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大功率RF离子源阻抗匹配电路的设计与实现
被引量：
3
1
作者
岳海昆
李冬
+3 位作者
刘开锋
李小飞
汪辰热
陈德智
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期346-349,共4页
在大功率RF离子源中,激励器的作用是产生等离子体,阻抗匹配电路是激励器吸收RF功率的关键。将激励器等效阻抗视为一个电阻和一个电感的串联,采用了一种由一个RF变压器并和两个可调电容组成的阻抗匹配电路,给出了视RF变压器为理想变压器...
在大功率RF离子源中,激励器的作用是产生等离子体,阻抗匹配电路是激励器吸收RF功率的关键。将激励器等效阻抗视为一个电阻和一个电感的串联,采用了一种由一个RF变压器并和两个可调电容组成的阻抗匹配电路,给出了视RF变压器为理想变压器时阻抗匹配电路的分析模型,推导了阻抗匹配时两个可调电容的电气参数。当激励器实验装置使用一个石英玻璃激励器时,搭建了一个阻抗匹配电路,成功地将RF功率耦合进激励器并产生了等离子体。
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关键词
rf
离子源
阻抗匹配电路
rf变压器
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职称材料
题名
大功率RF离子源阻抗匹配电路的设计与实现
被引量：
3
1
作者
岳海昆
李冬
刘开锋
李小飞
汪辰热
陈德智
机构
华中科技大学电子信息与通信学院
华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期346-349,共4页
基金
国家磁约束核聚变能发展研究专项(2011GB113003)
文摘
在大功率RF离子源中,激励器的作用是产生等离子体,阻抗匹配电路是激励器吸收RF功率的关键。将激励器等效阻抗视为一个电阻和一个电感的串联,采用了一种由一个RF变压器并和两个可调电容组成的阻抗匹配电路,给出了视RF变压器为理想变压器时阻抗匹配电路的分析模型,推导了阻抗匹配时两个可调电容的电气参数。当激励器实验装置使用一个石英玻璃激励器时,搭建了一个阻抗匹配电路,成功地将RF功率耦合进激励器并产生了等离子体。
关键词
rf
离子源
阻抗匹配电路
rf变压器
Keywords
High-power
rf
based ion source
Matching unit
rf
transformer
分类号
TL626 [核科学技术—核技术及应用]
TN711.3 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大功率RF离子源阻抗匹配电路的设计与实现
岳海昆
李冬
刘开锋
李小飞
汪辰热
陈德智
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2015
3
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