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电感耦合RF放电等离子体的电流特性: 1; 作者奚定平余陨金陈静秋《深圳大学学报（理工版）》 EI CAS 2002年第3期1-7,共7页; 从等离子体波动方程和动力学方程出发,利用解析方法,讨论电感耦合RF放电等离子体的电流特性和衰减机制.发现只有当等离子体波的波速低到与等离子体内能量较高一部分电子轴向运动速度相当时,等离子体和波相互作用才能在衰减机制中居主导... 展开更多; 关键词电感耦合rf放电等离子体电流特性电子速度分布函数玻尔兹曼方程; 在线阅读下载PDF 职称材料

矩形玻璃放电管RF放电的研究: 2; 作者刘玉华唐令西《西北大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1998年第5期391-394,共4页; 根据Ｈａｌ的放电模型讨论了ＲＦ高频放电辉光特性，对２ｍｍ×２．２５ｍｍ×７１ｍｍ矩形玻璃放电管ＲＦ放电中最佳匹配网络进行了实验研究，观察到放电辉光图纹，可作为ＲＦ激励波导激光器设计的依据。; 关键词高频放电 rf放电矩形玻璃放电管高频放电管; 在线阅读下载PDF 职称材料

射频气体放电激励电压电流及相位传感器的研制被引量：2: 3; 作者黄建军余建华 D.Teuner 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第11期1-2,8,共3页; 由于分布电容的存在而造成对测量仪器的干扰 ,使得对射频放电电压电流及相位的测量 ,到目前为止仍然是比较困难和昂贵的 ;使用简单的电压电流探头而无干扰地精确地测量出电压、电流和相位角 ,从而计算出复合阻抗几乎是不可能的。这里介... 展开更多; 关键词 rf放电传感器电压电流相位角; 在线阅读下载PDF 职称材料