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高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析
1
作者
杨国伟
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期27-29,共3页
讨论了高频辉光放电等离子体系统中绝缘衬底表面的自负偏压问题，用等效电路方法给出了自负偏压的数学解析。
关键词
高频放电
等离子体
自负偏压
辉光放电
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析
1
作者
杨国伟
机构
湘潭大学物理系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期27-29,共3页
文摘
讨论了高频辉光放电等离子体系统中绝缘衬底表面的自负偏压问题，用等效电路方法给出了自负偏压的数学解析。
关键词
高频放电
等离子体
自负偏压
辉光放电
Keywords
rf discharge plasma selfnegative bias
分类号
TN136.01 [电子电信—物理电子学]
TN131.01 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析
杨国伟
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998
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