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直线超声电机驱动的精密运动平台位移分辨率 被引量:4
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作者 王金鹏 周宏平 时运来 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2015年第22期178-182,共5页
由于纳米级精度运动平台在电子隧道扫描显微镜、光刻机及精密医疗设备有广泛需求,传统驱动方式中大行程、高精度难以同时实现,而直线超声电机直接驱动的精密运动平台可望解决该问题。研究所建大行程直线超声电机系统位移分辨率影响因素... 由于纳米级精度运动平台在电子隧道扫描显微镜、光刻机及精密医疗设备有广泛需求,传统驱动方式中大行程、高精度难以同时实现,而直线超声电机直接驱动的精密运动平台可望解决该问题。研究所建大行程直线超声电机系统位移分辨率影响因素,通过死区时间理论及启停实验曲线分析探索运动平台可能达到的最小步距;借助XL-80激光干涉仪,实验研究驱动波形、预压力及驱动电压对平台步距影响。结果显示,运动平台分辨率可达25 nm。 展开更多
关键词 直线超声电机 平台 实验 位移分辨率 步距
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一种高精度定时器的设计及其应用 被引量:4
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作者 刘钦彦 李勇 《电测与仪表》 北大核心 2001年第9期32-34,共3页
随着计算机软硬件技术的发展,计算机控制系统可以达到的精度越来越高。本文介绍了一种基于PentiumCPU的高精度定时方法,在不同主频的CPU下,可获得不同的定时精度,最高可达到10微秒量级。同时,介绍了这种定时方法在某种步进电机控制中的... 随着计算机软硬件技术的发展,计算机控制系统可以达到的精度越来越高。本文介绍了一种基于PentiumCPU的高精度定时方法,在不同主频的CPU下,可获得不同的定时精度,最高可达到10微秒量级。同时,介绍了这种定时方法在某种步进电机控制中的应用。 展开更多
关键词 高精度定时 计算机控制 步进电机控制 定时器 CPU
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一种具有纳米级步进特性的直线压电电机 被引量:1
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作者 陈西府 李明 +1 位作者 卢倩 黄卫清 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期209-216,231,共9页
为实现纳米级的定位精度,通过精密控制电机定/动子间的正压力和相对运动速度,以实现电机在一个周期内的精密步进运动。首先,在研究电机步进运动原理的基础上,设计了具有法向振动框特征的驱动足结构,可以获得驱动端法向振动和切向振动的... 为实现纳米级的定位精度,通过精密控制电机定/动子间的正压力和相对运动速度,以实现电机在一个周期内的精密步进运动。首先,在研究电机步进运动原理的基础上,设计了具有法向振动框特征的驱动足结构,可以获得驱动端法向振动和切向振动的独立解耦特性;其次,利用有限元法对定子驱动足进行了参数优化设计,获得了定子驱动足的主要结构尺寸;最后,制作电机样机并进行了定子振动特性实验和电机特性实验。定子振动特性实验结果表明:该电机在1~400Hz范围内能够使得驱动阶段和回程阶段具有不同的运动特性,上述两个运动阶段的动子运动位移差即为电机的运动步距,因而该电机具有更小的位移分辨率。机械输出特性实验结果表明:该电机在1~400Hz范围内分别具有微、纳米级步进运动特性,在1~30Hz内电机的位移分辨率最高可达11nm。综上,该电机在400Hz以内能实现微纳米定位精度,电机速度最高可达63.3μm/s。 展开更多
关键词 直线电机 压电作动器 步进运动 纳米级分辨率 非共振
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5相混合式步进电动机组合励磁细分法的研究
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作者 李欣生 卢杰持 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 1992年第1期44-48,23,共6页
本文提出了5相混合式步进电动机的组合励磁方法,它可在不改变驱动硬件及电机结构的情况下得到更小的步距角。通过0.18°步距角的实例,详细介绍了力矩矢量图和绕组励磁序列。对42PZ-203电机的严格试验,证明了组合励磁细分原理的正确... 本文提出了5相混合式步进电动机的组合励磁方法,它可在不改变驱动硬件及电机结构的情况下得到更小的步距角。通过0.18°步距角的实例,详细介绍了力矩矢量图和绕组励磁序列。对42PZ-203电机的严格试验,证明了组合励磁细分原理的正确性和实用性。与加工中心机床的联机试验结果表明,本方法在减轻与避开低频振荡及提高拖动系统整体性能方面具有明显效果。 展开更多
关键词 混合式步进电机 组合励磁 步距角 分辨率 低频振荡
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光栅单色仪最佳分度的判断 被引量:1
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作者 彭双潮 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期123-124,共2页
本文利用波动光学的简单方法讨论光栅单色仪的分辨极限与步进电机参数的联系,为最佳利用分辨极限提供了简单可行的实验方法,也给出了用步进电机改善光栅单色仪的分辨率可供参考的例证。
关键词 分辨 电机 单色仪 光栅单色仪 分度
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