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运用低温Purge降低LPCVD氮化硅工艺的微粒污染 被引量:2
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作者 罗浚涛 程秀兰 《电子与封装》 2013年第2期32-36,共5页
LPCVD制备的氮化硅薄膜具有良好的阶梯覆盖性,但是这种薄膜的应力偏高,在石英工艺腔管使用到8μm后易形成剥落微粒。特别是半导体工艺发展到了亚微米阶段,这一问题对于产品良率的影响也越来越大。文中以垂直式LPCVD设备为研究对象,通过... LPCVD制备的氮化硅薄膜具有良好的阶梯覆盖性,但是这种薄膜的应力偏高,在石英工艺腔管使用到8μm后易形成剥落微粒。特别是半导体工艺发展到了亚微米阶段,这一问题对于产品良率的影响也越来越大。文中以垂直式LPCVD设备为研究对象,通过利用晶圆冷却时间,运用降低工艺腔体温度并使用N2Purge的方法来改善微粒状况。通过大量对比实验来得出最优温度设定。运用这种方式不但改善了LPCVD设备制备氮化硅膜的微粒状况,还延长了设备的维护周期,增加设备利用时间。 展开更多
关键词 微粒污染 垂直型炉管 低温N2purge 剥落微粒
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吹扫捕集气相色谱-质谱法定性分析人尿中挥发性有机物 被引量:9
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作者 黄毅 饶竹 王超 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期64-66,共3页
The volatile organic compounds in male and female urine were analyzed using P&T/GC-MS.More than 70 VOCs in samples were identified.Identification of compound were based on NIST05 library and relative references.Co... The volatile organic compounds in male and female urine were analyzed using P&T/GC-MS.More than 70 VOCs in samples were identified.Identification of compound were based on NIST05 library and relative references.Compounds in double urines included short-chain alcohols,ketones,aldehyde,sulfether,aliphatic hydrocarbon,aromatic hydrocarbon and chlorinated hydrocarbon.The nicotine in urine was identified.The source of VOCs in urine was briefly discussed in the article. 展开更多
关键词 VOCS URINE purge and trap GC-MS
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高速公路两侧农业土壤中挥发性有机化合物污染研究 被引量:2
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作者 刘劲松 孙晓慧 +3 位作者 叶伟红 潘荷芳 王静 高亮 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期213-214,共2页
The pollution of VOCs was studied on both side of highway.With the determination method of purge and trap concentration coupled with gas chromatography-mass spectrometry,we found that the degree of pollution near the ... The pollution of VOCs was studied on both side of highway.With the determination method of purge and trap concentration coupled with gas chromatography-mass spectrometry,we found that the degree of pollution near the highway was not very bad. 展开更多
关键词 purge and trap GC-MS VOCS Soil
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浅谈OVEN控制中的要点
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作者 陈璐健 《科技创新与应用》 2012年第22期81-81,共1页
在最近的项目中遇到了一些涂布线,在涂布线的生产调试中,一般都会有OVEN的控制这个环节;而且每条线由于产品不同,其中的重要参数会有不同,再加上各个环节之间的相互影响,所以其控制环节的很多参数就很难统一,需要进行试验而去取得。
关键词 LFL 滤波 purge
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Auto CAD R12.0技术拾零
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作者 付柏青 蒙智民 安静 《智能建筑与城市信息》 1995年第1期40-40,共1页
关键词 自动编辑 DWG文件 purge AUTOCAD命令 系统变量 输入层 AUTOCADR12 捕捉方式 LAYER DWG图形
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