
施雯
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期760-765,共6页
在不同光发射谱(OEM)条件下,采用闭合场非平衡磁控溅射技术(CFUBMSIP)在SDC99冷作模具钢表面沉积CrTiAlN涂层,采用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪、原位纳米力学测试系统和销盘摩擦磨损试验机(POD)测试分析涂层的相结构、表面硬度以及耐...
在不同光发射谱(OEM)条件下,采用闭合场非平衡磁控溅射技术(CFUBMSIP)在SDC99冷作模具钢表面沉积CrTiAlN涂层,采用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪、原位纳米力学测试系统和销盘摩擦磨损试验机(POD)测试分析涂层的相结构、表面硬度以及耐磨损性能。结果表明:各条件下制备的CrTiAlN涂层均为FCC结构,且在(200)晶面择优取向;光发射谱值为65时,制备的CrTiAlN涂层具有较高的表面承载能力以及膜基结合力,纳米硬度和弹性模量分别为22.7 GPa和276.4 GPa;OEM65制备的CrTiAlN涂层较OEM70、OEM80制备的CrTiAlN涂层具有更低的摩擦因数和磨损率,表现出更佳的摩擦磨损性能。
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关键词
CrTiAlN涂层
光发射谱
sdc99冷作模具钢
非平衡磁控溅射
磨损
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职称材料
题名
光发射谱对CrTiAlN涂层性能的影响
被引量：
2
1
作者
刘云超
罗艳艳
朱雪飞
施雯
机构
上海大学材料科学与工程学院
出处
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期760-765,共6页
文摘
在不同光发射谱(OEM)条件下,采用闭合场非平衡磁控溅射技术(CFUBMSIP)在SDC99冷作模具钢表面沉积CrTiAlN涂层,采用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度仪、原位纳米力学测试系统和销盘摩擦磨损试验机(POD)测试分析涂层的相结构、表面硬度以及耐磨损性能。结果表明:各条件下制备的CrTiAlN涂层均为FCC结构,且在(200)晶面择优取向;光发射谱值为65时,制备的CrTiAlN涂层具有较高的表面承载能力以及膜基结合力,纳米硬度和弹性模量分别为22.7 GPa和276.4 GPa;OEM65制备的CrTiAlN涂层较OEM70、OEM80制备的CrTiAlN涂层具有更低的摩擦因数和磨损率,表现出更佳的摩擦磨损性能。
关键词
CrTiAlN涂层
光发射谱
sdc99冷作模具钢
非平衡磁控溅射
磨损
Keywords
CrTiAlN coating
optical emission monitor
cold work die steel
sdc
99
closed-field unbalanced magnetron sputtering
wear
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
光发射谱对CrTiAlN涂层性能的影响
刘云超
罗艳艳
朱雪飞
施雯
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
2
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