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TiO_2纳米微晶的RF-PCVD法制备及表征
被引量：
1
1
作者
徐海萍
孙彦平
+1 位作者
王俊文
陈新谋
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期411-414,419,共5页
以TiCl4为原料,采用高频等离子化学气相沉积(RF—PCVD)法制备了TiO2纳米微晶,考察了控制粒径大小及晶相转化的关键操作条件。借助XPS、TEM、XRD、BET等技术对颗粒的化学组成、形貌、晶相结构等进行了表征.研究表明:所得TiO2纳米微晶大...
以TiCl4为原料,采用高频等离子化学气相沉积(RF—PCVD)法制备了TiO2纳米微晶,考察了控制粒径大小及晶相转化的关键操作条件。借助XPS、TEM、XRD、BET等技术对颗粒的化学组成、形貌、晶相结构等进行了表征.研究表明:所得TiO2纳米微晶大部分为球形体颗粒,粒径30—50 nm,单分散性良好;颗粒中锐钛相和金红石相两相共存,结晶完整;金红石相含量在26.7%-53.6%之间可调.
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关键词
纳米微晶
TIO2
RF—PVCD
制各
表征
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职称材料
RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究
被引量：
3
2
作者
朱霞高
侯惠君
+2 位作者
林松盛
袁镇海
戴达煌
《广东有色金属学报》
2006年第3期188-191,共4页
采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法（RF—PCVD）低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜（DLC），主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压U2、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响...
采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法（RF—PCVD）低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜（DLC），主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压U2、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响．试验结果表明，外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间，提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性，并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量，有利于工艺调节．当极间距大时，需适当提高Pf，Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜．在比功率密度大于0．009W·cm^-2·Pa^-1、C-H浓度即体积分数0．9％～1．4％及膜厚小于90nm的条件下，可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜．
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关键词
射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积
类金刚石膜
比功率密度
磁感应强度
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职称材料
高性能的类金刚石红外光学薄膜
被引量：
8
3
作者
姜杰
《红外技术》
CSCD
1996年第4期15-20,共6页
综述了类金刚石红外光学薄膜在红外光学领域的应用，表明该薄膜不仅是一种高性能的红外光学材料，而且是各种红外镀膜元件的高性能保护膜。文中还提出了在类金刚石薄膜进一步开发、研究及应用中仍需解决的一些工艺及技术问题，描述了制...
综述了类金刚石红外光学薄膜在红外光学领域的应用，表明该薄膜不仅是一种高性能的红外光学材料，而且是各种红外镀膜元件的高性能保护膜。文中还提出了在类金刚石薄膜进一步开发、研究及应用中仍需解决的一些工艺及技术问题，描述了制备大尺寸均匀性类金刚石薄膜的可行性方案。
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关键词
类金刚石薄膜
红外光学薄膜
红外光学材料
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职称材料
题名
TiO_2纳米微晶的RF-PCVD法制备及表征
被引量：
1
1
作者
徐海萍
孙彦平
王俊文
陈新谋
机构
太原理工大学洁净化工研究所
石家庄新谋新科技开发有限公司
出处
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期411-414,419,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(29776032)山西省科技攻关项目(202092).
文摘
以TiCl4为原料,采用高频等离子化学气相沉积(RF—PCVD)法制备了TiO2纳米微晶,考察了控制粒径大小及晶相转化的关键操作条件。借助XPS、TEM、XRD、BET等技术对颗粒的化学组成、形貌、晶相结构等进行了表征.研究表明:所得TiO2纳米微晶大部分为球形体颗粒,粒径30—50 nm,单分散性良好;颗粒中锐钛相和金红石相两相共存,结晶完整;金红石相含量在26.7%-53.6%之间可调.
关键词
纳米微晶
TIO2
RF—PVCD
制各
表征
Keywords
nano-microcrystal
TiO2
rf-pcvd
preparation
characterization
分类号
O614.41 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究
被引量：
3
2
作者
朱霞高
侯惠君
林松盛
袁镇海
戴达煌
机构
广州有色金属研究院
出处
《广东有色金属学报》
2006年第3期188-191,共4页
文摘
采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法（RF—PCVD）低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜（DLC），主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压U2、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响．试验结果表明，外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间，提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性，并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量，有利于工艺调节．当极间距大时，需适当提高Pf，Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜．在比功率密度大于0．009W·cm^-2·Pa^-1、C-H浓度即体积分数0．9％～1．4％及膜厚小于90nm的条件下，可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜．
关键词
射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积
类金刚石膜
比功率密度
磁感应强度
Keywords
rf-pcvd
diamond-like carbon
specific power density
magnetic field
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
高性能的类金刚石红外光学薄膜
被引量：
8
3
作者
姜杰
机构
昆明物理研究所
出处
《红外技术》
CSCD
1996年第4期15-20,共6页
文摘
综述了类金刚石红外光学薄膜在红外光学领域的应用，表明该薄膜不仅是一种高性能的红外光学材料，而且是各种红外镀膜元件的高性能保护膜。文中还提出了在类金刚石薄膜进一步开发、研究及应用中仍需解决的一些工艺及技术问题，描述了制备大尺寸均匀性类金刚石薄膜的可行性方案。
关键词
类金刚石薄膜
红外光学薄膜
红外光学材料
Keywords
Diamond-like
Carbon Film
IR multi-layer anti-reflection film
rf-pcvd
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
TiO_2纳米微晶的RF-PCVD法制备及表征
徐海萍
孙彦平
王俊文
陈新谋
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究
朱霞高
侯惠君
林松盛
袁镇海
戴达煌
《广东有色金属学报》
2006
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
高性能的类金刚石红外光学薄膜
姜杰
《红外技术》
CSCD
1996
8
在线阅读
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职称材料
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